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回转对称微结构光学模具的超精密切削B轴旋转加工工艺
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作者 高兴 李勇 +2 位作者 钟昊 岳全 李朝将 《清华大学学报:自然科学版》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期120-127,共8页
为避免回转对称微结构光学模具加工中产生的毛刺、尖角缺损及表面划痕,提出一种基于超精密切削的B轴旋转加工工艺。通过实验研究加工路径、切削速度、B轴旋转速度及切深等影响微模具面形精度和表面质量的主要因素,优化切削轨迹规划与... 为避免回转对称微结构光学模具加工中产生的毛刺、尖角缺损及表面划痕,提出一种基于超精密切削的B轴旋转加工工艺。通过实验研究加工路径、切削速度、B轴旋转速度及切深等影响微模具面形精度和表面质量的主要因素,优化切削轨迹规划与加工参数,开展了2种微结构模具的加工实验,得到尺寸精度小于1.4μm、表面粗糙度小于14nm的结构完整性较好、表面无划痕的模具。实验结果验证了回转对称微结构光学模具B轴旋转加工工艺的可行性。 展开更多
关键词 超精密切削 B轴旋转加工工艺 回转对称微结构 光学模具 结构完整性
微小非球面光学模具单点斜轴误差补偿磨削 预览 被引量:4
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作者 陈逢军 尹韶辉 +1 位作者 胡天 余剑武 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第17期59-64,共6页
针对微小非球面光学透镜模具的纳米单点斜轴误差补偿磨削进行研究。通过分析比较传统的直交轴磨削法,提出微小非曲面光学模具的单点斜轴磨削方式,有效避免微细砂轮在加工微小非球面时发生干涉情况;采用单点恒定磨削方式提高微小非球面... 针对微小非球面光学透镜模具的纳米单点斜轴误差补偿磨削进行研究。通过分析比较传统的直交轴磨削法,提出微小非曲面光学模具的单点斜轴磨削方式,有效避免微细砂轮在加工微小非球面时发生干涉情况;采用单点恒定磨削方式提高微小非球面磨削的稳定性及精度。通过分析磨削区域内微细砂轮与微小非球面的干涉情况,从而合理计算并选用较高强度的微细砂轮。提出微小非球面误差补偿磨削策略,分析砂轮的对心误差(x轴向和y轴向)对形状精度的影响,采用法向残余误差补偿的方法对加工后的形状误差进行超精密补偿磨削。利用超精密磨床对口径为2 mm的超硬热压模具碳化钨材料的微小非球面进行纳米单点斜轴误差补偿磨削试验,经过三次超精密磨削及误差补偿循环,其形状精度PV从1 034 nm改善至146 nm,表面粗糙度达到Ra2.19 nm。 展开更多
关键词 单点斜轴磨削 误差补偿 光学模具 微小非球面 碳化钨
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微小非球面碳化钨光学模具的磁流变抛光特性研究 预览
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作者 刘林枝 《机床与液压》 北大核心 2012年第1期 83-84,共2页
超精密加工是光学模具获得高形状精度、表面精度和表面完整性的必要手段。通过实验比较抛光前后工件面形精度的PV值及RMS值来研究微小非球面碳化钨光学模具的磁流变抛光特性。结果表明:磁流变抛光技术对提高微小非球面碳化钨光学模具... 超精密加工是光学模具获得高形状精度、表面精度和表面完整性的必要手段。通过实验比较抛光前后工件面形精度的PV值及RMS值来研究微小非球面碳化钨光学模具的磁流变抛光特性。结果表明:磁流变抛光技术对提高微小非球面碳化钨光学模具形状精度、表面精度等有较显著的作用。 展开更多
关键词 微小非球面 光学模具 磁流变抛光技术
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多面体模具角参数自动测量方法的研究
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作者 郭文胜 朱自强 《光学技术》 CAS CSCD 1998年第5期29-32,共4页
多平面冷反光镜模具质量的好坏直接影响着出射光束照度的均匀度和出射光束的定向性,目前使用的检测方法存在测量过程繁琐费时,测量精度低等缺点。本文介绍了一种利用CCD线陈光电探测器研制的多面体模具角参数自动测量系统。该装置... 多平面冷反光镜模具质量的好坏直接影响着出射光束照度的均匀度和出射光束的定向性,目前使用的检测方法存在测量过程繁琐费时,测量精度低等缺点。本文介绍了一种利用CCD线陈光电探测器研制的多面体模具角参数自动测量系统。该装置采用光学方法,将待测的几何参数--两相邻平面间夹角α转经为测量该两平面反射光聚焦光斑的距离,然后用CCD图像数据采集系统处理数据。使整个系统简单、紧凑,适用范围广,对不能接触测量或因面 展开更多
关键词 CCD 角度测量 多面体模具 自动测量 光学模具
小口径非球面光学模具斜轴磨削加工试验研究 预览 被引量:1
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作者 王永强 尹韶辉 +2 位作者 李林升 盛湘飞 邱长军 《南华大学学报:自然科学版》 2016年第4期49-55,共7页
小口径非球面光学模具采用超精密斜轴磨削加工避免传统直交磨削法中砂轮轴与工件发生干涉的问题.选用碳化钨和不锈钢材料作为工件,采用斜轴磨削法,对小口径非球面光学模具磨削加工进行试验研究.结果表明:碳化钨模具获得的表面粗糙度和... 小口径非球面光学模具采用超精密斜轴磨削加工避免传统直交磨削法中砂轮轴与工件发生干涉的问题.选用碳化钨和不锈钢材料作为工件,采用斜轴磨削法,对小口径非球面光学模具磨削加工进行试验研究.结果表明:碳化钨模具获得的表面粗糙度和面形精度分别为Ra1 nm和PV 182 nm,不锈钢模具获得的表面粗糙度和面形精度分别为Ra4 nm和PV 304 nm,说明碳化钨模具的磨削效果明显优于不锈钢模具,且磨削后表面质量随工件转速、砂轮转速及砂轮粒度增加而变好,随磨削深度及进给深度增加而变差. 展开更多
关键词 小口径非球面光学模具 斜轴磨削 表面粗糙度 面形精度
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非球面模具超精密补偿加工技术 预览 被引量:1
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作者 尹韶辉 李海峰 +1 位作者 陈逢军 王宇 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2010年第5期 433-438,共6页
为了实现非球面模具的超精密数控加工,研究了加工轨迹算法原理及整个软件系统的结构与实现.提出了基于表面粗糙度均匀化的工件进给速度控制法,分析了工具磨损误差和工件形状误差,重点提出了误差补偿方法,同时也讨论了采用砂轮平行磨削... 为了实现非球面模具的超精密数控加工,研究了加工轨迹算法原理及整个软件系统的结构与实现.提出了基于表面粗糙度均匀化的工件进给速度控制法,分析了工具磨损误差和工件形状误差,重点提出了误差补偿方法,同时也讨论了采用砂轮平行磨削法时避免加工干涉的方法.软件能生成高精度的加工与补偿加工数控程序文件.最后,在一台镜面磨床上实验加工直径为6 mm的碳化钨透镜模具,经过多次补偿加工后,获得了谷峰值为0.123μm,误差均方根为0.021μm的表面形状精度. 展开更多
关键词 超精密加工 平行磨削法 形状误差补偿 非球面光学模具 数控编程软件
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基于创制加工式的超镜面平面研磨抛光工艺方法的研究 预览
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作者 陈文清 《制造技术与机床》 北大核心 2019年第6期46-51,共6页
以光学镜面模具平面工件为实验工件,从加工设备、原材料配制以及工艺精度成形原理等方面系统提出一种超镜面平面研磨抛光工艺方法,制定相应的工艺实施路线并进行评价。成功解决了研磨抛光过程的润滑和发热等问题,从而降低工件表面出现... 以光学镜面模具平面工件为实验工件,从加工设备、原材料配制以及工艺精度成形原理等方面系统提出一种超镜面平面研磨抛光工艺方法,制定相应的工艺实施路线并进行评价。成功解决了研磨抛光过程的润滑和发热等问题,从而降低工件表面出现各种微细缺陷的概率,得到完美的镜面表面。此方法可以广泛应用与集成电路制造、医疗器械、汽车配件、数码配件、精密模具、航空航天等领域。 展开更多
关键词 超镜面平面 研磨抛光工艺 光学镜面模具 创制加工 或然性
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