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石英半球谐振子精密加工技术探讨
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作者 徐志强 刘建梅 +2 位作者 王振 陈晓磊 陈效真 《导航与控制》 2019年第2期69-76,共8页
半球谐振陀螺是一种高精度、高可靠性、长寿命的新型固体振动陀螺,应用前景广阔。作为半球谐振陀螺的核心零件,石英半球谐振子壁薄、形状复杂、对加工精度要求高、制造难度大,而这些因素是制约半球谐振陀螺研制的主要瓶颈。结合半球谐... 半球谐振陀螺是一种高精度、高可靠性、长寿命的新型固体振动陀螺,应用前景广阔。作为半球谐振陀螺的核心零件,石英半球谐振子壁薄、形状复杂、对加工精度要求高、制造难度大,而这些因素是制约半球谐振陀螺研制的主要瓶颈。结合半球谐振陀螺的技术发展,分析了半球谐振陀螺的结构类型和特点,介绍了石英半球谐振子的粗磨成型、精密磨削、研磨抛光、化学腐蚀、质量调平、表面镀膜等加工方法及研究进展,提出了未来半球谐振陀螺的研究重点和建议。 展开更多
关键词 半球谐振子 精密加工 超精密加工
陶瓷人工髋关节球超精密磨削加工微观纹理形成规律 预览
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作者 宫虎 陈芳琪 +2 位作者 王涛 倪皓 孙艺嘉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期1926-1934,共9页
陶瓷髋关节球是人工髋关节置换手术中重要的零件之一。为了实现对陶瓷髋关节球高效、高质量的加工,搭建了旋转超声辅助展成球面磨削装置。首先,介绍了旋转超声辅助球面磨削加工的基本原理。接着,针对装置的运动特性建立了磨粒运动学轨... 陶瓷髋关节球是人工髋关节置换手术中重要的零件之一。为了实现对陶瓷髋关节球高效、高质量的加工,搭建了旋转超声辅助展成球面磨削装置。首先,介绍了旋转超声辅助球面磨削加工的基本原理。接着,针对装置的运动特性建立了磨粒运动学轨迹方程。结合运动学方程,对加工状态下的磨粒进行了运动学轨迹分析,深入研究了球面微观纹理的成形规律。最后,进行了超声辅助磨削陶瓷人工髋关节球实验。实验结果表明,在刀具转速为3 000 r/min,工件转速为2 011 r/min的加工条件下,面粗糙度平均值为96 nm,线粗糙度平均值为56 nm。当陶瓷球转速和砂轮转速互为质数时,球面表面的纹理分布更加均匀,这为加工参数的优化提供了重要的理论依据。 展开更多
关键词 超精密加工 陶瓷髋关节球 磨削 旋转超声加工
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精密球超精密加工技术的研究进展 预览
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作者 周芬芬 袁巨龙 +2 位作者 姚蔚峰 吕冰海 阮德南 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 2019年第13期1528-1539,共12页
掌握精密球超精密加工过程中的球面研磨轨迹分布特性以及各工艺参数对加工结果的影响,对提高精密球加工精度与效率十分重要。对精密球超精密加工技术的发展及研磨均匀性的评价进行回顾,并根据精密球超精密加工技术的发展脉络,阐述当前... 掌握精密球超精密加工过程中的球面研磨轨迹分布特性以及各工艺参数对加工结果的影响,对提高精密球加工精度与效率十分重要。对精密球超精密加工技术的发展及研磨均匀性的评价进行回顾,并根据精密球超精密加工技术的发展脉络,阐述当前主要精密球超精密加工技术的加工原理及加工实例。从材料去除率、加工精度、批一致性等方面对几种精密球超精密加工技术进行比较,并以提高加工精度及加工效率为目标,对精密球超精密加工技术的发展趋势进行预测。 展开更多
关键词 精密球 超精密加工 研磨均匀性 研磨轨迹 批一致性
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数控超精密加工精度控制探讨 预览
4
作者 赵树强 《现代制造技术与装备》 2019年第4期180-181,共2页
随着数控技术发展逐渐成熟,其精确度得到了大幅度提升。将从数控超精密加工概述、超精密度加工环节以及数控超精密加工精度控制技术三个方面进行详细探究,并根据现有数控超精密加工过程中存在的问题,提出了针对性改进方案,旨在促进我国... 随着数控技术发展逐渐成熟,其精确度得到了大幅度提升。将从数控超精密加工概述、超精密度加工环节以及数控超精密加工精度控制技术三个方面进行详细探究,并根据现有数控超精密加工过程中存在的问题,提出了针对性改进方案,旨在促进我国数控超精密加工技术发展。 展开更多
关键词 数控 超精密加工 精度控制
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羟基自由基高级氧化技术应用进展综述 预览 被引量:4
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作者 潘继生 邓家云 +1 位作者 张棋翔 阎秋生 《广东工业大学学报》 CAS 2019年第2期70-77,85共9页
羟基自由基(·OH)是活跃性、进攻性最强的活性氧分子,具有非常高的反应速率常数、电负性和极强的氧化电极电位,利用·OH作为氧化剂的高级氧化技术具有广阔的应用前景.本文从·OH的产生方法及基本原理出发,介绍了芬顿法、电... 羟基自由基(·OH)是活跃性、进攻性最强的活性氧分子,具有非常高的反应速率常数、电负性和极强的氧化电极电位,利用·OH作为氧化剂的高级氧化技术具有广阔的应用前景.本文从·OH的产生方法及基本原理出发,介绍了芬顿法、电芬顿法、紫外光催化氧化剂法、超声氧化法及其他复合方法的原理及其优缺点.最后综述了以上方法在污水处理、土壤修复、垃圾渗滤液处理、重金属络合物处理以及光学材料超精密加工等方面的应用进展及应用局限. 展开更多
关键词 羟基自由基 高级氧化 芬顿 环境保护 超精密加工
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滚动轴承工作表面超精密加工技术研究现状 预览
6
作者 王旭 赵萍 +1 位作者 吕冰海 袁巨龙 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 2019年第11期1301-1309,共9页
滚动轴承的工作表面包括套圈滚道表面和滚动体表面,其表面质量直接影响轴承的精度和性能。对滚动轴承工作表面超精密加工技术的发展概况和最新研究进展进行了介绍和分析,为进一步探索在线电解磨削、电化学磨削、双电解磨削和力流变抛光... 滚动轴承的工作表面包括套圈滚道表面和滚动体表面,其表面质量直接影响轴承的精度和性能。对滚动轴承工作表面超精密加工技术的发展概况和最新研究进展进行了介绍和分析,为进一步探索在线电解磨削、电化学磨削、双电解磨削和力流变抛光等技术在轴承加工中的重点应用提供参考。 展开更多
关键词 轴承 套圈 滚动体 超精密加工
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蜂窝状结构半固结磨料研磨盘的制备及应用 预览
7
作者 王文珊 胡中伟 +3 位作者 赵欢 陆静 于怡青 徐西鹏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期69-77,共9页
针对传统半固结研磨盘由于盘面较软使得加工衬底面形精度难以保证的问题,提出一种蜂窝状结构的半固结磨料研磨盘的设计与制备方法。该研磨盘采用环氧树脂蜂窝结构作为支撑'骨架',减小研磨盘的变形,以保证研磨衬底的面形精度,同... 针对传统半固结研磨盘由于盘面较软使得加工衬底面形精度难以保证的问题,提出一种蜂窝状结构的半固结磨料研磨盘的设计与制备方法。该研磨盘采用环氧树脂蜂窝结构作为支撑'骨架',减小研磨盘的变形,以保证研磨衬底的面形精度,同时采用含有金刚石磨粒的凝胶体作为半固结研磨介质实现对衬底的研磨加工,获得了较好的衬底表面质量。基于该原理制备了一套新型研磨盘,并用于蓝宝石衬底的双面研磨加工。试验结果表明,研磨后衬底表面粗糙度较小,表面划痕和裂纹少,能够获得较好的表面质量;相应地,研磨后蓝宝石衬底的面形精度不仅没有变差,反而得到很大的改善,研磨后衬底的翘曲度、弯曲度和总厚度偏差均大幅减小。另外,研磨效率也相对较高,材料去除率可达0.3~0.4μm/min。试验结果证明了该新型结构研磨盘不仅可以获得较好的表面质量和较高的研磨效率,同时还可提高衬底的面形精度,可用于面形精度要求较高的薄片衬底零件的精密研磨加工。 展开更多
关键词 超精密加工 研磨 半固结磨料研磨盘 蓝宝石衬底 面形精度
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基于SVD的超精密工件自寻位加工算法能力评价 预览
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作者 杨航 宋书飘 +1 位作者 黄文 何建国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期14-19,共6页
为进一步改善超精密表面修形的最终精度、效率与成本,优化超精密自寻位加工的工艺方向与工艺决策过程,开展了对超精密工件的自寻位加工算法点云融合过程的定量评价研究,提出了基于SVD的自寻位加工算法能力评价方法。首先基于运动学方法... 为进一步改善超精密表面修形的最终精度、效率与成本,优化超精密自寻位加工的工艺方向与工艺决策过程,开展了对超精密工件的自寻位加工算法点云融合过程的定量评价研究,提出了基于SVD的自寻位加工算法能力评价方法。首先基于运动学方法建立了点云融合的矩阵表示,分别对平动、转动、复合运动等情况建立了自寻位结果的转换矩阵表示,获得自寻位点云融合转换矩阵;进而对转换矩阵进行奇异值分解得到转换矩阵的奇异值列表;最后将列表中最大奇异值用以表征自寻位加工算法的能力。通过对某型超精密叶片在平动、转动和复合运动、共计1078组自由放置状态进行分析,发现所提出的评价指标在独立平动和独立转动两种任意放置情况下能够正确地表征自寻位加工算法的工艺能力。对于独立平动情况,自寻位加工算法能够正常定位加工,其最大奇异值也与预设偏差较小;对于独立转动情况,当旋转角度小于45°时,均能够正确地进行自寻位加工,最大奇异值差值也趋近于零,旋转角度超过45°时,算法的自寻位加工能力恶化,这一特性能够被所提指标正确捕捉。对于由平动和转动构成的复合运动而言,所提指标显示约35%的情况能够正确进行自寻位加工,其余情况无法进行正确的自寻位加工。结果表明本文所提方法建立的指标能够正确表征自寻位加工算法能力。 展开更多
关键词 超精密加工 自寻位工艺 点云融合算法 奇异值分解 叶片加工
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辊筒模具微透镜阵列的慢刀伺服成形加工 预览
9
作者 乔政 吴言功 +2 位作者 刘玉涛 王波 张鹏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期146-155,共10页
为实现辊筒模具大面积微透镜阵列的高效率与高精度加工,对微透镜阵列成形法的加工轨迹优化和进给轴伺服参数的优化方法进行了理论分析与实验研究。首先,通过分析微透镜阵列的特征轮廓,确定微透镜表面振纹的主要诱因为过渡台阶的突变;其... 为实现辊筒模具大面积微透镜阵列的高效率与高精度加工,对微透镜阵列成形法的加工轨迹优化和进给轴伺服参数的优化方法进行了理论分析与实验研究。首先,通过分析微透镜阵列的特征轮廓,确定微透镜表面振纹的主要诱因为过渡台阶的突变;其次,为使加工轨迹的二阶导数具有连续性,提出采用三次样条插值与傅里叶级数拟合对加工轨迹进行分段优化设计;最后,在优化加工轨迹的基础上,通过调整伺服系统的前馈参数,改善了进给轴的响应能力,减小了因驱动质量和阻尼而产生的跟踪误差。口径为800μm、深度为26.7μm的微透镜阵列的加工实验表明:采用优化的刀具轨迹和伺服参数,微透镜加工效率可以达到8Hz,进给轴跟踪误差小于300nm,并消除了微透镜阵列的表面振纹。微透镜单元口径尺寸精度为设计值的1.075%,随机检测50组,口径尺寸变化范围控制在2μm内,表明微透镜具有良好的尺寸一致性。实验结果表明,加工轨迹的分段设计方法和伺服参数优化可有效抑制进给轴的振动,改善了微透镜阵列表面质量。 展开更多
关键词 微透镜 轨迹优化 慢刀伺服 辊筒模具 超精密加工
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基于Christopherson迭代的超精密加工流场分析方法 预览
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作者 杨航 马登秋 +5 位作者 张强 刘小雍 樊炜 张云飞 黄文 何建国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期23-29,共7页
随着特种超精密加工技术的发展,复杂流体被越来越多地用于超精密加工工艺中。超精密加工流场分析具有几何特征复杂、流体本构特性多样、流体边界为自有边界等特点,传统流体数值分析方法难以实现可靠分析。从流体的一般特性出发,将D.G.Ch... 随着特种超精密加工技术的发展,复杂流体被越来越多地用于超精密加工工艺中。超精密加工流场分析具有几何特征复杂、流体本构特性多样、流体边界为自有边界等特点,传统流体数值分析方法难以实现可靠分析。从流体的一般特性出发,将D.G.Christopherson提出的非负二阶偏微分系统的超松弛迭代方法用于超精密加工流场分析,建立了适应性与可靠性兼顾的流场分析方法。以磁流变抛光为例,开展了抛光区域压力场数值计算,结果表明所得压力分布形态正确,且分布从x轴正半轴延伸到负半轴,与郑立功等人的实验测定结果一致。另外,基于Kistler力传感器对磁流变抛光过程的法向压力在0.1~0.3mm浸深段进行了在位测量,发现计算与实验结果偏差均小于20%。表明了该方法的有效性与准确性。 展开更多
关键词 超精密加工 流场分析 Christopherson迭代 磁流变抛光 超松弛迭代方法
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主动控制加工误差慢刀伺服车削轨迹生成方法
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作者 蔡洪彬 史国权 《吉林大学学报:工学版》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期1221-1227,共7页
考虑到光学自由曲面慢速刀具伺服车削缺乏切削轨迹点选取位置和数量的依据,提出了主动控制加工误差的刀具路径生成方法。进行了刀触点、刀位点轨迹分析和慢刀伺服车削正弦波面试验,结果表明,本文方法可以预测加工表面精度并可以显著降... 考虑到光学自由曲面慢速刀具伺服车削缺乏切削轨迹点选取位置和数量的依据,提出了主动控制加工误差的刀具路径生成方法。进行了刀触点、刀位点轨迹分析和慢刀伺服车削正弦波面试验,结果表明,本文方法可以预测加工表面精度并可以显著降低切削点数量。 展开更多
关键词 机床 超精密车削 慢刀伺服 光学自由曲面 刀具路径生成
超精密车削表面仿真与评价集成系统的研究 预览
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作者 颜志涛 王素娟 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2019年第10期156-160,共5页
表面形貌仿真是实现高效高精度的超精密加工技术必不可少的研究方法。为了减少在理论模型的计算和表面形貌的仿真分析时间,并且实现仿真结果与测量结果的直接对比,提出一种将理论模型的仿真结果与测量仪器的分析软件进行集成的方法,并... 表面形貌仿真是实现高效高精度的超精密加工技术必不可少的研究方法。为了减少在理论模型的计算和表面形貌的仿真分析时间,并且实现仿真结果与测量结果的直接对比,提出一种将理论模型的仿真结果与测量仪器的分析软件进行集成的方法,并开发集成系统。文章通过研究超精密车削加工表面形貌的影响因素,基于Matlab和Bruker Wyko Vision软件,建立超精密车削加工表面仿真与评价的集成系统,为超精密车削加工工艺提供指导。通过车削加工实验中仿真和测量数据的对比结果表明,所开发的集成系统可有效应用于超精密加工领域中加工形貌仿真、加工质量评价、分析等。 展开更多
关键词 白光干涉仪 Bruker Wyko VISION Matlab 测量技术 超精密加工
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金刚石刀具刃磨技术发展现状 预览
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作者 龚维纬 王伟 +2 位作者 雷大江 张新疆 崔海龙 《工具技术》 2019年第8期3-9,共7页
金刚石刀具在超精密切削中有着不可替代的作用。金刚石刀具的刃磨技术是保证切削加工质量的必要手段。本文从金刚石刀具刃磨的研究背景与现状出发,介绍了金刚石的物理及化学性质,着重阐述了金刚石刀具刃磨技术和金刚石刀具的主要评价指... 金刚石刀具在超精密切削中有着不可替代的作用。金刚石刀具的刃磨技术是保证切削加工质量的必要手段。本文从金刚石刀具刃磨的研究背景与现状出发,介绍了金刚石的物理及化学性质,着重阐述了金刚石刀具刃磨技术和金刚石刀具的主要评价指标,并对未来的刃磨技术发展趋势做出了预测。 展开更多
关键词 金刚石刀具 刃磨技术 超精密加工
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一阶不连续光学元件MRF流体动力学分析方法 预览
14
作者 杨航 刘小雍 +3 位作者 马登秋 张云飞 黄文 何建国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期25-31,共7页
一阶不连续光学元件的磁流变抛光问题是制约我国高精高效光学制造领域发展的难题之一,其涉及锥形、矩形等几何形貌元件的光学元件加工问题以及常见光学元件的边缘效应控制问题。提出了基于一阶不连续光学元件的磁流变抛光流体动力学方法... 一阶不连续光学元件的磁流变抛光问题是制约我国高精高效光学制造领域发展的难题之一,其涉及锥形、矩形等几何形貌元件的光学元件加工问题以及常见光学元件的边缘效应控制问题。提出了基于一阶不连续光学元件的磁流变抛光流体动力学方法,建立了该类元件抛光区域流体动力分析的理论方法和数值手段。首先,对磁流变抛光工况下的流场进行了合理假设,其次,从微元流体动力方程出发,建立了适用于一阶不连续面形的流场分析方法,最后,基于有限差分法和数值迭代方法建立了流场控制方程的数值计算方法。通过对切入距离为1~18mm的抛光过程进行数值仿真,发现该方法所获取的一阶不连续面形的压力分布形态是正确的,产生的不连续压降与实验观测一致。 展开更多
关键词 一阶不连续光学元件 边缘效应 磁流变抛光 流体动力学分析 超精密加工
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大口径光学元件的精密磨抛与检测装备开发及应用 预览 被引量:2
15
作者 郭隐彪 彭云峰 +3 位作者 王振忠 毕果 杨炜 杨平 《航空制造技术》 2018年第6期26-35,共10页
大口径光学元件超精密加工是一个复杂的系统性工程,涉及精密机床、数控、加工技术与工艺、精密检测和补偿控制等机电控各领域的专业知识,其发展与一个国家的高端制造技术及装备发展能力息息相关,也是一个国家综合国力的集中体现。主要... 大口径光学元件超精密加工是一个复杂的系统性工程,涉及精密机床、数控、加工技术与工艺、精密检测和补偿控制等机电控各领域的专业知识,其发展与一个国家的高端制造技术及装备发展能力息息相关,也是一个国家综合国力的集中体现。主要介绍了厦门大学微纳米加工与检测联合实验室在大口径光学元件超精密加工技术及装备方面取得的研究进展,针对大口径光学元件磨削和抛光两个加工流程及其配套的精密检测技术,详细阐述了磨削装备及单元技术、可控气囊抛光机床及相关单元技术、精密检测装备及相关单元技术等的研究应用情况。这些技术研究从超精密加工的需求出发,借鉴国内外的研究经验和成果,通过对装备、工艺、检测等各方面整合,形成了具有自主知识产权的集磨削、抛光和检测装备及工艺技术的大口径光学元件超精密加工体系,这些技术与装备确保了大口径光学元件的高质量超精密加工。 展开更多
关键词 大口径光学元件 超精密加工 磨削加工装备 气囊抛光 精密检测 磨床
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金属反射镜超精密加工研究进展 预览
16
作者 陈达任 李占杰 +2 位作者 靳刚 戚厚军 马苏常 《机械研究与应用》 2018年第1期159-163,共5页
金属反射镜已经成为光学系统主反射镜的发展方向和趋势,金属反射镜的超精密加工已经成为当代科技前沿的关键支撑技术。主要对国内外金属反射镜超精密加工研究进展进行综合评述。评述了单点金刚石车削、光学冷加工、复制法对面形精度和... 金属反射镜已经成为光学系统主反射镜的发展方向和趋势,金属反射镜的超精密加工已经成为当代科技前沿的关键支撑技术。主要对国内外金属反射镜超精密加工研究进展进行综合评述。评述了单点金刚石车削、光学冷加工、复制法对面形精度和光学性能的影响,从材料方面研究了材料物理特性、工件表面镀层和快速冷凝制造合金对超精密加工表面质量和光学性能的影响。最后对这些加工方法分析对比优缺点,并对金属反射镜超精密加工的技术发展愿景进行了展望。 展开更多
关键词 金属反射镜 超精密加工 研究进展
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基于反馈调试法的锗非球面元件加工技术试验研究 预览
17
作者 李季 薛常喜 《工程与试验》 2018年第1期57-61,共5页
使用单点金刚石车床对晶体锗试验件进行车削制造非球面红外透镜,运用反馈调试的方法校正了加工生产中所产生的面形误差,并使用Bruke X3白光干涉仪和Form Talysurf PGI 1240机械触针式轮廓仪对所加工的试验件所能达到的表面面形精度进行... 使用单点金刚石车床对晶体锗试验件进行车削制造非球面红外透镜,运用反馈调试的方法校正了加工生产中所产生的面形误差,并使用Bruke X3白光干涉仪和Form Talysurf PGI 1240机械触针式轮廓仪对所加工的试验件所能达到的表面面形精度进行测试,证实此方法可达到所要求的加工精度。 展开更多
关键词 超精密加工 单晶锗非球面透镜 晶体光学元件 光学检测
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超精密加工表面生成技术开发与应用 预览 被引量:1
18
作者 章少剑 熊智文 董增文 《实验技术与管理》 北大核心 2018年第11期62-65,70共5页
针对超精密加工表面生成机理的抽象性和复杂性问题,提出表面生成建模方法,并应用于超精密加工实验教学中,弥补超精密加工实验数量不足。该方法既直观地展示超精密加工表面形貌特征,又充分地呈现超精密加工参数对表面生成的影响。从车削... 针对超精密加工表面生成机理的抽象性和复杂性问题,提出表面生成建模方法,并应用于超精密加工实验教学中,弥补超精密加工实验数量不足。该方法既直观地展示超精密加工表面形貌特征,又充分地呈现超精密加工参数对表面生成的影响。从车削表面生成的构建与仿真到较复杂的飞刀铣削表面生成的建模与仿真,让学生认知超精密加工表面生成机理,加深理解超精密加工参数的影响机制,培养学生科学问题的探索能力和科研兴趣。 展开更多
关键词 超精密加工 表面生成 车削 铣削
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碳化硅及其颗粒增强铝基复合材料超精密加工研究进展 预览
19
作者 霍石岩 解丽静 +1 位作者 项俊锋 庞思勤 《工具技术》 2018年第10期3-12,共10页
针对碳化硅及其颗粒增强铝基复合材料超精密加工的研究状况,重点关注了碳化硅超精密切削过程中的脆塑性转变以及铝基碳化硅的加工表面形成机理,对其加工过程中切削力、表面形成、刀具磨损、切屑形成等超精密加工过程中的机理以及各自超... 针对碳化硅及其颗粒增强铝基复合材料超精密加工的研究状况,重点关注了碳化硅超精密切削过程中的脆塑性转变以及铝基碳化硅的加工表面形成机理,对其加工过程中切削力、表面形成、刀具磨损、切屑形成等超精密加工过程中的机理以及各自超精密加工过程中的特点及各种其他影响因素进行了分析和总结,以期全面了解碳化硅及其颗粒增强铝基复合材料超精密加工的研究进展。 展开更多
关键词 碳化硅 碳化硅颗粒增强铝基复合材料 超精密加工 脆塑性转变 表面成型 刀具磨损
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液体静压丝杠驱动的超精密运动系统设计与实验研究
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作者 刘远航 王波 +2 位作者 乔政 吴言功 刘长江 《航空精密制造技术》 2018年第5期14-18,共5页
本文设计了液体静压丝杠驱动的超精密直线运动系统,完成了机械结构、控制系统装配与搭建;通过实验表明液体静压丝杠驱动的运动系统能够达到10nm运动分辨率(反馈分辨率5nm),具有良好的刚度特性、稳态特性以及动态跟踪特性,适合作为超... 本文设计了液体静压丝杠驱动的超精密直线运动系统,完成了机械结构、控制系统装配与搭建;通过实验表明液体静压丝杠驱动的运动系统能够达到10nm运动分辨率(反馈分辨率5nm),具有良好的刚度特性、稳态特性以及动态跟踪特性,适合作为超精密加工设备的驱动装置。 展开更多
关键词 超精密加工 液体静压丝杠 液体静压导轨 运动分辨率
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