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基于机器视觉的聚氯乙烯管材表面缺陷检测
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作者 李书华 周亚同 +2 位作者 王丹 何静飞 张忠伟 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2019年第13期92-100,共9页
针对人工肉眼检测聚氯乙烯(PVC)管材表面缺陷效果差、效率低下等问题,设计了一种基于机器视觉的PVC管材表面缺陷检测算法,并将其用于工业生产。该算法主要包含图像预处理和缺陷检测两部分,图像预处理包括边缘遍历、条纹检测和Gamma变换... 针对人工肉眼检测聚氯乙烯(PVC)管材表面缺陷效果差、效率低下等问题,设计了一种基于机器视觉的PVC管材表面缺陷检测算法,并将其用于工业生产。该算法主要包含图像预处理和缺陷检测两部分,图像预处理包括边缘遍历、条纹检测和Gamma变换等步骤;缺陷检测主要包括水平与垂直投影、快速区域生长法连通域标记和分块处理等步骤。该算法对Gamma变换以及区域生长法作加速处理,同时能够最大限度地检测出PVC管材表面缺陷并避免误检。实验及工厂实地检测结果表明,该算法检测准确率为97.6%,实时检测速度超过60m/min,缺陷最小检测面积为0.05mm^2,而且管材运行中单边抖动不超过5mm时无误报警现象发生,管材在运行速度为45m/min时漏检率为0,因而能满足实际生产需要。 展开更多
关键词 图像处理 表面缺陷检测 聚氯乙烯管材 区域生长法 投影法 分块法
基于多层特征融合可调监督函数卷积神经网络的人脸性别识别 预览 被引量:2
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作者 石学超 周亚同 池越 《计算机应用研究》 CSCD 北大核心 2019年第3期940-944,共5页
为了进一步提高性别识别的准确率,提出了一种基于多层特征融合与可调监督函数机制结合的卷积神经网络(L-MFCNN)模型,并将之用于人脸性别识别。与传统卷积神经网络(CNN)不同,L-MFCNN将多个浅层中间卷积层特征输出与最后卷积层特征输出相... 为了进一步提高性别识别的准确率,提出了一种基于多层特征融合与可调监督函数机制结合的卷积神经网络(L-MFCNN)模型,并将之用于人脸性别识别。与传统卷积神经网络(CNN)不同,L-MFCNN将多个浅层中间卷积层特征输出与最后卷积层特征输出相结合,融合多层卷积层的特征,不仅利用了深层卷积的整体语义信息,还考虑了浅层卷积的细节局部纹理信息,使得性别识别更加准确。此外L-MFCNN还引入具有可调目标监督函数机制的large-margin softmax loss作为输出层,利用其调节不同的间隔(margin)的机制来有效引导深层卷积网络学习,使得同种性别间的类内间距更小,不同性别间的类间距更大,获得更好的性别识别效果。在多个人脸数据集上的性别识别实验结果表明,L-MFCNN的识别准确率要高于其他传统的卷积网络模型。L-MFCNN模型也为将来的人脸性别识别研究提供了新的思路与方向。 展开更多
关键词 人脸性别识别 多层特征融合 卷积神经网络 深度学习
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一种自下而上的人脸检测算法 预览
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作者 张宁 伍萍辉 《计算机应用研究》 CSCD 北大核心 2019年第6期1897-1900,1906共5页
针对在非控条件下的人脸检测经常遇到的问题,如复杂的人脸姿态表情、严重的人脸遮挡、外界环境背景复杂、光照条件差、小脸等提出了一种自下而上的人脸检测方法。自下而上的人脸检测是基于深度学习的,先进行人脸相关关键点检测和关键点... 针对在非控条件下的人脸检测经常遇到的问题,如复杂的人脸姿态表情、严重的人脸遮挡、外界环境背景复杂、光照条件差、小脸等提出了一种自下而上的人脸检测方法。自下而上的人脸检测是基于深度学习的,先进行人脸相关关键点检测和关键点之间的位置关系检测再进行人脸检测。网络结构采用稠密网络进行图像特征提取,提取到的特征传送给6个级联网络,每个级联网络由两个分支网络构成,分支网络1用来预测人脸相关关键点位置坐标,分支网络2用来预测关键点之间的位置关系。利用得到的关键点位置和位置关系进行人脸检测。在FDDB测试集上进行了验证,取得了0.98的成绩,并可以在输入图像分辨率为1 920×1 080的情况下,能检测到的最小人脸分辨率为10×10,使用GPU Nvidia GeForce GTX 1070最快能达到17 fps。 展开更多
关键词 人脸检测 深度学习 关键点检测 自下而上
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基于波原子变换的三维地震信号盲去噪 预览
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作者 何峰 周亚同 +1 位作者 赵翔宇 石超君 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2019年第8期88-95,共8页
基于波原子变换的三维地震信号盲去噪算法,利用基于块的噪声估计算法估计信号噪声,采用循环平移处理信号并进行波原子变换,利用估计的噪声标准差按不同尺度分层设置阈值并进行修正,再采用改进的阈值函数处理波原子变换系数,进行波原子... 基于波原子变换的三维地震信号盲去噪算法,利用基于块的噪声估计算法估计信号噪声,采用循环平移处理信号并进行波原子变换,利用估计的噪声标准差按不同尺度分层设置阈值并进行修正,再采用改进的阈值函数处理波原子变换系数,进行波原子反变换与逆循环平移,得到去噪后三维地震信号。对含噪的合成与实际地震信号去噪,并与小波、双树复小波、曲波及传统波原子变换的去噪结果对比;结果表明,该算法较其它对比算法有明显优势,且随含噪量的增加,去噪优势愈加明显。从输出信噪比、均方误差以及峰值信噪比等评价指标可知,基于波原子变换的三维地震信号盲去噪算法去噪效果最佳,其次为传统波原子变换算法,然后为曲波变换与双树复小波变换算法,传统小波变换算法的去噪效果最差。 展开更多
关键词 波原子 三维地震信号 去噪 阈值修正
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CuO-TiO2气敏材料的制备及其低温丙酮气敏特性研究 预览
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作者 郑洁 潘国峰 +2 位作者 韩楠 肖悦 王如 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期21-27,33共8页
采用溶胶-凝胶法制备了CuO掺杂TiO2纳米材料并用于丙酮气敏传感器制备,通过XRD和SEM对样品的物相结构和表面微观形貌进行表征,利用 EDS对样品的元素种类与平面分布进行了分析,研究了CuO掺杂量、工作温度、光激发等对元件气敏性能的影响... 采用溶胶-凝胶法制备了CuO掺杂TiO2纳米材料并用于丙酮气敏传感器制备,通过XRD和SEM对样品的物相结构和表面微观形貌进行表征,利用 EDS对样品的元素种类与平面分布进行了分析,研究了CuO掺杂量、工作温度、光激发等对元件气敏性能的影响。结果表明,CuO-TiO2对丙酮表现出良好的选择性,掺杂6.6%(质量分数)CuO的CuO-TiO2,经500℃退火后,在75℃下,对体积分数为1000×10^-6丙酮的灵敏度达到106.71,响应时间和恢复时间均为2s;同时研究还显示光激发可以有效提高元件的气敏性能,紫外光照射下元件对丙酮的灵敏度相比无光条件下增幅95%,而可见光照射下元件对丙酮的灵敏度相比无光条件下仍能增幅50%。 展开更多
关键词 氧化铜 二氧化钛 丙酮 工作温度 光激发 气敏性能
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采用改进全卷积网络的“高分一号”影像居民地提取 预览 被引量:1
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作者 潘旭冉 杨帆 潘国峰 《电讯技术》 北大核心 2018年第2期119-125,共7页
针对现有的高分辨率遥感图像居民地信息提取精度和效率不够高的问题,提出了一种基于 改进全卷积网络的“高分一号”( GF-1 )遥感影像居民地提取方法.首先,通过专业的目视解译制备 大量居民地训练样本;然后,将预训练过的深度卷积神经... 针对现有的高分辨率遥感图像居民地信息提取精度和效率不够高的问题,提出了一种基于 改进全卷积网络的“高分一号”( GF-1 )遥感影像居民地提取方法.首先,通过专业的目视解译制备 大量居民地训练样本;然后,将预训练过的深度卷积神经网络进行全卷积网络的改造,并以具有多尺 度卷积核的Inception模块代替由全连接层改造的卷积层,达到减小网络模型参数量、增加特征表达 能力的目的;最后,用制作好的高分辨率遥感图像居民地数据集进行训练和验证,生成可直接进行居 民地信息提取的全卷积网络.实验结果表明,基于改进全卷积网络的方法可以实现精确有效的居民 地信息提取, Kappa系数超过94%. 展开更多
关键词 “高分一号”卫星 高分辨率遥感图像 居民地信息提取 深度学习 全卷积网络
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基于胶体球掩模板法制备图形化蓝宝石衬底
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作者 马文静 杨瑞霞 +2 位作者 陈春梅 任利鹏 罗春丽 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2018年第5期353-358,374共7页
制备并研究了纳米级图形化蓝宝石衬底。采用磁控溅射技术在蓝宝石衬底上沉积SiO_2薄膜,利用自组装方法在SiO_2薄膜上制备单层聚苯乙烯(PS)胶体球阵列,利用感应耦合等离子体干法刻蚀将周期性PS胶体球的图形转移到SiO_2薄膜上,通过湿法... 制备并研究了纳米级图形化蓝宝石衬底。采用磁控溅射技术在蓝宝石衬底上沉积SiO_2薄膜,利用自组装方法在SiO_2薄膜上制备单层聚苯乙烯(PS)胶体球阵列,利用感应耦合等离子体干法刻蚀将周期性PS胶体球的图形转移到SiO_2薄膜上,通过湿法腐蚀制备了纳米级图形化蓝宝石衬底。利用扫描电子显微镜对胶体球掩膜、SiO_2纳米柱掩膜和图形化蓝宝石衬底结构进行了观察,研究了湿法腐蚀蓝宝石衬底的中间产物对刻蚀的影响,分析了腐蚀温度和腐蚀时间对蓝宝石衬底的影响。结果表明,湿法腐蚀的中间产物会降低蓝宝石衬底的刻蚀速率。蓝宝石衬底的腐蚀速率随着腐蚀温度的升高而加快;在同一腐蚀温度下,随着腐蚀时间的增加,图形尺寸进一步减小。 展开更多
关键词 图形化蓝宝石衬底(PSS) 湿法腐蚀 聚苯乙烯(PS) 胶体球掩膜 腐蚀速率
氧化铈负载氧化钴型催化甲烷传感器的制备及稳定性研究 预览 被引量:1
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作者 王天赐 花中秋 +2 位作者 杨瑞霞 曾艳 李彦 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期52-57,共6页
采用浸渍法制备CeO2负载的Co3O4催化剂粉末,将催化剂粉末制作了厚膜型催化燃烧式甲烷气体传感器进行测试,讨论不同钴负载量对甲烷催化的影响,重点研究了不同钴负载量对传感器稳定性的影响,通过SEM、TPR、XRD和BET对催化剂进行分析表征... 采用浸渍法制备CeO2负载的Co3O4催化剂粉末,将催化剂粉末制作了厚膜型催化燃烧式甲烷气体传感器进行测试,讨论不同钴负载量对甲烷催化的影响,重点研究了不同钴负载量对传感器稳定性的影响,通过SEM、TPR、XRD和BET对催化剂进行分析表征。实验结果显示,Co3O4/CeO2催化剂对甲烷有较好的催化特性,Co3O4质量分数为30%时的催化剂制备的传感器对甲烷气体(体积分数2%)响应达到19mV,且在高温环境下传感器响应能力保持稳定,550℃连续工作6h响应值仅下降0.2mV。分析催化剂高温处理前后结果,证实传感器失效是由催化剂失效所导致。 展开更多
关键词 钴催化剂 传感器 甲烷 催化燃烧 氧化铈 响应
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非离子表面活性剂在钽基阻挡层CMP中的作用 被引量:1
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作者 张文倩 刘玉岭 +4 位作者 王辰伟 牛新环 韩丽楠 季军 杜义琛 《微电子学》 CSCD 北大核心 2018年第3期421-424,共4页
碱性条件下,非离子型表面活性剂在阻挡层化学机械平坦化中起着重要的作用。分别对阻挡层材料Cu、Ta以及SiO2介质进行抛光,然后测量铜表面粗糙度。对含有不同浓度活性剂的抛光液进行接触角和Zeta电位的测试,并对活性剂的作用机理进行分... 碱性条件下,非离子型表面活性剂在阻挡层化学机械平坦化中起着重要的作用。分别对阻挡层材料Cu、Ta以及SiO2介质进行抛光,然后测量铜表面粗糙度。对含有不同浓度活性剂的抛光液进行接触角和Zeta电位的测试,并对活性剂的作用机理进行分析。活性剂体积分数达到3%时,铜表面粗糙度可达0.679nm,抛光液在铜膜表面的接触角低至10.25°,Zeta电位达到-50.2mV。实验结果表明,活性剂在减小粗糙度的同时可提高抛光液的湿润性和稳定性,便于抛光后清洗和长时间放置。 展开更多
关键词 非离子表面活性剂 接触角 化学机械平坦化 ZETA电位 表面粗糙度
GaN外延用蓝宝石衬底的图形化研究进展
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作者 马文静 杨瑞霞 +3 位作者 郭艳敏 王波 房玉龙 冯志红 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2017年第11期801-812,819共13页
因蓝宝石具有良好的稳定性能,且其生产技术成熟,是目前异质外延GaN应用最广泛的衬底材料之一。采用图形化蓝宝石衬底技术可以降低GaN外延层材料的位错密度,提高LED的内量子效率,同时提高LED出光效率提高,近年来引起了国内外的广泛关注... 因蓝宝石具有良好的稳定性能,且其生产技术成熟,是目前异质外延GaN应用最广泛的衬底材料之一。采用图形化蓝宝石衬底技术可以降低GaN外延层材料的位错密度,提高LED的内量子效率,同时提高LED出光效率提高,近年来引起了国内外的广泛关注。概述了图形化蓝宝石衬底的研究进展,包括图形化蓝宝石衬底的制备工艺、图形尺寸、图形形状及图形化蓝宝石衬底的作用机理;详细介绍了凹槽状、圆孔状、圆锥形、梯形和半球状5种图形形状,并分析了GaN材料在不同图形形状的图形化蓝宝石衬底上的生长机理及不同图形形状对GaN基LED器件性能的影响。对图形化蓝宝石衬底技术的研究方向进行了展望,提出了亟待研究和解决的问题。 展开更多
关键词 图形化蓝宝石衬底 刻蚀 GAN基LED 内量子效率 光提取效率
磨料粒径对铝栅CMP去除速率和粗糙度的影响 预览
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作者 张金 刘玉岭 +1 位作者 闫辰奇 张文霞 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2017年第1期29-31,39共4页
在铝栅化学机械平坦化(CMP)中磨料直接影响去除速率和表面粗糙度。采用不同粒径的磨料配置抛光液对铝栅进行CMP实验,对去除速率和表面形貌测试结果进行分析。结果表明,去除速率与参与抛光的磨料颗粒数目和单个颗粒去除速率有关,表面... 在铝栅化学机械平坦化(CMP)中磨料直接影响去除速率和表面粗糙度。采用不同粒径的磨料配置抛光液对铝栅进行CMP实验,对去除速率和表面形貌测试结果进行分析。结果表明,去除速率与参与抛光的磨料颗粒数目和单个颗粒去除速率有关,表面粗糙度与单个磨料颗粒机械作用和抛光后磨料颗粒表面吸附有关,并对抛光液稳定性进行了研究。最终选用粒径70 nm,质量分数为5%的磨料,去除速率可达到181 nm/min,表面粗糙度为9.1 nm,对今后铝栅CMP的研究提供了参考。 展开更多
关键词 化学机械平坦化 去除速率 粒径 粗糙度 高k金属栅极
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从阴影恢复形状的径向基函数反射模型研究 被引量:1
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作者 杨志明 赵红东 《中国图象图形学报》 CSCD 北大核心 2017年第11期1565-1573,共9页
目的 为解决传统阴影恢复形状(SFS)算法由于光源方向初始信息估计不准确,恢复的物体表面过于光滑,3维表面形状误差较大等问题,建立了基于径向基函数神经网络的反射模型,并对传统的神经网络进行了改进。方法 建立的基于径向基函数... 目的 为解决传统阴影恢复形状(SFS)算法由于光源方向初始信息估计不准确,恢复的物体表面过于光滑,3维表面形状误差较大等问题,建立了基于径向基函数神经网络的反射模型,并对传统的神经网络进行了改进。方法 建立的基于径向基函数(SFS)神经网络的从阴影恢复形状反射模型代替了传统方法中采用的理想朗伯体表面反射模型。该模型利用径向基函数优秀的局部映射和函数逼近能力来处理SFS问题,通过网络训练过程中的权值代替物体所受到的初始光源信息,解决了传统算法在进行计算时,必须已知光源参数的限制。在该网络模型中添加自适应学习率算法,加速网络的收敛和训练速度。结果 针对SFS问题处理的两幅经典合成图像以及两幅实际图像进行了实验,实验结果表明,改进后的算法在3维视觉效果和3维形状信息的恢复方面都明显优于传统算法。归一化后的3维高度误差结果相比传统算法缩小了60%以上,而且同时适用合成图像和实际图像;自适应学习率的加入,使得网络的训练速度大大加快,对一幅128×128像素的图像,运算速度提升了50%。结论 本文针对SFS问题建立了基于RBF神经网络的从阴影恢复形状反射模型,利用网络模型中的参数代替SFS问题中的初始光源信息,通过最优化方法求解SFS问题。并针对传统的神经网络固定学习率造成网络收敛速度慢,容易陷入局部极小值的问题,加入了自适应学习率算法。实验结果表明,改进后的算法在处理该SFS问题时表现了优秀的性能,适用范围更广,收敛速度更快。 展开更多
关键词 从阴影恢复形状 径向基函数 神经网络 反射模型 3维重建
电化学研究在锗的化学机械抛光上的应用
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作者 潘柏臣 张保国 周朝旭 《稀有金属》 CSCD 北大核心 2017年第10期1137-1142,共6页
通过电化学工作站对p型2英寸(1英寸=2.54 cm)Ge晶圆进行了研究,结合Alpsitec E460抛光机、原子力显微镜(AFM)验证电化学研究对于Ge的化学机械抛光的理论指导意义。结果表明:NaOH作为pH调节剂对Ge具备着比KOH,NH3·H2O作为pH调... 通过电化学工作站对p型2英寸(1英寸=2.54 cm)Ge晶圆进行了研究,结合Alpsitec E460抛光机、原子力显微镜(AFM)验证电化学研究对于Ge的化学机械抛光的理论指导意义。结果表明:NaOH作为pH调节剂对Ge具备着比KOH,NH3·H2O作为pH调节剂更强的腐蚀性;在H2O2浓度一定的条件下,Ge的腐蚀性随着电解液中pH值的增加而增加;在pH相同的条件下,NaClO对Ge的腐蚀性要高于H2O2对Ge的腐蚀性。使用Alpsitec E460机台对电化学测试结果进行验证比较,经过条件优化,在5%(质量分数)的SiO2磨料,1%(原子分数)的H2O2,pH=9条件下对Ge晶圆进行化学机械抛光得到Ge的抛光速率为299.87 nm·min(-1),通过AFM观测抛光120 s后Ge晶圆表面粗糙度RMS=1.86 nm(10μm×10μm),线粗糙度Ra可达0.137 nm。说明了Ge的电化学测试可以有效为实际的CMP研究提供可靠的理论指导。 展开更多
关键词 Ge 电化学 腐蚀性 化学机械抛光 表面粗糙度
基于群智能算法的光OFDM系统PAPR抑制 被引量:8
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作者 刘剑飞 王少影 +2 位作者 曾祥烨 卢嘉 王蒙军 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期92-99,共8页
针对相干光正交频分复用(OFDM)系统中峰值平均功率比(PAPR)高的问题,对粒子群算法(PSO)、蝙蝠算法(BA)和鸟群算法(BSA)等几种群智能算法进行了研究,采用群智能算法优化OFDM符号的子载波相位,达到降低PAPR的目的。同时,通过动... 针对相干光正交频分复用(OFDM)系统中峰值平均功率比(PAPR)高的问题,对粒子群算法(PSO)、蝙蝠算法(BA)和鸟群算法(BSA)等几种群智能算法进行了研究,采用群智能算法优化OFDM符号的子载波相位,达到降低PAPR的目的。同时,通过动态调整认知系数和学习因子,分别对蝙蝠算法和鸟群算法进行了改进。对100Gb/s、二进制正交振幅调制(4QAM)的相干光OFDM系统的仿真实验表明,PSO、BA、BSA三种智能算法都能有效降低系统的PAPR,且改进BSA和改进BA与原始信号相比可使PAPR分别降低约5.11dB、5.48dB,具有更好的抑制效果;采用群智能算法优化后,系统误码率性能也得到提高,且随着光信噪比的增大,性能提高更加明显。 展开更多
关键词 光通信 相干光正交频分复用 智能算法 峰值平均功率比 误码率
碎片化学习在电子线路课程中的应用 预览
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作者 吴焕丽 刘翠响 +1 位作者 唐红梅 韩力英 《中小企业管理与科技》 2017年第27期114-115,共2页
研究碎片化学习在电子线路课程中的应用,目的是应对日益减少的教学学时和课程自身教学内容相对较多而产生的矛盾,从而使学生在目前相对较少的学时中能较好地掌握必修内容。
关键词 碎片化 个体学习 组织学习
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新型Cu/Ti/SiO2碱性精抛液对TSV碟形坑和塌边的修正
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作者 刘俊杰 刘玉岭 +1 位作者 牛新环 王如 《稀有金属》 CSCD 北大核心 2017年第12期1359-1368,共10页
研发了一种无氧化剂无抑制剂的新型碱性TSV精抛液,通过单因素实验确定FA/OI型非离子表面活性剂和有机胺碱的体积分数,以使Cu/Ti/SiO2的去除速率满足选择比。根据表面活性剂的优先吸附理论来降低碟形坑内部反应界面的能量,同时运... 研发了一种无氧化剂无抑制剂的新型碱性TSV精抛液,通过单因素实验确定FA/OI型非离子表面活性剂和有机胺碱的体积分数,以使Cu/Ti/SiO2的去除速率满足选择比。根据表面活性剂的优先吸附理论来降低碟形坑内部反应界面的能量,同时运用大分子有机胺碱的自钝化原理来控制碟形坑的延伸,使用HP&MP&LP工作压力模式来解决通孔边界处的塌边问题。结果表明:当抛光液中FA/OI型非离子表面活性剂和大分子有机胺碱的体积分数分别为3.0%和1.5%时对Cu/Ti/SiO2的选择性最好。用优化后的抛光液在TSV图形片上进行了测试并比较了不同通孔间距下碟形坑的修正能力。台阶仪检测结果显示,优化后的抛光液对碟形坑的修正能力为1500~2000nm·min-1,且对间距分别为20,40,60和80μm的4种通孔内碟形坑的修正能力均在1500nm·min-1以上,当HP&MP&LP模式中3个阶段的持续时间分别为总抛光时间的50%,30%和20%时塌边现象得到解决。 展开更多
关键词 硅通孔 化学机械抛光 碟形坑
一种基于全变分正则化低秩稀疏分解的动态MRI重建方法 被引量:1
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作者 马杰 王晓云 +1 位作者 张志伟 刘雅莉 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期87-96,共10页
针对应用迭代软阈值(IST)算法对基于低秩稀疏矩阵(L+S,low rank and sparse)分解模型的动态磁共振成像(MRI)图像进行重建存在重建精度一般和重建速度慢的问题,提出在矩阵L+S分解模型的基础上引入全变分(TV)正则项,达到进一步... 针对应用迭代软阈值(IST)算法对基于低秩稀疏矩阵(L+S,low rank and sparse)分解模型的动态磁共振成像(MRI)图像进行重建存在重建精度一般和重建速度慢的问题,提出在矩阵L+S分解模型的基础上引入全变分(TV)正则项,达到进一步去噪声和去伪影,提高重建精度目的;利用非精确增广拉格朗日算法(IALM)达到快速重建的目的。通过对心脏灌注动态MRI成像和心电影MRI成像的仿真实验表明:对于L+S低秩稀疏矩阵分解模型的重建,IALM比IST算法速度更快,精度更高;模型引入TV正则项后再利用IALM重建,重建速度虽然比之前的IALM有所降低,但依然优于IST算法,并且重建精度高于之前的IALM。在L+S分解模型中引入TV正则项提高了MRI重建精度,运用IALM进行求解加快了重建速度,结合TV正则项和IALM达到了快速、高精度重建的目的。 展开更多
关键词 压缩感知(CS) 低秩矩阵恢复 稀疏表示 动态磁共振成像(MRI)
CMP后清洗中活性剂对SiO2颗粒去除的影响 被引量:1
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作者 洪姣 牛新环 +4 位作者 刘玉岭 王辰伟 孙鸣 高宝红 韩力英 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第4期255-258,275共5页
主要研究了碱性清洗剂中不同体积分数FA/O型活性剂对SiO_2颗粒沾污去除的影响。由金相显微镜实验可以看出,随着FA/O型活性剂体积分数的增加,SiO_2颗粒沾污去除效果先升高后降低,在体积分数为0.25%时效果最优。由原子力显微镜(AFM)测... 主要研究了碱性清洗剂中不同体积分数FA/O型活性剂对SiO_2颗粒沾污去除的影响。由金相显微镜实验可以看出,随着FA/O型活性剂体积分数的增加,SiO_2颗粒沾污去除效果先升高后降低,在体积分数为0.25%时效果最优。由原子力显微镜(AFM)测试实验可以得出,当FA/O型活性剂体积分数为0.25%时铜光片表面粗糙度最小,说明此时SiO_2颗粒沾污得到了有效去除,适当的FA/O型活性剂体积分数能有效提高清洗后铜光片的表面质量。通过扫描电子显微镜(SEM)随机扫描,对SiO_2颗粒沾污进行统计计算,得出当FA/O型活性剂体积分数为0.25%时SiO_2颗粒沾污缺陷占总缺陷的百分比最小,说明FA/O型活性剂可以有效去除化学机械抛光后铜光片表面的SiO_2颗粒沾污。 展开更多
关键词 碱性清洗剂 SIO2颗粒 金相显微镜 原子力显微镜(AFM) 扫描电子显微镜(SEM)
螯合剂在TSV CMP中对铜膜抛光效果的影响
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作者 洪姣 刘玉岭 +4 位作者 牛新环 王辰伟 闫辰奇 张金 张燕 《微纳电子技术》 北大核心 2015年第12期791-794,共4页
化学机械抛光(CMP)是硅通孔(TSV)工艺中的关键步骤之一,抛光工艺和抛光液是影响抛光效果的两大决定因素。主要研究了抛光液中螯合剂在TSV CMP中对铜膜去除速率及抛光后铜膜表面粗糙度的影响,由实验结果可知,随着抛光液中螯合剂体积... 化学机械抛光(CMP)是硅通孔(TSV)工艺中的关键步骤之一,抛光工艺和抛光液是影响抛光效果的两大决定因素。主要研究了抛光液中螯合剂在TSV CMP中对铜膜去除速率及抛光后铜膜表面粗糙度的影响,由实验结果可知,随着抛光液中螯合剂体积分数的增加,铜膜去除速率先增加后趋于平衡,螯合剂体积分数为5%时铜膜的去除速率最大,约为1 450 nm/min;随着抛光液中螯合剂体积分数的增加,抛光后铜膜表面粗糙度先减小后增大,螯合剂体积分数为5%时铜膜表面粗糙度最小,约为1.77 nm。 展开更多
关键词 螯合剂 硅通孔(TSV)技术 碱性抛光液 去除速率 粗糙度
结合主成分分析的四维块匹配协同滤波三维地震信号去噪 被引量:3
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作者 张欢 池越 +1 位作者 周亚同 任婷婷 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2018年第4期136-143,共8页
四维块匹配协同滤波(BM4D)用于地震信号去噪时,虽然性能良好,但需要预知噪声标准差。针对上述问题,提出结合主成分分析(PCA)噪声估计的BM4D三维地震信号去噪算法。该算法首先用PCA对地震信号进行噪声估计,然后将估计结果用于BM4... 四维块匹配协同滤波(BM4D)用于地震信号去噪时,虽然性能良好,但需要预知噪声标准差。针对上述问题,提出结合主成分分析(PCA)噪声估计的BM4D三维地震信号去噪算法。该算法首先用PCA对地震信号进行噪声估计,然后将估计结果用于BM4D去噪。对人工合成与实际三维地震信号的去噪实验结果表明,本文算法具有可行性,既能取得很好的去噪效果,又能规避BM4D对噪声水平预估值敏感的局限性。与5种噪声估计算法的对比实验表明,本文方法在噪声估计时间和精度方面均具有优势。 展开更多
关键词 图像处理 三维地震信号去噪 块匹配协同滤波 噪声估计 主成分分析 均方根误差
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