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基于厚薄膜混合基板的超宽带垂直互联设计
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作者 翟志明 邢小明 夏侯海 《电子测量技术》 2019年第4期37-41,共5页
针对三维集成电路中基板层间信号垂直互联问题,基于厚薄膜基板的优良特性,设计了一种超宽带的同轴到带状线再到微带线的过渡结构,能够工作到80 GHz。这种垂直结构采用LTCC为基板,旋涂BCB膜层,适用于系统级封装。该结构利用“水滴”匹配... 针对三维集成电路中基板层间信号垂直互联问题,基于厚薄膜基板的优良特性,设计了一种超宽带的同轴到带状线再到微带线的过渡结构,能够工作到80 GHz。这种垂直结构采用LTCC为基板,旋涂BCB膜层,适用于系统级封装。该结构利用“水滴”匹配的方法,并嵌入空气腔抑制寄生电容,有效地改善了互联结构的射频传输性能。仿真结果表明,其背靠背(同轴-带状线-微带线-带状线-同轴)结构在0~80 GHz频段范围内,回波损耗均低于-17 dB,插入损耗均优于-0.5 dB,驻波比均低于1.35,具有良好的超宽带传输特性。 展开更多
关键词 垂直互联 超宽带 空气腔 厚薄膜混合基板 LTCC BCB
单晶铌酸锂薄膜的转移制备技术研究 预览
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作者 帅垚 李宏亮 +2 位作者 吴传贵 王韬 张万里 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2019年第7期7-12,共6页
以苯并环丁烯(Benzocyclobutene,BCB)作为键合层,采用离子注入剥离技术制备了Y36切型的单晶铌酸锂薄膜材料。经过对BCB键合层的前烘时间和退火曲线进行系统的研究,克服了由于铌酸锂和BCB之间热膨胀系数不匹配所导致的铌酸锂薄膜开裂问题... 以苯并环丁烯(Benzocyclobutene,BCB)作为键合层,采用离子注入剥离技术制备了Y36切型的单晶铌酸锂薄膜材料。经过对BCB键合层的前烘时间和退火曲线进行系统的研究,克服了由于铌酸锂和BCB之间热膨胀系数不匹配所导致的铌酸锂薄膜开裂问题,获得了高质量的Y36切型单晶铌酸锂薄膜材料。此外,通过在晶圆键合之前预先制备图形化的金属层,获得了带有下电极功能层的单晶铌酸锂薄膜,可应用于薄膜体声波谐振器等具有金属-绝缘层-金属结构的器件。 展开更多
关键词 铌酸锂薄膜 晶圆键合 离子注入剥离技术 BCB
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基于LTCC基板BCB/Cu薄膜混合多层互连技术研究
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作者 陈靖 丁蕾 +4 位作者 陈瑫 戴洲 沐方清 王立春 赵涛 《固体电子学研究与进展》 CAS 北大核心 2019年第3期226-234,共9页
针对微系统小型化集成对高性能成膜基板需求,研究了基于LTCC基板的BCB/Cu薄膜多层互连关键技术及过程控制要求。提出一种高可靠"T"型界面互连方式的薄膜磁控溅射Cr/Cu/Cr和Cr/Pd/Au复合膜层结构及其制备方法。研究了LTCC基板... 针对微系统小型化集成对高性能成膜基板需求,研究了基于LTCC基板的BCB/Cu薄膜多层互连关键技术及过程控制要求。提出一种高可靠"T"型界面互连方式的薄膜磁控溅射Cr/Cu/Cr和Cr/Pd/Au复合膜层结构及其制备方法。研究了LTCC基板收缩率偏差、LTCC-薄膜界面缺陷及粗糙度、BCB介质膜固化应力、介质膜金属化的应力等因素对厚薄膜混合基板质量的影响。制备的12层厚薄膜混合基板(10层LTCC基板,2层薄膜布线) 60片,100%全部通过GJB2438 C.2.7成膜基片评价考核要求,相比LTCC基板,布线密度提高4倍,尺寸缩小40%。 展开更多
关键词 微系统 低温共烧陶瓷 薄膜多层互连 苯并环丁烯 界面缺陷 低应力控制
一种高密度薄膜多层布线基板BCB通孔制作技术 预览
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作者 丁蕾 陈靖 +1 位作者 罗燕 王立春 《材料科学与工艺》 CSCD 北大核心 2018年第5期66-73,共8页
为提高高密度薄膜多层布线基板的BCB通孔质量,提出一种高密度、微小通孔的间歇旋转喷淋显影新方法,利用激光扫描共聚焦显微镜和扫描电镜,对间歇旋转喷淋显影和传统浸没显影的BCB通孔显微形貌和微观结构进行了对比分析,同时,用扫描电镜... 为提高高密度薄膜多层布线基板的BCB通孔质量,提出一种高密度、微小通孔的间歇旋转喷淋显影新方法,利用激光扫描共聚焦显微镜和扫描电镜,对间歇旋转喷淋显影和传统浸没显影的BCB通孔显微形貌和微观结构进行了对比分析,同时,用扫描电镜和四探针测试仪,对间歇旋转喷淋显影的BCB通孔导通电阻及通孔互连剖面进行了研究.结果表明:间歇旋转喷淋显影与传统浸没显影相比,50和20μm通孔内部显影充分,通孔轮廓边缘光滑;通孔内部基本没有杂质富集,无BCB胶底膜残存.不同位置区域对通孔导通电阻影响较小,50和20μm通孔导通电阻平均偏差均小于1 mΩ;而不同的显影时间和喷淋压力对通孔导通电阻影响较大,当显影时间为65~90 s,或当喷淋压力为5~20 MPa时,50μm通孔导通电阻均下降至10 mΩ,20μm通孔导通电阻均下降至40 mΩ; 50和20μm通孔台阶覆盖良好.采用此显影方法制作出高密度薄膜多层布线基板实物,互连导通率均达到100%. 展开更多
关键词 BCB 高密度薄膜多层布线基板 显影 形貌 通孔互连 导通电阻
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Effect of exogenous progesterone on cumulus characteristics of buffalo oocytes by allowing passage of more number of sperm through cumulus but not essentially fertilization
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作者 Madhusmita Panda Asmita +5 位作者 Sandeep Kumar Purusottam Mishra Mahesh Chandra Sahu Sachinandan De Tirtha Kumar Datta Rakesh Kumar 《亚太生殖杂志(英文版)》 2018年第2期79-86,共8页
Objective:To understand the level of progesterone (P4) in different quality of buffalo cumulus oocyte complexes (COCs) and further to evaluate the effect of exogenous P4 supplementation on maturation and subsequent de... Objective:To understand the level of progesterone (P4) in different quality of buffalo cumulus oocyte complexes (COCs) and further to evaluate the effect of exogenous P4 supplementation on maturation and subsequent developmental ability of poor quality brilliant cresyl blue (BCB-)COCs.Methods: Progesterone secreted by different quality of buffalo oocytes was estimated by enzyme linked immunosorbent assay and the concentration differences were translated into P4 doses to be incorporated in the maturation medium of BCB-ve COCs followed by expression analysis of genes involved in the cumulus expansion, extracellular matrix disintegration and progesterone receptor signalling. In addition, the study also evaluated the effect of exogenous P4 on sperm-cumulus interaction. Results: More than 10-fold up-regulated expression of progesterone receptor in P4 supplemented oocytes signified that P4 might be acting predominantly through this receptor. Also, exogenous P4 supplementation had significant effect on transcatheter arterial chemoembolization protease regulated by P4-progesterone receptor pathway which in turn had an important role in extracellular matrix disintegration. On the contrary, cumulus expansion genesHAS2,TNFAIP6,AREG were not altered upon P4 supplementation. Also, it was observed that P4 addition did facilitate passage of significantly more number of spermatozoa through P4 treated cumulus cells. Further, incorporation of different doses of P4 did not improve significantly the cleavage and blastocyst rates of BCB-ve COCs.Conclusions: Different qualities of buffalo COCs secrete substantially diverse levels of P4, and its supplementation has a role in oocyte maturation via modulation of cumulus characteristics but perhaps not fertilization. 展开更多
关键词 BCB screening PROGESTERONE SPERM CUMULUS interaction FERTILIZING ability
Two Tetranuclear Zinc(Ⅱ) Coordination Polymers Based on 3,5-Bis(2-carboxylphenoxy)benzoic Acid with Highly Selective Sensing of Nitrobenzene 预览
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作者 FANG Ke-Gong ZHAO Qian-Nan +1 位作者 LI Miao-Miao HU Tuo-Ping 《结构化学》 SCIE CAS CSCD 2018年第5期787-795,共9页
关键词 锌(Ⅱ) 聚合物 安息香 硝基苯 协作 CH3OH X光检查 BCB
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IRIG标准颤振信号的在线监测方法研究 预览
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作者 祁晓鹏 朱洪翔 吉陈力 《计算机测量与控制》 2016年第4期42-44,共3页
颤振试飞是飞行试验中的一项重要课题;颤振参数的实时在线显示为颤振参数在线校准的最重要环节,基于此提出了一种基于IRIG标准的颤振信号的在线实时监测方法;首先对飞行数据的IRIG记录标准进行了研究,并介绍了其中颤振参数的记录格... 颤振试飞是飞行试验中的一项重要课题;颤振参数的实时在线显示为颤振参数在线校准的最重要环节,基于此提出了一种基于IRIG标准的颤振信号的在线实时监测方法;首先对飞行数据的IRIG记录标准进行了研究,并介绍了其中颤振参数的记录格式;然后对BCB界面化设计和Matlab数据分析的混合编程进行了研究,利用混合编程和多线程的组合方式,完成了网络数据提取、数据包获取、通道数据获取与显示和FFT变换与显示;通过对标准信号的在线实时监测,验证了软件的正确性和可行性,满足颤振参数校准的需求,最终实现了对颤振信号的在线监测。 展开更多
关键词 IRIG BCB MATLAB 混合编程 在线监测
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TSA对BCB染色筛选绵羊卵母细胞体外培养的影响 预览
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作者 杨楠 汪立芹 +4 位作者 林嘉鹏 唐淑红 吴阳升 张春香 黄俊成 《南方农业学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期1101-1105,共5页
【目的】探讨曲古抑菌素A(TSA)对经亮甲酚蓝(BCB)染色分组绵羊卵母细胞体外发育的影响,为绵羊胚胎的产业化生产提供参考依据。【方法】将体外成熟的绵羊卵母细胞置于26μmol/L BCB染色液中避光染色90 min后,分别对BCB+和BCB-卵母... 【目的】探讨曲古抑菌素A(TSA)对经亮甲酚蓝(BCB)染色分组绵羊卵母细胞体外发育的影响,为绵羊胚胎的产业化生产提供参考依据。【方法】将体外成熟的绵羊卵母细胞置于26μmol/L BCB染色液中避光染色90 min后,分别对BCB+和BCB-卵母细胞进行孤雌激活及体外受精,将获得的孤雌胚胎与体外受精胚胎置于含300 nmol/L TSA的胚胎培养液中培养10 h,再转移至未添加TSA的胚胎培养液中继续培养,连续观察胚胎的体外发育情况。【结果】在孤雌激活中,BCB+卵母细胞的卵裂率、囊胚发育率和囊胚细胞数均显著高于BCB-组(P〈0.05,下同);在体外受精中,BCB+卵母细胞囊胚发育率和囊胚细胞数均显著高于BCB-组。将绵羊卵母细胞的孤雌胚胎与体外受精胚胎分别置于含300nmol/L TSA胚胎培养液中培养10 h,结果显示,BCB-卵母细胞孤雌胚胎和体外受精胚胎的囊胚发育率分别由23.33%和19.36%提升至35.65%和29.46%,但未显著影响BCB+卵母细胞的体外发育能力(P〉0.05)。【结论】在胚胎培养液中添加300 nmol/L TSA(培养10 h)能显著提高BCB-卵母细胞体外胚胎的后期发育能力。 展开更多
关键词 绵羊 TSA BCB 卵母细胞 体外培养
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AlGaN/GaN high electron mobility transistor with Al2O3+BCB passivation
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作者 张昇 魏珂 +9 位作者 余乐 刘果果 黄森 王鑫华 庞磊 郑英奎 李艳奎 马晓华 孙兵 刘新宇 《中国物理B:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第11期468-472,共5页
In this paper, A12O3 ultrathin film used as the surface passivation layer for Al Ga N/Ga N high electron mobility transistor(HEMT) is deposited by thermal atomic layer deposition(ALD), thereby avoiding plasma-induced ... In this paper, A12O3 ultrathin film used as the surface passivation layer for Al Ga N/Ga N high electron mobility transistor(HEMT) is deposited by thermal atomic layer deposition(ALD), thereby avoiding plasma-induced damage and erosion to the surface. A comparison is made between the surface passivation in this paper and the conventional plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD) Si N passivation. A remarkable reduction of the gate leakage current and a significant increase in small signal radio frequency(RF) performance are achieved after applying Al2O3+BCB passivation.For the Al2O3+BCB passivated device with a 0.7 μm gate, the value of f max reaches up to 100 GHz, but it decreases to 40 GHz for Si N HEMT. The f max/ f t ratio(≥ 4) is also improved after Al2O3+BCB passivation. The capacitance–voltage(C–V) measurement demonstrates that Al2O3+BCB HEMT shows quite less density of trap states(on the order of magnitude of 1010cm-2) than that obtained at commonly studied Si N HEMT. 展开更多
关键词 ALGAN/GAN 高电子迁移率晶体管 AL2O3薄膜 钝化层 BCB 等离子体增强化学气相沉积 HEMT 等离子体损伤
三层硅加速度敏感芯片BCB键合工艺研究 预览 被引量:2
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作者 刘智辉 田雷 +1 位作者 李玉玲 尹延昭 《传感器与微系统》 CSCD 2015年第3期37-39,43共4页
采用非光敏苯并环丁烯(BCB)进行MEMS压阻式加速度敏感芯片三层结构制作。BCB键合具有工艺温度低、键合表面要求低等特点,适用于芯片的圆片级封装。但是固化过程中BCB粘度随温度升高而下降,流动性变大,在毛细作用的影响下沿着微小间隙... 采用非光敏苯并环丁烯(BCB)进行MEMS压阻式加速度敏感芯片三层结构制作。BCB键合具有工艺温度低、键合表面要求低等特点,适用于芯片的圆片级封装。但是固化过程中BCB粘度随温度升高而下降,流动性变大,在毛细作用的影响下沿着微小间隙流淌,导致可动部件粘连,器件失效。通过控制BCB厚度、增加BCB阻挡槽解决了可动部件粘连问题,制作了三层硅结构的加速度敏感芯片。样品漏率小于1.0×10^-10Pa·m3/s,键合剪切强度大于20MPa,能够满足航天、工业、消费电子等各领域的应用需求。 展开更多
关键词 微机电系统 三层硅 加速度计 苯并环丁烯 键合 毛细作用
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BCB染色液对绵羊不同直径卵泡卵母细胞的筛选作用 预览 被引量:1
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作者 张利 汪立芹 +5 位作者 蒋香菊 林嘉鹏 吴阳升 杨楠 古丽米热 黄俊成 《西北农业学报》 CSCD 北大核心 2014年第1期12-16,共5页
为探讨亮甲酚蓝(BCB)染色液对绵羊不同直径卵泡卵母细胞的筛选作用,对筛选后的卯母细胞进行孤雌激活,统计不同组间成熟率、卵裂率及囊胚率的差异。将卵泡直径分为〈2mm、2~5mm、〉5mm共3组,经26μmol/L的BCB染色90min后,结果显... 为探讨亮甲酚蓝(BCB)染色液对绵羊不同直径卵泡卵母细胞的筛选作用,对筛选后的卯母细胞进行孤雌激活,统计不同组间成熟率、卵裂率及囊胚率的差异。将卵泡直径分为〈2mm、2~5mm、〉5mm共3组,经26μmol/L的BCB染色90min后,结果显示:(1)直径〉5mm卵泡中的卵母细胞阳性率极显著高于5mm以下卵泡组(P〈0.01);(2)卵泡直径〉5mm中BCB+组卵母细胞孤雌激活后的体外培养效率显著高于其余2组;(3)不同试验组卵母细胞孤雌激活后获得的囊胚总细胞数在BCB+组卵母细胞中,直径2~5mm组与〉5mm组间没有显著差异(P〉0.05),但极显著高于直径〈2mm组(P〈0.01);BcB-卵母细胞在各组间没有显著差异(P〉0.05);未经染色的卵母细胞中,直径2~5mm组与〉5mm组间没有显著差异(P〉0.05),但显著高于直径〈2mm组(P〈0.05);此外,〈2mm的卵母细胞,BCB+组极显著高于对照组和BCB一组(P〈0.01),在直径2~5mm组和〉5mm组,BCB+组、对照组和BCB-组均差异极显著(P〈0.01)。以上结果说明,直径〉2mm以上卵泡的卵母细胞用BCB染色液筛选后更适合体外培养。 展开更多
关键词 BCB 绵羊 卵母细胞 孤雌激活
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基于数据库技术的教育装备管理系统的设计与实现 预览
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作者 蒋祝平 《教学仪器与实验》 2014年第2期56-60,共5页
针对教育装备管理数据量大的问题,阐述自主开发的基于BCB与SQL Server的教育装备管理系统的功能模块、数据建模和代码实现,为教育装备管理的信息化建设提供一种参考思路。
关键词 BCB SQL Server装备管理数据库
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一种基于MCM工艺的微波组件设计 被引量:6
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作者 唐万军 庞佑兵 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期667-670,共4页
设计了一种基于MCM-D工艺的C波段微波组件。采用薄膜多层布线和芯片倒扣焊技术,实现了良好的分布参数控制。在小封装内集成了微波放大、滤波、变频,中频滤波、放大和真对数动态压缩等电路单元,实现了高性能的微波信号处理集成。
关键词 平面电感 多芯片组件 BCB
Fabrication of a microstrip patch antenna integrated in low-resistance silicon wafer using a BCB dielectric
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作者 王天喜 韩梅 +1 位作者 徐高卫 罗乐 《半导体学报:英文版》 EI CAS CSCD 2013年第10期72-75,共4页
This paper demonstrates a technique for microstrip patch antenna fabrication using a benzocyclobutene(BCB) dielectric.The most distinctive feature of this method is that the antenna is integrated on a low-resistance s... This paper demonstrates a technique for microstrip patch antenna fabrication using a benzocyclobutene(BCB) dielectric.The most distinctive feature of this method is that the antenna is integrated on a low-resistance silicon wafer,and is fully compatible with the microwave multi-chip module packaging process.Low-permittivity dielectric BCB with excellent thermal and mechanical stability is employed to enhance the performance of the antenna.The as-fabricated antenna is characterized,and the experimental results show that the antenna resonates at 14.9 GHz with a 1.67% impedance bandwidth. 展开更多
关键词 微带贴片天线 晶片制造 BCB 低电阻 硅晶片 电介质 集成 低介电常数
Bi-capon beamforming for MIMO radar based on rank-reduced correlation matrix
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作者 HE Jie FENG Da-zheng +1 位作者 Nicolas H. Younan MA Lun 《中国邮电高校学报:英文版》 EI CSCD 2013年第1期85-90,共6页
A bi-capon beamforming (BCB) algorithm for multi-input multi-output (MIMO) radar is developed on the basis of correlation domain. By vectorizing the echo matrix and its transpose, the conventional capon cost function ... A bi-capon beamforming (BCB) algorithm for multi-input multi-output (MIMO) radar is developed on the basis of correlation domain. By vectorizing the echo matrix and its transpose, the conventional capon cost function is transformed into bi-capon quadratic functions. By calculating two lower dimensional weight vectors with sub-matrices of the correlation matrix, BCB can significantly decrease the computational complexity and the requirement of training samples. In the presence of short data records, BCB can achieve better interference suppression performance than fully adaptive capon algorithm. Simulation results are presented to demonstrate the effectiveness of the proposed method. 展开更多
关键词 波束形成算法 系数矩阵 MIMO 雷达 秩相关 多输入多输出 BCB 二次函数
基于BCB键合的MEMS加速度计圆片级封装工艺 预览 被引量:2
16
作者 刘磊 展明浩 +1 位作者 李苏苏 陈博 《电子科技》 2012年第9期9-12,共4页
对基于BCB的圆片级封装工艺进行了研究,该工艺代表了MEMS加速度计传感器封装的发展趋势,是MEMS加速度计产业化的关键。选用3000系列BCB材料进行MENS传感器的粘结键合工艺试验,解决了圆片级封装问题,在低温250℃和适当压力辅助下≤2... 对基于BCB的圆片级封装工艺进行了研究,该工艺代表了MEMS加速度计传感器封装的发展趋势,是MEMS加速度计产业化的关键。选用3000系列BCB材料进行MENS传感器的粘结键合工艺试验,解决了圆片级封装问题,在低温250℃和适当压力辅助下≤2.5bar(1bar=100kPa)实现了加速度计的圆片级封装,并对相关的旋涂、键合、气氛、压力等诸多工艺参数进行了优化。 展开更多
关键词 MEMS加速度计 圆片级封装 苯并环丁烯(BCB)
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BCB在光电芯片制造中的工艺研究
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作者 钟行 王任凡 +1 位作者 李林 阳红涛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期 197-200,共4页
BCB树脂具有良好的平坦化特性、电气特性和热稳定性,相比于聚酰亚胺等其他介质,它具有介电常数小,吸水率低,固化温度低和可靠性高等特点,可以用于进行沟槽填充。研究了一种采用BCB介质进行沟道填充的倒台结构脊波导激光器,并且优... BCB树脂具有良好的平坦化特性、电气特性和热稳定性,相比于聚酰亚胺等其他介质,它具有介电常数小,吸水率低,固化温度低和可靠性高等特点,可以用于进行沟槽填充。研究了一种采用BCB介质进行沟道填充的倒台结构脊波导激光器,并且优化了涂覆,固化以及刻蚀等工艺参数,与采用直台结构的脊波导激光器进行了性能对比,发现利用BCB介质进行沟道填充的芯片,具有更低的阂值电流,更小的串联电阻和热电阻,以及更高的斜率效率,各项技术参数均优于直台结构脊波导激光器。 展开更多
关键词 苯并环丁烯 倒台 沟槽填充 涂覆 固化 等离子刻蚀
利用亮甲酚蓝染色法预测牛卵母细胞发育潜能的研究 预览 被引量:1
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作者 乔利敏 李向臣 +4 位作者 乔富强 姚华 张文秀 关伟军 马月辉 《畜牧兽医学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第9期1249-1255,共7页
利用亮甲酚蓝(Brilliant cresyl blue,BCB)对牛未成熟卵母细胞进行染色,根据染色结果的不同对牛未成熟卵母细胞进行分组培养,观察不同组间卵母细胞发育潜能与细胞凋亡的差异,探讨以BCB着色判定牛卵质量的可行性。本试验在牛卵母细胞... 利用亮甲酚蓝(Brilliant cresyl blue,BCB)对牛未成熟卵母细胞进行染色,根据染色结果的不同对牛未成熟卵母细胞进行分组培养,观察不同组间卵母细胞发育潜能与细胞凋亡的差异,探讨以BCB着色判定牛卵质量的可行性。本试验在牛卵母细胞成熟培养前用26μmol.L-1 BCB染色90min作为处理组(BCB+和BCB-),以未染色卵母细胞作为对照组;以卵内谷胱甘肽的浓度作为胞质成熟的判定指标,以卵母细胞体外受精后囊胚率作为卵子发育能力的判定指标,同时参照卵母细胞的凋亡检测,综合评定卵子的质量。结果表明:(1)着色组(BCB+)卵母细胞成熟率与对照组和无色组(BCB-)间差异显著(P〈0.05);(2)成熟卵母细胞中谷胱甘肽的浓度较培养前差异显著(P〈0.05);(3)经BCB染色,卵母细胞在成熟后,BCB+组的成熟率、凋亡率较对照组、BCB-组差异显著(P〈0.05);(4)体外受精后,BCB+组的囊胚率和囊胚细胞数较对照组和BCB-组差异显著(P〈0.05)。由此可见,牛卵母细胞经BCB的染色选择可以作为判断卵母细胞未来发育潜能的一个标记。 展开更多
关键词 卵母细胞 BCB 发育潜能
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非光敏BCB工艺技术研究 被引量:2
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作者 刘欣 谢廷明 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期754-757,共4页
非光敏BCB介质具有介电常数小、吸水率低、热稳定性好、力学性能优良、固化温度低,以及表面平坦化特性好等优点,作为重要的介质材料,已经应用于薄膜多芯片组件(MCM)基板布线中。文章研究了薄膜多层布线工艺中非光敏BCB介质的涂覆、固... 非光敏BCB介质具有介电常数小、吸水率低、热稳定性好、力学性能优良、固化温度低,以及表面平坦化特性好等优点,作为重要的介质材料,已经应用于薄膜多芯片组件(MCM)基板布线中。文章研究了薄膜多层布线工艺中非光敏BCB介质的涂覆、固化工艺,以及等离子刻蚀工艺;提出了优化的涂覆和固化工艺参数,使用适当的刻蚀掩膜以及优化后的刻蚀工艺参数,进行图形刻蚀,获得了厚度为4μm、表面粗糙度小于150 nm的表面平整的非光敏BCB介质膜,并在薄膜MCM多层布线基板中得到较好运用。 展开更多
关键词 多芯片组件 非光敏BCB 涂覆 固化 等离子刻蚀
新型Al2O3/BCB多层薄膜复合介质材料的传输线损耗特性 预览
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作者 周紫卓 王伟 +1 位作者 谈惠祖 孙晓玮 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期 57-62,共6页
本文结合功能材料Al2O3和BCB(苯并环丁烯树脂)的特点,创新性地提出了Si/Al2O3/BCB多层薄膜复合结构的衬底,利用Al2O3高介电常数的优点和BCB薄膜工艺制备厚度的灵活性实现了低传输损耗。本研究采用与CMOS相兼容的半导体制造工艺在... 本文结合功能材料Al2O3和BCB(苯并环丁烯树脂)的特点,创新性地提出了Si/Al2O3/BCB多层薄膜复合结构的衬底,利用Al2O3高介电常数的优点和BCB薄膜工艺制备厚度的灵活性实现了低传输损耗。本研究采用与CMOS相兼容的半导体制造工艺在三种不同衬底(Si、SL/BCB和Si/Al2O3/BCB)上制作了CPW结构的传输线,通过仿真、测量、比较和分析其传输损耗特性得出Si/Al2O3/BCB多层薄膜复合结构衬底有效地降低了普通硅衬底的高频损耗(20GHz时CPW传输线的损耗为1.18dB/mm),实现了微波毫米波电路低损耗传输线.具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 AL2O3 BCB CPW 传输损耗
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