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基于厚度剪切振动的压电圆盘微陀螺的制作和分析 预览
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作者 关冉 张卫平 +3 位作者 许仲兴 张弓 成宇翔 陈文元 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第9期115-117,121共4页
基于面内振动模态工作的圆盘陀螺在利用压电方式驱动和检测时,需要在圆盘振动体侧壁上加工压电换能器,很难由MEMS工艺实现。为实现压电圆盘陀螺的小型化,设计制作了一种直接由压电材料作为振动体,基于厚度剪切振动模态工作的新型压电圆... 基于面内振动模态工作的圆盘陀螺在利用压电方式驱动和检测时,需要在圆盘振动体侧壁上加工压电换能器,很难由MEMS工艺实现。为实现压电圆盘陀螺的小型化,设计制作了一种直接由压电材料作为振动体,基于厚度剪切振动模态工作的新型压电圆盘微陀螺。厚度剪切振动模态使得陀螺可以通过在压电基片上下表面制作金属电极的MEMS工艺进行加工。通过对加工出的陀螺器件进行阻抗分析发现加工出的陀螺具有良好的对称性,基于阻抗分析得到的品质因数通过有限元分析可知,陀螺可实现高灵敏度、低非线性度、大量程、低角速度耦合误差等性能。 展开更多
关键词 压电 圆盘谐振体 微机械陀螺 厚度剪切振动 MEMS工艺
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微机械陀螺检测接口建模及前置放大器优化 预览 被引量:7
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作者 赵阳 裘安萍 +1 位作者 施芹 赵健 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1734-1740,共7页
为了进一步提高微机械陀螺的极限分辨率,建立了基于SOI工艺的微机械陀螺的检测接口模型,并设计了与之相匹配的前置接口放大器。首先,根据陀螺表头的实际结构建立了微机械陀螺表头的RC集总参数模型和微机械陀螺检测接口的噪声模型,分析... 为了进一步提高微机械陀螺的极限分辨率,建立了基于SOI工艺的微机械陀螺的检测接口模型,并设计了与之相匹配的前置接口放大器。首先,根据陀螺表头的实际结构建立了微机械陀螺表头的RC集总参数模型和微机械陀螺检测接口的噪声模型,分析了检测接口主导噪声源及提高极限分辨率的措施。然后,在跨阻式前置放大器的基础上设计了改进的与检测接口匹配的T型前置放大器。实验结果表明:相比于跨阻式前置放大器,采用改进的T型前置放大器的等效噪声输入电流由1.18pA/√Hz降低至0.27pA/√Hz,对应的电容极限分辨率可达到0.62aF/√Hz。结果显示,采用与检测接口匹配的T型前置放大器提高了微机械陀螺的极限分辨率。 展开更多
关键词 微机械陀螺 接口模型 极限分辨率 T型前置放大器
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无驱动陀螺信号的频谱分析与滤波处理 预览
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作者 于小龙 张福学 秦胜杰 《北京信息科技大学学报:自然科学版》 2012年第2期 59-62,共4页
为解决无驱动陀螺输出信号中干扰噪声较大的问题,考虑对陀螺信号进行数字滤波处理。根据陀螺输出信号的特点推导了无驱陀螺信号的频谱函数表达式,确定信号的频谱特点。分析了加窗截断对其频谱的影响,并对采集的信号在不同宽度的矩形窗... 为解决无驱动陀螺输出信号中干扰噪声较大的问题,考虑对陀螺信号进行数字滤波处理。根据陀螺输出信号的特点推导了无驱陀螺信号的频谱函数表达式,确定信号的频谱特点。分析了加窗截断对其频谱的影响,并对采集的信号在不同宽度的矩形窗下做快速傅里叶变换验证了所得结果。根据实际使用中无驱陀螺信号的有用频带位于低频段的特点,利用MATLAB设计低通滤波器进行滤波处理,滤波后效果较好。 展开更多
关键词 微机械陀螺 频谱分析 滤波
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基于振动模态的微器件结构设计评价方法 预览
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作者 文永蓬 尚慧琳 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2012年第5期796-801,共6页
为了提高微器件的设计效率,提出一种微器件的结构新型设计评价方法。首先,根据理论分析获得微机械陀螺结构设计原则,以典型两质量块微机械陀螺为研究对象,利用有限元工具与模态分析相结合,获得该系统固有频率和相应的振型矩阵;然后,利... 为了提高微器件的设计效率,提出一种微器件的结构新型设计评价方法。首先,根据理论分析获得微机械陀螺结构设计原则,以典型两质量块微机械陀螺为研究对象,利用有限元工具与模态分析相结合,获得该系统固有频率和相应的振型矩阵;然后,利用模态叠加法求各阶模态对于驱动振动和检测振动的贡献度,并采用能量法分析各阶模态对系统的影响;最后,针对两类音叉式微机械陀螺具体实例模型,分别获得系统各阶模态能量在频域上的分布情况,证明所提出的微结构设计评价方法的正确性。 展开更多
关键词 微器件 微机械陀螺 结构设计 评价准则 振动模态
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基于LabVIEW的微机械陀螺自动测试系统开发 预览 被引量:10
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作者 何春华 崔健 +6 位作者 闫俊杰 林龙涛 王福娟 郭中洋 杨振川 蔡志岗 闫桂珍 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期 170-174,共5页
为了快速评估微机械陀螺的性能参数,结合NI PXI 4461数据采集卡,用LabVIEW软件实现了陀螺信号处理算法和若干关键指标测试功能,包括陀螺扫频测试、闭环驱动控制测试、标度因数和零偏等相关性能测试。实验结果表明,该自动测试系统借助Lab... 为了快速评估微机械陀螺的性能参数,结合NI PXI 4461数据采集卡,用LabVIEW软件实现了陀螺信号处理算法和若干关键指标测试功能,包括陀螺扫频测试、闭环驱动控制测试、标度因数和零偏等相关性能测试。实验结果表明,该自动测试系统借助LabVIEW强大的信号处理功能以及灵活的在线调试大大地提高了陀螺芯片测试与筛选的效率,可以快速可靠地挑选出性能优良的陀螺芯片,对陀螺的生产加工具有重要的促进作用。 展开更多
关键词 微机械陀螺 性能测试 闭环驱动控制 LABVIEW软件
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微陀螺模态特性的参数化分析方法 预览
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作者 李浩 肖定邦 +2 位作者 吴学忠 陈志华 侯占强 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第10期 1396-1400,共5页
模态分析是微陀螺结构设计的重要环节,针对一种采用L形截面悬臂梁支撑的微陀螺结构,提出了参数化的模态分析方法。建立了微陀螺的参数化模型,以VC作为封装ANSYS的APDL命令流的工具,开发了微陀螺参数化的模态分析模块。利用该模块研究了... 模态分析是微陀螺结构设计的重要环节,针对一种采用L形截面悬臂梁支撑的微陀螺结构,提出了参数化的模态分析方法。建立了微陀螺的参数化模型,以VC作为封装ANSYS的APDL命令流的工具,开发了微陀螺参数化的模态分析模块。利用该模块研究了微陀螺模态频率随主要结构尺寸变化的规律,发现对模态频率影响较大的是硅结构的厚度和支撑梁的宽度,并通过优化结构尺寸使其模态频率完全匹配。 展开更多
关键词 微陀螺 模态分析 参数化 APDL VC
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静电驱动电容式微机械陀螺寄生Coriolis力的建模与分析 被引量:1
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作者 莫冰 郑琦 +1 位作者 刘晓为 陈斯浩 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期603-607,626共6页
在静电驱动电容式微机械陀螺传感器结构的基础上,对寄生Coriolis力进行受力分析,建立了寄生Coriolis力的等效电学模型。比较分析了理想情况下微机械陀螺的等效电学模型以及包含寄生Coriolis力的等效电学模型,结果表明,对于静电驱动电容... 在静电驱动电容式微机械陀螺传感器结构的基础上,对寄生Coriolis力进行受力分析,建立了寄生Coriolis力的等效电学模型。比较分析了理想情况下微机械陀螺的等效电学模型以及包含寄生Coriolis力的等效电学模型,结果表明,对于静电驱动电容式微机械陀螺,寄生Coriolis力并不改变有用信号的频率及相位,对其峰峰值的衰减程度小于0.2‰。 展开更多
关键词 静电驱动 微机械陀螺 寄生Coriolis力 电学模型
解耦z轴微机械陀螺的研制 预览 被引量:3
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作者 周浩 苏伟 +1 位作者 刘显学 唐海林 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期 2123-2130,共8页
提出了一种检测模态解耦的z轴微机械陀螺,其检测模态被约束为1自由度振动,可抑制驱动模态的影响,降低不期望的检测模态偏置,并使用双质量结构在降低模态耦合的同时获得了较好的模态频率匹配。为满足驱动和检测模态自由度约束要求,使用了... 提出了一种检测模态解耦的z轴微机械陀螺,其检测模态被约束为1自由度振动,可抑制驱动模态的影响,降低不期望的检测模态偏置,并使用双质量结构在降低模态耦合的同时获得了较好的模态频率匹配。为满足驱动和检测模态自由度约束要求,使用了U形支撑梁。采用反应离子深刻蚀工艺制作了高深宽比结构层,获得了较大的验证质量,抑制了器件的机械热噪声,提高了陀螺分辨率。加工的陀螺面积为2 100μm×2 100μm,厚度为60μm。采用真空封装,获得了较高的机械品质因子。测试结果表明,驱动和检测模态的品质因子分别为2 000和1 800,机械热噪声为3.76(°)/h.Hz21。在±200(°)/s的量程内,刻度因子为21mV/(°).s-1,非线性度为1.426%FS,1h内测得零偏稳定性为0.057 9(°)/s。 展开更多
关键词 微机械陀螺 机械解耦 反应离子深刻蚀
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基于共振隧穿二极管的微机械陀螺设计 预览
9
作者 王瑞荣 杜康 +3 位作者 李孟委 石云波 刘俊 李平 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期 647-650,共4页
介绍了一种基于介观压阻效应的新型电磁式微机械陀螺,并对陀螺进行了结构设计。该结构采用电磁驱动方式,实现了工作电压小、驱动力大、行程大的要求;采用共振隧穿二极管(RTD)所具有的介观压阻效应检测方式,本质上提高了陀螺的灵敏度。... 介绍了一种基于介观压阻效应的新型电磁式微机械陀螺,并对陀螺进行了结构设计。该结构采用电磁驱动方式,实现了工作电压小、驱动力大、行程大的要求;采用共振隧穿二极管(RTD)所具有的介观压阻效应检测方式,本质上提高了陀螺的灵敏度。用ANSYS软件对结构进行了模态分析和路径分析,确定了结构的固有频率和RTD放置位置。结合目前工艺要求,对该陀螺进行了工艺设计并实现了结构加工。 展开更多
关键词 电磁驱动 介观压阻效应 结构设计 微机械陀螺
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微机械陀螺温度系数的快速标定方法 预览 被引量:5
10
作者 罗兵 吴美平 +1 位作者 尹文 曹聚亮 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第10期 1444-1448,共5页
微机械陀螺温度系数的标定通常是利用温控转台在每个温度点经过长时间的保温达到温度平衡后进行,费力费时。为了提高标定效率,提出了一种快速标定方法。使用温控转台产生正弦角速度激励,利用温控转台的同步脉冲触发MIMU采集数据,然后通... 微机械陀螺温度系数的标定通常是利用温控转台在每个温度点经过长时间的保温达到温度平衡后进行,费力费时。为了提高标定效率,提出了一种快速标定方法。使用温控转台产生正弦角速度激励,利用温控转台的同步脉冲触发MIMU采集数据,然后通过相关分析技术分离出陀螺的刻度因子、零偏以及相位延迟,分别建立刻度因子与温度,零偏与温度的模型。根据得到的相位延迟结果,采用曲线拟合方法还可以同时分离出零次项系数(即零偏)、一次项系数(即刻度因子)、二次项系数。实验对比显示:两种方法得出的刻度因子温度模型、零偏温度模型一致,从而验证了两种方法的正确性。提出的方法不需要在每个温度点长时间保温,比传统方法节省了大量时间,而且还能够快速标定出存在温度梯度情况下的温度系数。 展开更多
关键词 微机械陀螺 快速标定 相关分析 温度系数
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静电驱动压阻检测微机械陀螺仪的研究 预览 被引量:1
11
作者 王瑞荣 杜康 +1 位作者 石云波 刘俊 《测试技术学报》 2010年第4期 334-338,共5页
对静电驱动压阻检测微机械陀螺仪进行了结构设计并对工作原理进行了介绍.与硅压阻器件相比,本文利用多势垒纳米膜所具有的压阻效应作为检测方式,实现了较高的压阻灵敏度;采用硅基异质外延砷化镓薄膜工艺进行陀螺结构以及多势垒纳米... 对静电驱动压阻检测微机械陀螺仪进行了结构设计并对工作原理进行了介绍.与硅压阻器件相比,本文利用多势垒纳米膜所具有的压阻效应作为检测方式,实现了较高的压阻灵敏度;采用硅基异质外延砷化镓薄膜工艺进行陀螺结构以及多势垒纳米膜器件的加工,较好地实现了工艺的兼容.通过对结构进行模态仿真,确定了陀螺的固有频率. 展开更多
关键词 静电驱动 压阻检测 结构设计 微机械陀螺 加工工艺
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微静电陀螺仪再平衡回路设计 预览 被引量:1
12
作者 韩丰田 付中泽 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2010年第1期 97-100,共4页
微静电陀螺仪依靠可控的静电力,将高速旋转的陀螺转子稳定地悬浮在高真空的电极腔中心,是一种能实现两自由度角速率测量的新型微机电陀螺。针对大角度、高角速率的捷联式惯性导航系统应用,对陀螺仪再平衡回路进行了设计。讨论了陀螺... 微静电陀螺仪依靠可控的静电力,将高速旋转的陀螺转子稳定地悬浮在高真空的电极腔中心,是一种能实现两自由度角速率测量的新型微机电陀螺。针对大角度、高角速率的捷联式惯性导航系统应用,对陀螺仪再平衡回路进行了设计。讨论了陀螺仪的动力学特性,给出了补偿负刚度特性的方法,采用双频波特图对系统稳定性进行了分析,给出了再平衡回路的性能仿真结果。仿真与分析表明,陀螺仪允许的最大输入角速度为768(°)/s,标度系数为6.44mV/(°)·s^-1)。 展开更多
关键词 微机械陀螺 静电悬浮 再平衡回路 稳定性
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介观压阻效应电磁驱动微机械陀螺仪的设计与测试 预览
13
作者 王瑞荣 杜康 +1 位作者 石云波 刘俊 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第12期 1700-1703,共4页
将共振隧穿二极管具有的介观压阻效应与哥氏效应结合应用于陀螺的设计中,提出了一种新型的采用回折型正交梁的陀螺结构。结合现在的工艺水平,设计了合理的加工工艺方案,并进行了加工与封装。通过对封装后的陀螺进行驱动方向测试,得到了... 将共振隧穿二极管具有的介观压阻效应与哥氏效应结合应用于陀螺的设计中,提出了一种新型的采用回折型正交梁的陀螺结构。结合现在的工艺水平,设计了合理的加工工艺方案,并进行了加工与封装。通过对封装后的陀螺进行驱动方向测试,得到了固有频率的范围;检测方向上利用振动台对陀螺灵敏度进行了测试,得到在1kHz和4kHz时的测试灵敏度分别为7.51mV/gn、100.74mV/gn。 展开更多
关键词 介观压阻效应 微机械陀螺 驱动测试 检测测试
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微机械陀螺测量旋转体自旋频率的机理分析 预览 被引量:1
14
作者 吴立锋 张福学 +1 位作者 严庆文 刘宇 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2009年第2期 214-217,共4页
阐明了所研制的微机械陀螺可用于检测旋转体的自旋频率。首先,根据微机械陀螺结构特点和工作原理得出陀螺榆出信号的频率取决于陀螺敏感轴和偏转方向之间夹角的变化,进而得到微机械陀螺输出信号频率与旋转体自旋频率之间的关系。其次... 阐明了所研制的微机械陀螺可用于检测旋转体的自旋频率。首先,根据微机械陀螺结构特点和工作原理得出陀螺榆出信号的频率取决于陀螺敏感轴和偏转方向之间夹角的变化,进而得到微机械陀螺输出信号频率与旋转体自旋频率之间的关系。其次,在旋转体处于恒值运动、角振动运动、圆周运动和椭圆运动等四种基本运动形式下,分别建立了陀螺测量旋转体自旋频率的数学模型,并采用加速度计输出为基准信号,推导出陀螺输出信号频率与旋转体自旋频率、运动形式、运动频率、运动方向之间的关系。最后,利用三轴转台模拟旋转体的四种运动形式,并将陀螺输出信号和加速计输出信号进行频谱分析。试验结果表明,理论分析与试验结果相吻合,该微机械陀螺可用于测量旋转体自旋频率。 展开更多
关键词 微机械 陀螺 旋转体 自旋频率
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一种适用于旋转弹单通道控制的硅微机械陀螺仪 预览 被引量:2
15
作者 严庆文 张福学 +1 位作者 吴立锋 刘宇 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2009年第5期 599-603,共5页
单通道控制是一种简单实用的旋转弹控制方式。通过控制旋转弹的舵面偏转方向,可减小弹体受横向角速率的影响,提高旋转弹的命中率。针对单通道控制方式,提出了一种可用于提供控制信号的硅微机械陀螺仪。陀螺仪无驱动部分,体积小,结构简... 单通道控制是一种简单实用的旋转弹控制方式。通过控制旋转弹的舵面偏转方向,可减小弹体受横向角速率的影响,提高旋转弹的命中率。针对单通道控制方式,提出了一种可用于提供控制信号的硅微机械陀螺仪。陀螺仪无驱动部分,体积小,结构简单。其输出的正弦调幅信号的频率与旋转弹自旋频率相等,幅值与输入横向角速率呈线性关系。通过对陀螺仪输出信号进行线性化处理,可得到用于控制旋转弹舵面换相的等幅不等宽脉冲调宽信号。通过舵面在弹体自旋一周内的四次换相,可同时完成对导弹俯仰和偏航两个方向的控制。 展开更多
关键词 微机械 陀螺仪 旋转弹 单通道控制
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静电悬浮转子微陀螺微位移信号检测系统的设计 预览
16
作者 肖奇军 陈文元 +3 位作者 崔峰 李胜勇 黄晓刚 邵珰珰 《机电工程技术》 2009年第5期 60-63,共4页
为实现对悬浮转子微陀螺转子五自由度的测量,提出了一种频分复用的微位移检测原理,主要介绍了多频率信号发生器,前置放大器,锁相放大器组成的测试系统,设计了一种基于DDS技术的多频率信号发生器和基于锁相放大原理的解调电路。实... 为实现对悬浮转子微陀螺转子五自由度的测量,提出了一种频分复用的微位移检测原理,主要介绍了多频率信号发生器,前置放大器,锁相放大器组成的测试系统,设计了一种基于DDS技术的多频率信号发生器和基于锁相放大原理的解调电路。实验和分析结果表明,该电路能实现多自由度微位移检测,设计的多频率信号发生器的频率分辨率能达到0.005821Hz,相位分辨率可以达到0.006rad,检测轴向灵敏度为1.34V/μm,检测径向灵敏度为0.092V/μm,测量电路的轴向位移分辨率为0.45nm,径向位移分辨率为6.6nm,转角的分辨率为0.25μrad,位移检测电路的分辨率,灵敏度和测量范围能够满足静电悬浮转子微陀螺的控制需要。 展开更多
关键词 微陀螺 微位移检测 信号发生器 锁相放大器
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双质量块微振动陀螺设计与仿真 预览 被引量:2
17
作者 陈伟平 郭玉刚 +1 位作者 陈晓亮 刘晓为 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期30-33,共4页
设计了一种能降低模态之间的机械耦合的电容式双质量块微振动陀螺.此陀螺能精确地匹配模态频率,而且可以克服重力加速度对输出检测电容的影响.利用ANSYS对结构进行了仿真和优化,得到驱动频率为t010Hz,检测频率为1009Hz,频率匹配... 设计了一种能降低模态之间的机械耦合的电容式双质量块微振动陀螺.此陀螺能精确地匹配模态频率,而且可以克服重力加速度对输出检测电容的影响.利用ANSYS对结构进行了仿真和优化,得到驱动频率为t010Hz,检测频率为1009Hz,频率匹配系数达到0.099%.利用MATLAB进行系统仿真,得到结构灵敏度为31.61IF/(rad·s^-1)机械灵敏度为59.77nm/(tad·s^-1). 展开更多
关键词 微机械陀螺 双质量块 机械耦合 仿真
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一种全对称微机械陀螺的双级解耦机构特性 预览 被引量:2
18
作者 陈伟平 陈宏 +2 位作者 郭玉刚 许鹏 刘晓为 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2009年第3期 239-244,共6页
为了实现微机械陀螺的频率匹配和双级解耦,提出了一种全对称双级解耦结构体硅微机械陀螺.该陀螺结构完全对称,容易实现驱动和检测模态谐振频率的匹配,提高系统灵敏度.驱动和检测方向的主要阻尼均为滑膜阻尼,在常压下工作也可以获得较高... 为了实现微机械陀螺的频率匹配和双级解耦,提出了一种全对称双级解耦结构体硅微机械陀螺.该陀螺结构完全对称,容易实现驱动和检测模态谐振频率的匹配,提高系统灵敏度.驱动和检测方向的主要阻尼均为滑膜阻尼,在常压下工作也可以获得较高的品质因子,避免了器件的真空封装.利用4组十字折梁,实现了结构的双级解耦.仿真结果表明,模态之间的耦合系数小于0.17%.采用体硅微机械加工技术制作了样品,关键工艺有硅-玻璃阳极键合和DRIE技术.基于计算机图像技术对微机械陀螺进行了测试,验证了陀螺的解耦功能,在常压条件下测得该陀螺的品质因子为195,灵敏度为8.031 mV/((°).s^-1). 展开更多
关键词 微机械陀螺 全对称结构 双级解耦机构 滑膜阻尼
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High-performance micromachined gyroscope with a slanted suspension cantilever
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作者 肖定邦 吴学忠 +3 位作者 侯占强 陈志华 董培涛 李圣怡 《半导体学报:英文版》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期67-70,共4页
This paper presents a novel structure for improving the stability and the mechanical noise of microma- chined gyroscopes. Only one slanted cantilever is used for suspension in this gyroscope, so the asymmetry spring a... This paper presents a novel structure for improving the stability and the mechanical noise of microma- chined gyroscopes. Only one slanted cantilever is used for suspension in this gyroscope, so the asymmetry spring and the thermal stress, which most micromachined gyroscopes suffer from, are reduced. In order to reduce the mechani- cal noise, the proof masses are designed to be much larger than in most micromachined gyroscopes. The gyroscope chip is sealed at 0.001 Pa vacuum. A gyroscope sample and its read-out circuit are fabricated. The scale factor of this gyroscope is measured as 57.6 mV/(deg/sec) with a nonlinearity better than 0.12% in a measurement range of ±100 deg/sec. The short-term bias stability in 20 min is 60 deg/h. 展开更多
关键词 微机械陀螺 悬臂 悬挂 微陀螺仪 性能 测量范围 机械噪音 新型结构
微机械陀螺的建模与仿真 预览 被引量:3
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作者 张霞 郑旭东 +1 位作者 王昊 金仲和 《浙江大学学报:工学版》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期646-650,共5页
为了降低微机械陀螺系统的噪声和提高系统分辨率,依据电磁驱动电容检测式微机械陀螺的运动方程和接口电路的传递函数在Simulink仿真平台上建立了系统级仿真模型,模型中加入了传感器的机械热噪声、电路的电热噪声以及传感器内部的耦合... 为了降低微机械陀螺系统的噪声和提高系统分辨率,依据电磁驱动电容检测式微机械陀螺的运动方程和接口电路的传递函数在Simulink仿真平台上建立了系统级仿真模型,模型中加入了传感器的机械热噪声、电路的电热噪声以及传感器内部的耦合效应等,模型不仅能够实现陀螺系统的功能性仿真,还能对各部分噪声源对系统性能的影响进行量化,获得不同耦合情况下的系统主要噪声源,系统噪声仿真结果表明,当陀螺器件内部耦合效应较小时,电容电压(CV)变换电路单元为主要噪声源;当陀螺器件内部耦合效应较大时,陀螺自激端输出信号的带通滤波放大电路单元为主要噪声源,并通过实验测试使仿真结果得到了验证。 展开更多
关键词 微机械陀螺 噪声 系统级仿真模型
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