期刊文献+
共找到19篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
相干衍射成像的相位复原及重建 预览
1
作者 康旭 刘进 《高压物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期64-73,共10页
相干衍射成像是一种对材料体密度敏感的超高分辨成像技术。相较于传统表面敏感的超高分辨成像技术,相干衍射成像利用了硬 X射线的强穿透能力,可以深入材料体内部进行成像,且成像分辨能力可以根据成像布局进行调整,最高达到原子级空间分... 相干衍射成像是一种对材料体密度敏感的超高分辨成像技术。相较于传统表面敏感的超高分辨成像技术,相干衍射成像利用了硬 X射线的强穿透能力,可以深入材料体内部进行成像,且成像分辨能力可以根据成像布局进行调整,最高达到原子级空间分辨能力。这种灵活的空间分辨调整依赖于相干衍射成像独特的相位复原技术,即通过对图像成像强度的过采样,利用含约束的迭代算法同时获得光场的强度及相位,进而对样品进行重建;同时结合图像定向及组合技术,相干衍射成像可以实现对样品的三维重建。本文主要从成像原理、复原算法和重建方法介绍相干衍射成像技术,并结合实验进展及模拟研究展示该技术在多种重建情形下具备的诊断能力,以期较为全面地给出相干衍射成像技术的发展趋势。 展开更多
关键词 相干衍射成像 相位复原 二维重建 三维重建
在线阅读HTML 免费下载
基于瞳面差异的相位复原算法
2
作者 李倩 吴桢 +1 位作者 徐节速 厉宏兰 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期317-328,共12页
GS(Gerchberg Saxton)算法具有收敛速度慢、运算精度低和收敛易陷入局部极小值等缺点,其对初值的选择非常敏感。通常情况下,估计的初值越接近真实值,复原效果越好。为了获得更接近于真实值的初始相位,在望远镜的瞳面添加非冗余孔径掩模... GS(Gerchberg Saxton)算法具有收敛速度慢、运算精度低和收敛易陷入局部极小值等缺点,其对初值的选择非常敏感。通常情况下,估计的初值越接近真实值,复原效果越好。为了获得更接近于真实值的初始相位,在望远镜的瞳面添加非冗余孔径掩模,对通过掩模形成的干涉图进行处理,获得初始相位,可有效地加快GS算法的收敛速度并提高其运算精度。仿真结果表明所提算法的平均复原精度最少是GS算法的9倍。 展开更多
关键词 物理光学 相位复原 干涉 GS算法 共相误差 非冗余孔径掩模
基于叠层衍射成像的二元光学元件检测研究 预览
3
作者 王磊 窦健泰 +4 位作者 马骏 袁操今 高志山 魏聪 张天宇 《物理学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第9期139-147,共9页
本文提出了一种基于叠层衍射成像(ptychography)的二元光学元件的检测方法,该方法可实现对二元光学元件表面微观轮廓的检测以及特征尺寸的标定.相比于传统的二元光学元件检测方法,其使用无透镜成像技术,简化了系统结构并可适用于... 本文提出了一种基于叠层衍射成像(ptychography)的二元光学元件的检测方法,该方法可实现对二元光学元件表面微观轮廓的检测以及特征尺寸的标定.相比于传统的二元光学元件检测方法,其使用无透镜成像技术,简化了系统结构并可适用于特殊环境下的检测.该方法可直接通过采集多幅衍射图,利用叠层衍射成像迭代算法可精确地复原大尺寸待测元件的表面微观轮廓,提高大尺寸器件的检测效率.本文模拟仿真了台阶高度与噪声大小对纯相位台阶板复原结果的影响,并在光学实验中选取计算全息板为样品,复原样品的表面微观轮廓信息以及得到台阶高度.以白光干涉仪检测结果为标准,该方法在精度要求不太高的前提下,可获得令人满意的成像质量. 展开更多
关键词 叠层衍射成像 二元光学元件 相位复原 特征尺寸标定
在线阅读 下载PDF
基于光场信息的哈特曼相位复原方法 被引量:1
4
作者 曾文华 宁禹 杜少军 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2016年第11期44-49,共6页
传统波前复原方法利用获取的光强信息计算波前斜率或曲率,从而进行波前重构。基于微透镜阵列结构得到的光强信息包含更多的光场信息。基于微透镜阵列结构,分析了光场的四维参数化表征以及光场中空间-空间频率信息的获取与重构。建立... 传统波前复原方法利用获取的光强信息计算波前斜率或曲率,从而进行波前重构。基于微透镜阵列结构得到的光强信息包含更多的光场信息。基于微透镜阵列结构,分析了光场的四维参数化表征以及光场中空间-空间频率信息的获取与重构。建立了光场的空间-空间频率联合分布与Wigner分布函数的对应关系。提出了基于光场信息的哈特曼相位复原方法,建立了数值计算模型,并进行了仿真。仿真结果表明,基于光强信息的光场空间-空间频率联合分布相位复原方法可有效、快速地对低阶像差进行相位复原,误差较小。该方法在光学成像系统的像差探测补偿中具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 大气光学 波前复原 相位复原 微透镜 哈特曼传感器 WIGNER分布函数
基于液晶空间光调制器的光栅型波前曲率传感器 被引量:8
5
作者 陈波 杨靖 +2 位作者 李新阳 李小阳 杨旭 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2015年第8期283-288,共6页
结合液晶空间光调制器(LC—SLM)的可编程相位调制能力,分析了基于LC—SLM的相位型光栅波前曲率传感器的实现方法。在此基础上,研究了基于拉普拉斯算子本征函数的闭环波前复原方法,通过数值仿真分析了该方法的精度和稳定性。结果表... 结合液晶空间光调制器(LC—SLM)的可编程相位调制能力,分析了基于LC—SLM的相位型光栅波前曲率传感器的实现方法。在此基础上,研究了基于拉普拉斯算子本征函数的闭环波前复原方法,通过数值仿真分析了该方法的精度和稳定性。结果表明,与开环复原方法相比,闭环复原方法具有更高的精度和更大的测量范围,而且模式耦合对其稳定性影响很小。 展开更多
关键词 大气光学 曲率传感器 液晶空间光调制器 相位复原 闭环
基于星点像的环形光瞳快速相位复原 被引量:1
6
作者 陈新华 沈为民 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期168-174,共7页
提出了一种基于星点像的环形光瞳快速相位复原方法。推导了环形光瞳点扩展函数的解析计算公式,将其表示为多项式的线性组合,多项式的系数即为光瞳相位分布的环形Zernike多项式展开系数。将该公式用于计算环形光瞳相位复原中的目标函... 提出了一种基于星点像的环形光瞳快速相位复原方法。推导了环形光瞳点扩展函数的解析计算公式,将其表示为多项式的线性组合,多项式的系数即为光瞳相位分布的环形Zernike多项式展开系数。将该公式用于计算环形光瞳相位复原中的目标函数及其梯度,避免了常用相位复原方法中所需的傅里叶变换和有限差分运算,大幅降低了相位复原过程中的运算量。利用数值模拟和相位复原实验对所提方法的有效性进行了验证,实验结果表明,该方法能够有效提高环形光瞳相位复原的速度。 展开更多
关键词 测量 环形光瞳 相位复原 星点像 点扩展函数 ZERNIKE多项式
极小孔径衍射波前测试分析 预览 被引量:2
7
作者 邵晶 马冬梅 +2 位作者 张海涛 于杰 周烽 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期2639-2644,共6页
研制点衍射干涉仪时,小孔的形貌和装调误差会对衍射波前质量产生影响,故本文研究了采用相位复原对小孔衍射波前质量进行测评的方法.设计并搭建了衍射波前测试装置,对光纤衍射波前进行了测评实验.为了验证测试方法的有效性,分别对采集的... 研制点衍射干涉仪时,小孔的形貌和装调误差会对衍射波前质量产生影响,故本文研究了采用相位复原对小孔衍射波前质量进行测评的方法.设计并搭建了衍射波前测试装置,对光纤衍射波前进行了测评实验.为了验证测试方法的有效性,分别对采集的衍射图像与重构的衍射图像,以及测试获得的振幅分布与理论计算获得的振幅分布进行了对比.结果显示.采集图像与重构图像之间的差异为0.32%,验证了采用相位复原技术进行衍射波前测试方法的有效性.同时,对干涉方法测量与相位复原结果进行了对比,二者差异仅为0.001 4λ RMS. 展开更多
关键词 光学检测 点衍射干涉仪 相位复原 衍射波前
在线阅读 下载PDF
十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 被引量:5
8
作者 方超 向阳 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期178-181,共4页
光栅横向剪切干涉仪能够实现超高精度检测光学系统的波像差,是当前光刻镜头研发的重要组成内容之一。零级串扰和相移误差是影响光栅剪切干涉仪检测精度的两个主要因素,为此,提出了一种十三步光栅剪切干涉相位复原算法,在消除零级串扰的... 光栅横向剪切干涉仪能够实现超高精度检测光学系统的波像差,是当前光刻镜头研发的重要组成内容之一。零级串扰和相移误差是影响光栅剪切干涉仪检测精度的两个主要因素,为此,提出了一种十三步光栅剪切干涉相位复原算法,在消除零级串扰的同时,还能够极大地降低对相移误差的苛刻要求。分析表明,当相移误差不大于25°时,相位复原误差小于0.01°(即2.8×10-5λ)。对于λ=193.386nm,相位复原误差小于0.005nm。因此,通过系统误差校正,光栅剪切干涉仪检测光刻镜头系统波像差的精度能够达到亚纳米级。 展开更多
关键词 测量 横向剪切干涉仪 相移算法 相位复原
点衍射干涉仪基准波前测试技术研究 被引量:7
9
作者 邵晶 马冬梅 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期204-209,共6页
针对点衍射干涉仪(PDI)的小孔衍射波前,提出了一种基于扩展奈波尔一泽尼克(Nijboer Zernike)(ENZ)理论进行超高精度检测的方法。描述了点衍射干涉仪的工作原理和基于扩展Nijboer—Zernike多项式的相位恢复算法。分析了对光瞳函... 针对点衍射干涉仪(PDI)的小孔衍射波前,提出了一种基于扩展奈波尔一泽尼克(Nijboer Zernike)(ENZ)理论进行超高精度检测的方法。描述了点衍射干涉仪的工作原理和基于扩展Nijboer—Zernike多项式的相位恢复算法。分析了对光瞳函数利用Zernike多项式展开的方法。仿真实验中,当信噪比(SNR)为55dB,采用10bit模数转换时,得到的Zernike系数中代表波像差的虚部的恢复误差不大于3×10一。从噪声和模数转换的角度通过模拟实验显示这种方法对实现小孔衍射波前超高精度的光学检测具有可行性。 展开更多
关键词 测量 极紫外光刻 点衍射干涉仪 相位复原 扩展奈波尔-泽尼克
光学成像系统光学波前的高精度测试 预览 被引量:7
10
作者 邵晶 马冬梅 聂真威 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期 2582-2588,共7页
基于扩展奈波尔-泽尼克理论,分析了不同出瞳振幅分布情况对光学系统焦面处光强分布的影响。针对光学成像系统出瞳振幅实际分布状态,提出了一种新的测试光学波前的方法,解决了相位恢复算法中出瞳振幅分布不均匀和快速傅里叶变换引入计算... 基于扩展奈波尔-泽尼克理论,分析了不同出瞳振幅分布情况对光学系统焦面处光强分布的影响。针对光学成像系统出瞳振幅实际分布状态,提出了一种新的测试光学波前的方法,解决了相位恢复算法中出瞳振幅分布不均匀和快速傅里叶变换引入计算误差的问题。通过测评实验,对一光学系统进行了测试,获得的光学系统出瞳波前(PV)值为0.196 5λ,RMS值为0.022 4λ(测试波长λ=632.8nm),此波前中主要含有像散、彗差和高阶像散等像差。该方法亦可用于分析光学系统出瞳振幅分布,数值计算其他焦面处的光强分布。测评实验证明了此方法的有效性。 展开更多
关键词 光学检测 光学成像系统 光学波前 光瞳函数 出瞳振幅分布 相位复原
在线阅读 下载PDF
基于迭代法的同轴法X射线相衬成像的相位复原
11
作者 李永华 李政 +1 位作者 刘哲 张丽 《CT理论与应用研究》 2010年第2期53-60,共8页
相位复原问题是指在只有强度可以测量的情况下,从强度数据中提取出物体的相位信息。相位复原是同轴法X射线相衬成像的关键问题之一。本文采用误差递减法,通过限制物体的空间大小,结合测量到的强度数据,在物体的空域和频域都进行约束。... 相位复原问题是指在只有强度可以测量的情况下,从强度数据中提取出物体的相位信息。相位复原是同轴法X射线相衬成像的关键问题之一。本文采用误差递减法,通过限制物体的空间大小,结合测量到的强度数据,在物体的空域和频域都进行约束。通过反复迭代,进行带宽外推,最终实现物面和像面的相位复原。仿真实验证明了此迭代算法的收敛性,并且以塑料管为样品,在上海光源采集到同轴法X射线相衬成像的实验数据,对上述算法进行了验证。 展开更多
关键词 相位复原 误差递减法 迭代算法 X射线相衬成像
无相位检测电磁逆散射目标成像 被引量:1
12
作者 张文吉 李廉林 李芳 《中国科学:信息科学》 CSCD 2009年第9期1013-1020,共8页
提出一种新的无相位检测电磁逆散射成像方法,该方法基于测量的总场幅度首先构造价格函数,通过优化该价格函数复原散射场幅度和相位;由复原的散射场幅度和相位重建目标的几何参数和电磁参数.相位复原所需计算时间远小于对目标成像所需... 提出一种新的无相位检测电磁逆散射成像方法,该方法基于测量的总场幅度首先构造价格函数,通过优化该价格函数复原散射场幅度和相位;由复原的散射场幅度和相位重建目标的几何参数和电磁参数.相位复原所需计算时间远小于对目标成像所需计算时间,不增加逆散射的计算成本,具有较强的实用性.在逆源方法中引入等效电流源降低了逆问题的非线性度,等效电流源非辐射分量的重建提高了目标重建的质量.文中首次用实验结果验证了电磁逆散射无相位检测的可行性,证明了方法的有效性和高度稳定性. 展开更多
关键词 电磁逆散射 相位检测 相位复原 逆源 实验验证
电磁逆散射无相位检测的相位复原 预览 被引量:2
13
作者 张文吉 李廉林 李芳 《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第4期 727-731,共5页
利用入射场作为约束条件,用最优化泛函的方法由总场幅度信息重建散射场幅度和相位。分析了散射场自由度和噪声对重建结果的影响。讨论了成功实施相位复原和避免局部极小值的条件。首次用实验结果验证电磁逆散射无相位检测相位复原的可... 利用入射场作为约束条件,用最优化泛函的方法由总场幅度信息重建散射场幅度和相位。分析了散射场自由度和噪声对重建结果的影响。讨论了成功实施相位复原和避免局部极小值的条件。首次用实验结果验证电磁逆散射无相位检测相位复原的可行性,证明了方法的有效性、高度稳定性和较强的抗噪声能力。该方法的计算成本低,实用性较强。研究结果是实施无相位检测电磁逆散射的基础。 展开更多
关键词 电磁逆散射 相位检测 相位复原 自由度 实验验证
在线阅读 下载PDF
微焦点X射线相衬成像相位复原算法研究 预览 被引量:1
14
作者 禹爱民 李政 章迪 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期 883-885,共3页
在不同散度值下获得一系列图像,得到两种不同相位复原算法:一种为基于傅立叶变换求解强度传输方程(TIE)得到物体的相位分布;一种为基于薛定谔波动方程的迭代算法。用数值法模拟研究了两种算法的相衬成像和相位恢复过程,并对两种... 在不同散度值下获得一系列图像,得到两种不同相位复原算法:一种为基于傅立叶变换求解强度传输方程(TIE)得到物体的相位分布;一种为基于薛定谔波动方程的迭代算法。用数值法模拟研究了两种算法的相衬成像和相位恢复过程,并对两种算法进行了对比。 展开更多
关键词 相衬成像 相位复原 强度传输方程
在线阅读 下载PDF
部分相干X射线衍射相位成像与相位复原的模拟研究 被引量:5
15
作者 喻虹 朱频频 韩申生 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期390-397,共8页
借助于光学传递函数(OTF)概念,分析了微分相位成像过程和直接相位成像过程,讨论了通过图像处理进行相位复原的方法,得到了具有较高成像对比度和分辨率的实验参量区间,并利用数字方法模拟研究了相位成像的过程,对多种相位复原方法进行了... 借助于光学传递函数(OTF)概念,分析了微分相位成像过程和直接相位成像过程,讨论了通过图像处理进行相位复原的方法,得到了具有较高成像对比度和分辨率的实验参量区间,并利用数字方法模拟研究了相位成像的过程,对多种相位复原方法进行了比较. 展开更多
关键词 光学传递函数 相位复原 相位成像 模拟 微分相位成像 直接相位成像 部分相干X射线衍射 计算机图像处理
光学条纹图有效复的相位的获取 预览 被引量:1
16
作者 朱绍明 彭翔 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 1998年第6期 475-477,共3页
根据混合模板技术进行光学条件相位复原,并根据复原相位相邻相位差和光学条纹的固有物理间断及切除复原相位中的无效象素,从而获得一幅没有无效象素的复原相位图。实验结果证明了这一方法的可行性。
关键词 条纹自动分析 相位复原 无效象素切除 光学条纹
在线阅读 下载PDF
光相干理论、干涉仪 预览
17
《中国光学》 CAS 1994年第4期7-10,共4页
O436.1 94042369角度棱镜方位对干涉仪测角范围的影响=The influenceof the position of angle prism on therange of the measuring angle in interferometer[刊,中]/张琢,范志刚(哈尔滨工业大学)∥宇航计测技术.—1993,12(6).—26... O436.1 94042369角度棱镜方位对干涉仪测角范围的影响=The influenceof the position of angle prism on therange of the measuring angle in interferometer[刊,中]/张琢,范志刚(哈尔滨工业大学)∥宇航计测技术.—1993,12(6).—26~29在激光测角干涉仪中,由于角度棱镜安置的方位不同,将导致该仪器角度测量范围的变化。分析了 展开更多
关键词 干涉仪 学术讨论会 光电技术 光学 山东曲阜 剪切干涉 相位复原 傅氏变换 双平面镜 半导体激光器
在线阅读 下载PDF
相位复原算法比较分析 预览
18
作者 王金洋 曹继华 《天津职业技术师范大学学报》 2015年第4期36-39,共4页
相位复原算法分为迭代法和强度传输方程法,本文对迭代法中的GS算法和HIO算法以及强度传输方程法进行了分析对比。针对3种相位复原算法基本原理,分别通过实验比较了3种算法在初始值为0和随机数情况下的收敛速度和复原精度,证明Gs算法... 相位复原算法分为迭代法和强度传输方程法,本文对迭代法中的GS算法和HIO算法以及强度传输方程法进行了分析对比。针对3种相位复原算法基本原理,分别通过实验比较了3种算法在初始值为0和随机数情况下的收敛速度和复原精度,证明Gs算法和强度传输方程法在初始值为0时有更好的复原效果,HIO算法在初始值为随机数时有更好的复原效果。通过3种相位复原算法在初始值为随机数的实验比较,证明HIO算法比GS算法和强度传输方程法有更好的复原效果和复原精度。 展开更多
关键词 GS算法 HIO算法 相位复原:强度传输方程法
在线阅读 免费下载
基于相位恢复原理的SAR振动目标成像方法 预览 被引量:2
19
作者 史洪印 丁郁霏 +2 位作者 赵欣悦 夏赛雪 田野 《仪器仪表学报》 CSCD 北大核心 2017年第6期1531-1539,共9页
在SAR成像系统中,振动目标成像具有成对回波的多普勒特征,不利于振动目标的检测和识别。提出一种基于相位恢复原理的振动目标聚焦成像方法。首先基于条带式SAR成像模式建立了振动目标空间几何模型,理论推导了将相位恢复原理应用到SA... 在SAR成像系统中,振动目标成像具有成对回波的多普勒特征,不利于振动目标的检测和识别。提出一种基于相位恢复原理的振动目标聚焦成像方法。首先基于条带式SAR成像模式建立了振动目标空间几何模型,理论推导了将相位恢复原理应用到SAR振动目标成像的可能性;然后以振动目标回波数据和支撑域信息作为过采样平滑算法(OSS)的先验信息,通过改变平滑滤波器的参数,调整滤波器的带宽,以减少支撑域外部信息对振动目标的干扰,同时通过减少支撑域,提高迭代算法的收敛性,消除振动目标成对回波,最终得到聚焦的高分辨率振动目标图像。仿真和实验结果证明所提方法的有效性。 展开更多
关键词 合成孔径雷达 相位复原 过采样平滑算法 振动目标成像
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部 意见反馈