期刊文献+
共找到76篇文章
< 1 2 4 >
每页显示 20 50 100
阵列微坑的固态微细电解加工工艺试验 预览
1
作者 罗震 徐剑祥 +3 位作者 敖三三 刘为东 李康柏 张威 《天津大学学报:自然科学与工程技术版》 CSCD 北大核心 2019年第3期236-241,共6页
针对传统微细电解加工存在的不足,提出了一种固态微细电解加工方法.使用PEO与NaNO3制备固态电解质,其表面用热压印加工出复杂的微细形貌.研究了不同的加工电压、加工时间对于阵列微坑形貌的影响.研究表明在直流加工电压3V、加工时间20mi... 针对传统微细电解加工存在的不足,提出了一种固态微细电解加工方法.使用PEO与NaNO3制备固态电解质,其表面用热压印加工出复杂的微细形貌.研究了不同的加工电压、加工时间对于阵列微坑形貌的影响.研究表明在直流加工电压3V、加工时间20min的加工参数下,在阳极表面得到了6行6列形状精度较高的阵列微坑结构.固态微细电解加工方法提高了表面精度及加工质量,具有良好的发展前景和研究价值. 展开更多
关键词 微细电解加工 固态电解 阵列微坑
在线阅读 下载PDF
微细中空电极流速测试及侧壁绝缘层制备工艺比较 预览
2
作者 温杰超 孔全存 +2 位作者 李勇 钟浩 刘桂礼 《电加工与模具》 2019年第4期33-39,共7页
针对孔径100~200μm、采用中空供液工艺的高深宽比微细电解加工中,中空电极流速难以在线测量,侧壁绝缘层易出现损伤、脱落等问题,利用不同压力下流速雾化现象在光照下的差异性,建立压力-流速-雾化面积比关系曲线,实现在线流速测试并优... 针对孔径100~200μm、采用中空供液工艺的高深宽比微细电解加工中,中空电极流速难以在线测量,侧壁绝缘层易出现损伤、脱落等问题,利用不同压力下流速雾化现象在光照下的差异性,建立压力-流速-雾化面积比关系曲线,实现在线流速测试并优化了初始供液压力。通过比较加工孔和加工后电极表面形貌,优选出丙烯酸环氧树脂绝缘层制备工艺,并在304不锈钢片上加工出入口直径180.6μm、出口直径173.8μm、锥度约0.78°的阵列孔,验证了方法应用的可行性。 展开更多
关键词 微细电解加工 中空电极 流速测试 侧壁绝缘 电泳
在线阅读 下载PDF
基于非水基电解液的钛合金微细电解加工工艺优化 预览 被引量:1
3
作者 敖三三 李康柏 +3 位作者 刘为东 张辉 张威 罗震 《天津大学学报:自然科学与工程技术版》 CSCD 北大核心 2019年第2期217-223,共7页
针对钛合金这种典型的难于传统机械加工的材料,电解加工能达到"以柔克刚"的目的,是解决钛合金加工难题的首选方案.但是钛存在自钝化的特性,如果使用常规的水基电解液进行钛合金的电解加工,其基体表面会持续生成氧化膜,降低加... 针对钛合金这种典型的难于传统机械加工的材料,电解加工能达到"以柔克刚"的目的,是解决钛合金加工难题的首选方案.但是钛存在自钝化的特性,如果使用常规的水基电解液进行钛合金的电解加工,其基体表面会持续生成氧化膜,降低加工精度,甚至导致加工无法进行.为了解决这一技术难点,本文尝试采用以乙二醇作为基体的电解液进行电解加工实验.并通过工艺优化实验探究了行走速度、初始加工间隙、脉冲峰值电压等参数对钛合金微细电解加工效果的影响.通过对比分析加工效果,最终确定出优化的工艺参数,并利用优选参数在钛板基体上加工出TJU字样,从而实现钛合金微细电解加工。 展开更多
关键词 钛合金 微细电解加工 乙二醇 非水基电解 工艺参数
在线阅读 下载PDF
电极摇动对电解加工微孔侧隙的影响研究 预览
4
作者 王晓航 余祖元 袁和传 《电加工与模具》 2018年第6期31-34,57共5页
微细电解加工的微孔存在一定的锥度,采用电极摇动后锥度减小。针对此现象建立了电极摇动中电解加工微孔的侧隙表达式,从理论上对电极摇动辅助电解微孔加工对微孔侧隙的影响进行了定性分析。实验结果表明:电极摇动电解钻孔时,微孔的入口... 微细电解加工的微孔存在一定的锥度,采用电极摇动后锥度减小。针对此现象建立了电极摇动中电解加工微孔的侧隙表达式,从理论上对电极摇动辅助电解微孔加工对微孔侧隙的影响进行了定性分析。实验结果表明:电极摇动电解钻孔时,微孔的入口直径和出入口直径差与电极不摇动情况相比均明显减小;当微孔深度为200μm、电极摇动半径为7μm时,所加工微孔的出入口直径差比相同条件下电极不摇动时减小了62%。 展开更多
关键词 微细电解加工 微孔 侧隙 直径差 电极摇动
在线阅读 下载PDF
304不锈钢微型环槽的微细电解铣削加工技术研究 预览
5
作者 贠康 张长富 +1 位作者 艾海红 程培勇 《内燃机与配件》 2018年第3期108-109,共2页
针对304不锈钢薄壁件微小结构采用传统加工方法会产生变形的加工难题,基于分层铣削思想利用微细电解铣削加工技术对304不锈钢材料进行了微型环槽的加工实验,加工出了297×105×30μm的微型环槽结构,为金属材料薄壁件微小结构的... 针对304不锈钢薄壁件微小结构采用传统加工方法会产生变形的加工难题,基于分层铣削思想利用微细电解铣削加工技术对304不锈钢材料进行了微型环槽的加工实验,加工出了297×105×30μm的微型环槽结构,为金属材料薄壁件微小结构的加工制造提供了一种思路。 展开更多
关键词 304不锈钢 薄壁件 微型环槽 微细电解加工
在线阅读 下载PDF
微细电解加工中亚微米工具电极对刀方法研究 预览
6
作者 吴修娟 刘宇 《电加工与模具》 2018年第5期29-32,共4页
在微细电解加工中采用常规的对刀方法进行对刀时,亚微米尺度工具电极尖端会产生塑性变形、融化等问题。为了解决这些问题,提出了一种基于超短脉宽电源电流幅值剧增进行对刀的方法;介绍了该对刀方法的机理并进行了软件模拟验证;在此基础... 在微细电解加工中采用常规的对刀方法进行对刀时,亚微米尺度工具电极尖端会产生塑性变形、融化等问题。为了解决这些问题,提出了一种基于超短脉宽电源电流幅值剧增进行对刀的方法;介绍了该对刀方法的机理并进行了软件模拟验证;在此基础之上,提出了亚微米尺度工具电极的对刀方案并进行了试验验证,其结果表明对刀后的亚微米工具电极尖端形貌完好。 展开更多
关键词 微细电解加工 对刀 超短脉宽电源 亚微米工具电极 电流幅值
在线阅读 下载PDF
微细硅工具电极的制备及其微细电解加工实验 预览
7
作者 刘国栋 李勇 +2 位作者 孔全存 佟浩 钟昊 《电加工与模具》 2017年第5期26-30,66共6页
提出了一种采用重掺杂单晶硅作为工具电极基体、二氧化硅/氮化硅作为绝缘层的硅工具电极用于微细电解加工。设计了利用体硅湿法腐蚀实现电极基体成形,化学气相沉积制备绝缘层的微细硅工具电极制备工艺。初步实验得到电极加工部尺寸约为... 提出了一种采用重掺杂单晶硅作为工具电极基体、二氧化硅/氮化硅作为绝缘层的硅工具电极用于微细电解加工。设计了利用体硅湿法腐蚀实现电极基体成形,化学气相沉积制备绝缘层的微细硅工具电极制备工艺。初步实验得到电极加工部尺寸约为100μm,绝缘层厚度为800 nm的硅工具电极。利用高速旋转的微细硅工具电极在18Cr Ni8材料上加工出了微细沟槽结构和微细通孔。实验结果验证了侧壁绝缘层对杂散腐蚀抑制作用的有效性。经过96 min的持续加工实验,电极绝缘层保持了可靠的绝缘效果。 展开更多
关键词 微细电解加工 微细硅工具电极 侧壁绝缘层 体硅湿法腐蚀
在线阅读 下载PDF
变参数微细电解加工变截面孔的实验研究 预览 被引量:1
8
作者 于立秋 刘桂礼 +2 位作者 李勇 孔全存 刘国栋 《电加工与模具》 2017年第3期36-40,共5页
为提高微细电解加工高深宽比变截面孔的形状精度,通过仿真分析加工过程中不同的参数变化时间间隔对变截面孔形状精度的影响,设计并实现了一种变参数加工控制方法。在1 mm厚的18CrNi8工件上进行变参数微细电解加工实验,加工出孔径200~32... 为提高微细电解加工高深宽比变截面孔的形状精度,通过仿真分析加工过程中不同的参数变化时间间隔对变截面孔形状精度的影响,设计并实现了一种变参数加工控制方法。在1 mm厚的18CrNi8工件上进行变参数微细电解加工实验,加工出孔径200~320μm(深宽比约为5)的变截面孔。结果表明:参数变化时间间隔为1 s时,形状平均误差为9μm,相比于其他时间间隔,其平均误差减小约85%,较好地满足了设计要求,也验证了该变参数加工控制方法的有效性。 展开更多
关键词 微细电解加工 变截面孔 变参数 高深宽比 形状精度
在线阅读 下载PDF
基于微孔电解加工的新型阴极结构 被引量:1
9
作者 张辉 刘为东 +3 位作者 敖三三 解 刘祖明 罗震 《上海交通大学学报》 CSCD 北大核心 2017年第8期1000-1005,共6页
为了提高工件材料蚀除的定域性,对裸阴极、侧壁绝缘阴极和缩进阴极进行了研究.以阴阳两极间电解液为研究对象,建立电场模型,通过数值模拟获得加工间隙中电位和电流密度分布,研究阴极结构对微孔进口形状精度的影响.根据模拟结果,... 为了提高工件材料蚀除的定域性,对裸阴极、侧壁绝缘阴极和缩进阴极进行了研究.以阴阳两极间电解液为研究对象,建立电场模型,通过数值模拟获得加工间隙中电位和电流密度分布,研究阴极结构对微孔进口形状精度的影响.根据模拟结果,分析缩进阴极电解加工微孔时,工艺参数对加工精度和加工效率的影响,优选最佳工艺参数.结果表明,采用优选参数缩进深度50μm,加工电压5V,进给速度3μm/s,能获得良好的加工精度. 展开更多
关键词 微细电解加工 缩进阴极 电场数值模拟
Analysis of the current density characteristics in through-mask electrochemical micromachining(TMEMM) for fabrication of micro-hole arrays on invar alloy film
10
作者 Da-som JIN Kwang-ho CHUN Eun-sang LEE 《中国航空学报:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第3期1231-1241,共11页
Invar alloy consisting of 64% iron and 36% nickel has been widely used for the production of shadow masks for organic light emitting diodes(OLEDs) because of its low thermal expansion coefficient(1.86 ? 10à6cm/&#... Invar alloy consisting of 64% iron and 36% nickel has been widely used for the production of shadow masks for organic light emitting diodes(OLEDs) because of its low thermal expansion coefficient(1.86 ? 10à6cm/°C).To fabricate micro-hole arrays on 30 lm invar alloy film,through-mask electrochemical micromachining(TMEMM) was developed and combined with a portion of the photolithography etching process.For precise hole shapes,patterned photoresist(PR) film was applied as an insulating mask.To investigate the relationship between the current density and the material removal rate,the principle of the electrochemical machining was studied with a focus on the equation.The finite element method(FEM) was used to verify the influence of each parameter on the current density on the invar alloy film surface.The parameters considered were the thickness of the PR mask,inter-electrode gap(IEG),and electrolyte concentration.Design of experiments(DOE) was used to figure out the contribution of each parameter.A simulation was conducted with varying parameters to figure out their relationships with the current density.Optimization was conducted to select the suitable conditions.An experiment was carried out to verify the simulation results.It was possible to fabricate micro-hole arrays on invar alloy film using TMEMM,which is a promising method that can be applied to fabrications of OLEDs shadow masks. 展开更多
关键词 微细电解加工 电流密度 薄膜制备 微孔阵列 掩膜 合金膜 有机发光二极管 因瓦合金
微细电解加工技术的发展现状 被引量:1
11
作者 薛贝贝 李小海 +3 位作者 孙赵宁 赵春龙 高艳芳 马咏梅 《模具工业》 2016年第12期66-70,共5页
结合近些年国内外微细电解加工技术的研究进展,论述了微细电解加工技术在微细机械加工领域取得的最新研究成果,如脉冲微细电解加工、掩膜微细电解加工、微细电解铣削加工、复合电解微细加工等,这些成果在未来的微细电解加工领域应用将... 结合近些年国内外微细电解加工技术的研究进展,论述了微细电解加工技术在微细机械加工领域取得的最新研究成果,如脉冲微细电解加工、掩膜微细电解加工、微细电解铣削加工、复合电解微细加工等,这些成果在未来的微细电解加工领域应用将更为广泛,具有很好的使用价值。 展开更多
关键词 微细电解加工 脉冲电源 掩膜 铣削加工 复合电解加工 研究现状
某型航空发动机燃油喷嘴旋流室的微细电解加工研究 预览 被引量:1
12
作者 张长富 徐世玉 《机床与液压》 北大核心 2016年第7期66-68,共3页
针对某型航空发动机燃油喷嘴结构尺寸微小、材料硬度较高、切削加工困难等问题,介绍了微细电解加工的原理和实验装置,制备了微细棒状工具电极和三角形钩状成形电极,利用分层电解铣削进行粗加工快速去除工件多余材料,再利用环形扫描... 针对某型航空发动机燃油喷嘴结构尺寸微小、材料硬度较高、切削加工困难等问题,介绍了微细电解加工的原理和实验装置,制备了微细棒状工具电极和三角形钩状成形电极,利用分层电解铣削进行粗加工快速去除工件多余材料,再利用环形扫描电解铣削进行旋流室全锥面的精加工,实现了发动机喷嘴微小尺寸旋流室的微细电解加工成形,达到加工精度和表面质量要求。研究表明,微细电解铣削加工是加工金属材料微小结构的有效可行的方法。 展开更多
关键词 燃油喷嘴 旋流室 微细电解加工 微细电极
在线阅读 下载PDF
加工电压对微细电解加工凹槽的影响研究 预览
13
作者 何宇斌 王冠 黄红光 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2016年第1期16-19,共4页
采用电解加工方式对模具钢进行微细电解加工,主要研究加工电压对电解深度和侧蚀量的影响。利用单因素方差分析法对因素水平进行显著性检验,采用OriginPro8.0软件分别拟合加工电压对电解深度、侧蚀量的影响曲线,并进行分析。实验分... 采用电解加工方式对模具钢进行微细电解加工,主要研究加工电压对电解深度和侧蚀量的影响。利用单因素方差分析法对因素水平进行显著性检验,采用OriginPro8.0软件分别拟合加工电压对电解深度、侧蚀量的影响曲线,并进行分析。实验分析表明,加工电压对电解深度及侧蚀量有显著性影响。在电解温度(30℃)进行微细电解加工时,电解深度随加工电压的增大而增大;在同样的加工参数下,侧蚀量随加工电压的增大先快速增大后缓慢增加。 展开更多
关键词 模具钢 微细电解加工 加工电压 电解深度 侧蚀量
在线阅读 免费下载
超声扰动在微孔电解加工中作用机理的研究 预览
14
作者 王蕾 赵志强 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2016年第10期83-88,共6页
深入分析了超声扰动电解液在微孔电解加工中的作用机理,提出了超声空化效应是引起加工间隙内电解液流场参数分布发生变化的主要因素。借助有限元分析软件COMSOL Multiphysics建立加工间隙区内声场的仿真模型,对声压的分布变化进行分析... 深入分析了超声扰动电解液在微孔电解加工中的作用机理,提出了超声空化效应是引起加工间隙内电解液流场参数分布发生变化的主要因素。借助有限元分析软件COMSOL Multiphysics建立加工间隙区内声场的仿真模型,对声压的分布变化进行分析求解。通过对仿真结果的分析,验证了超声扰动作用在加工间隙区域内存在空化效应。进行了微孔电解加工实验,比较了不同频率的超声波对加工间隙区域的作用效果,结果显示:在一定范围内的低频率超声扰动更容易在加工间隙区域中形成超声空化,更有利于提高微孔电解加工的精度。 展开更多
关键词 超声 微细电解加工 电解液流场 空化效应
在线阅读 免费下载
梯形状微结构的微细电解加工研究 预览
15
作者 梁若云 张长富 +2 位作者 孙立力 郑丕显 贠康 《价值工程》 2016年第4期104-105,共2页
针对某加速度计挠性零件梯形状微结构的加工难题,利用在线制备的两个不同直径的工具电极,经过微细电解粗加工和精加工,加工出了符合技术要求的梯形状微结构。
关键词 梯形状微结构 微细电解加工 加工 加工
在线阅读 下载PDF
工艺参数对微小方孔的微细电解加工精度的影响 预览
16
作者 张长富 张振羽 徐世玉 《机床与液压》 北大核心 2016年第3期129-131,共3页
微小方孔结构是航空航天、兵工、仪器仪表等领域中常用的结构且加工困难。为了提高金属材料微小方孔结构的加工精度,在分析微细电解铣削加工原理和实验系统基础上,进行了一系列镀镍不锈钢微小方孔(50μm×50μm)的微细电解铣削... 微小方孔结构是航空航天、兵工、仪器仪表等领域中常用的结构且加工困难。为了提高金属材料微小方孔结构的加工精度,在分析微细电解铣削加工原理和实验系统基础上,进行了一系列镀镍不锈钢微小方孔(50μm×50μm)的微细电解铣削加工正交实验,探讨了加工电压、电解液浓度、进给速度、脉冲宽度等参数对微细电解铣削加工精度的影响。结果表明:在合理参数范围内采用较低的工作电压、较低浓度电解液、较高进给速度和较小脉宽电源有利于提高镀镍不锈钢材料微小方孔的微细电解加工精度。 展开更多
关键词 微细电解加工 微小方孔 工艺参数 加工精度
在线阅读 下载PDF
微细电解加工用中空电极的制备 预览 被引量:1
17
作者 孔全存 刘国栋 +1 位作者 李勇 周凯 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2810-2818,共9页
为了改进加工间隙内电解产物的排出条件和加速电解液的更新,提出了一种嵌套式微细中空电极的精确可控焊接制备工艺。仿真分析了电极的过流特性,优化了电极长度,并进行了性能测试及加工实验。通过穿丝、黏结、嵌套尺寸及位置调整和焊接工... 为了改进加工间隙内电解产物的排出条件和加速电解液的更新,提出了一种嵌套式微细中空电极的精确可控焊接制备工艺。仿真分析了电极的过流特性,优化了电极长度,并进行了性能测试及加工实验。通过穿丝、黏结、嵌套尺寸及位置调整和焊接工序,制备出加工段内径为65μm、外径为130μm、长3.25mm左右,后段便于装夹和连通的嵌套式中空电极。在供液压力为1.15 MPa时,其出口流速可达10m/s左右。利用制备的中空电极,开展微细孔电解加工实验,在0.5mm厚不锈钢片上加工出最小入口孔径约为157μm,出口孔径约为133μm的微细孔,并将其延伸应用于微结构加工中,铣削出了长554μm、宽160μm、深224μm的微细T型槽。实验结果表明:制备的微细中空电极有效提高了加工间隙内电解液的流动特性,且连/导通可靠、装夹方便,适用于高深宽比微结构的电解加工。 展开更多
关键词 微细电解加工 中空电极 制备工艺 流动仿真 微细 微细
在线阅读 下载PDF
三电极微细电解加工脉冲电源 被引量:6
18
作者 孔全存 李勇 +2 位作者 刘国栋 李朝将 佟浩 《清华大学学报:自然科学版》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期266-272,共7页
脉冲电源是实现微细电解加工的技术关键之一。该文基于钝化膜增厚过程分析,探讨抑气促溶机理,并设计一种具有脉间输出的三电极微细电解加工脉冲电源,利用辅助电极导入电解池的加工脉间完全去极化电流,完成界面加酸过程。微细阵列孔及微... 脉冲电源是实现微细电解加工的技术关键之一。该文基于钝化膜增厚过程分析,探讨抑气促溶机理,并设计一种具有脉间输出的三电极微细电解加工脉冲电源,利用辅助电极导入电解池的加工脉间完全去极化电流,完成界面加酸过程。微细阵列孔及微细槽的电解加工实验显示:采用三电极脉冲电源在中性NaNO3电解液中的微细电解加工,蚀除速率从两电极脉冲电源的3.21×10-4 mm3/s提高至6.62×10-4 mm3/s,有效地提高了加工效率;该电源在维持钝性电解液中加工定域性好和中性电解液的环保优势的同时,又具有偏酸性电解液中加工后表面质量高的优点,加工表面粗糙度Ra从0.52μm降至0.28μm。初步实验验证了具有脉间输出的三电极微细电解加工脉冲电源的可行性。 展开更多
关键词 微细电解加工 脉冲电源 三电极 界面加酸 抑气促溶
不锈钢304微细电解加工用电解液的优选研究 预览
19
作者 刘国栋 李勇 +1 位作者 孔全存 佟浩 《电加工与模具》 2015年第6期20-25,共6页
提出了一种向中性盐溶液中添加络合剂的复合电解液优选方法,利用络合剂与金属离子生成可溶性的络合物,实现不溶性产物的溶解和排出。针对不锈钢304进行微细孔加工实验,以工具电极和工件表面产物沉积情况、孔入口直径、材料蚀除速率、单... 提出了一种向中性盐溶液中添加络合剂的复合电解液优选方法,利用络合剂与金属离子生成可溶性的络合物,实现不溶性产物的溶解和排出。针对不锈钢304进行微细孔加工实验,以工具电极和工件表面产物沉积情况、孔入口直径、材料蚀除速率、单位电流下的材料蚀除速率等参数作为电解液优选的评价判据,得到1.0 mol/L的Na NO3添加0.01 mol/L柠檬酸钠为最优复合电解液,并在厚0.5 mm的工件上加工得到直径160~190μm的微细孔。结果表明:在兼顾加工定域性和环保性的同时,采用上述复合电解液的材料蚀除速率比纯Na NO3电解液提高了35%,工具电极和工件表面无产物沉积,加工效率和加工稳定性均有所提高。 展开更多
关键词 微细电解加工 电解 不锈钢304 络合剂 柠檬酸钠
在线阅读 下载PDF
弹性材料3J21微槽的微细电解加工研究 预览 被引量:1
20
作者 孙立力 张长富 +1 位作者 梁若云 郑丕显 《价值工程》 2015年第5期67-68,共2页
为解决高硬度、高强度弹性材料3J21微结构的成形加工难题,在分析进给速度、微细电极、加工电压、电解液浓度等工艺参数对弹性材料3J21加工精度的影响规律基础上,进行了微槽的微细电解铣削加工工艺实验,加工出了宽度约为40μm的微槽,具... 为解决高硬度、高强度弹性材料3J21微结构的成形加工难题,在分析进给速度、微细电极、加工电压、电解液浓度等工艺参数对弹性材料3J21加工精度的影响规律基础上,进行了微槽的微细电解铣削加工工艺实验,加工出了宽度约为40μm的微槽,具有较好的加工质量。 展开更多
关键词 微细电解加工 微槽 工艺参数 加工精度
在线阅读 下载PDF
上一页 1 2 4 下一页 到第
使用帮助 返回顶部 意见反馈
新型冠状病毒肺炎防控与诊疗专栏