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新常态下中国商业银行经营转型研究
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作者 嘉瑞 +2 位作者 翟慧慧 吴大云 红臣 《今日财富:中国知识产权》 2019年第3期72-73,共2页
我国经济进入新常态,改变了银行的以往的运行轨迹,银行将面临资金规模增速下降、风险上升、存贷利差紧缩、资本约束力增强、金融监管越来越严格、金融竞争日趋激烈等新常态时期的新特点,但与此同时,银行也将遇到扩大内需、产业升级、人... 我国经济进入新常态,改变了银行的以往的运行轨迹,银行将面临资金规模增速下降、风险上升、存贷利差紧缩、资本约束力增强、金融监管越来越严格、金融竞争日趋激烈等新常态时期的新特点,但与此同时,银行也将遇到扩大内需、产业升级、人口结构变化、金融改革等新的发展机遇。本文将通过分析在新常态下商业银行的新特征及其未来发展机遇,进而探究在新常态下我国商业银行的经营转型之路在何方。 展开更多
关键词 新常态 理财业务 理财产品 结构性存款
沈阳市突发公共事件应急管理探析 预览 被引量:1
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作者 《现代商贸工业》 2019年第4期137-138,共2页
沈阳市的基础设施和配套的基础建设在不断的完善。一些民用娱乐活动以及体育比赛也在不断的开展,尤其在沈阳市地铁的运行,对于沈阳市的突发公共事件的应急管理水平即使机遇又是一个挑战,所以对沈阳市政府的突发公共事件应急管理水平要... 沈阳市的基础设施和配套的基础建设在不断的完善。一些民用娱乐活动以及体育比赛也在不断的开展,尤其在沈阳市地铁的运行,对于沈阳市的突发公共事件的应急管理水平即使机遇又是一个挑战,所以对沈阳市政府的突发公共事件应急管理水平要求也就不断提高。 展开更多
关键词 突发 公共事件 应急管理
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量子鲸鱼优化算法求解作业车间调度问题 预览 被引量:1
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作者 叶春明 姚远远 《计算机应用研究》 CSCD 北大核心 2019年第4期975-979,共5页
为了克服基本鲸鱼优化算法(WOA)在解决作业车间调度问题时存在收敛精度低、容易陷入局部最优的缺陷,利用量子计算与优化思想提出了一种量子鲸鱼优化算法(QWOA),并对其进行了计算复杂度分析、全局收敛性证明及仿真实验。通过对11个作业... 为了克服基本鲸鱼优化算法(WOA)在解决作业车间调度问题时存在收敛精度低、容易陷入局部最优的缺陷,利用量子计算与优化思想提出了一种量子鲸鱼优化算法(QWOA),并对其进行了计算复杂度分析、全局收敛性证明及仿真实验。通过对11个作业车间调度问题基准算例的仿真实验发现,与基本鲸鱼优化算法、布谷鸟搜索算法(CS)、灰狼优化算法(GWO)相比,QWOA算法在最小值、平均值、寻优成功率等方面具有较优结果。研究表明,量子鲸鱼优化算法在解决作业车间调度问题时,具有更高的收敛精度和更好的全局搜索能力,且能够跳出局部最优。 展开更多
关键词 鲸鱼优化算法 量子计算与优化 作业车间调度 收敛性证明 混合算法
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大学英语课程转型发展的思考 预览 被引量:1
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作者 郝强 邵荣 《运城学院学报》 2019年第3期64-68,共5页
全球化战略下,“专业+英语”的复合型、应用型人才供不应求。但大学英语课程由于自身的种种原因却根本无法胜任使命。大学英语教育应重新定位课程教学目标,根据学生的多样化需求设置模块化教学内容,不断创新教学模式和教学方法,并制订... 全球化战略下,“专业+英语”的复合型、应用型人才供不应求。但大学英语课程由于自身的种种原因却根本无法胜任使命。大学英语教育应重新定位课程教学目标,根据学生的多样化需求设置模块化教学内容,不断创新教学模式和教学方法,并制订多元化评价体系,重新定位教师角色,以完成从“应试”到“应用”的转型。 展开更多
关键词 大学英语课程 应试 应用 转型发展
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科研基金青年项目与青年科研人员培养实践 预览
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作者 石微微 李艺影 《中国医院》 2019年第10期59-60,共2页
科研基金青年项目是国家对于青年科研人员的培养和扶持,青年科研人员的培养对于公立三甲医院及相关科研院所的可持续发展十分重要。作者通过对科研基金青年项目的重要性及相关之政策的分析,结合某医院科研院所青年科研人员的情况,对科... 科研基金青年项目是国家对于青年科研人员的培养和扶持,青年科研人员的培养对于公立三甲医院及相关科研院所的可持续发展十分重要。作者通过对科研基金青年项目的重要性及相关之政策的分析,结合某医院科研院所青年科研人员的情况,对科研现状进行了剖析。根据分析的结论和自身工作中的体会,对医院科研院所青年科研人员现存的问题尝试提出改善方案:统观全局,落实管理;因材施教,精准培养;加强绩效考核,奖罚分明。 展开更多
关键词 基金青年项目 医院科研 科研管理 科研院所
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我国群体性事件频发的原因及对策研究 预览 被引量:1
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作者 《现代商贸工业》 2019年第3期127-128,共2页
当今中国正处在改革的重要时期和关键时刻, 改革表现在各个领域和各个专业, 再实现中国梦的总目标下进行创新发展.其中, 在创新和发展的道路上不可能一蹴而就, 甚至是在不断失败的经验中达到成功的彼岸.那么出现各种矛盾和纠纷就无法避... 当今中国正处在改革的重要时期和关键时刻, 改革表现在各个领域和各个专业, 再实现中国梦的总目标下进行创新发展.其中, 在创新和发展的道路上不可能一蹴而就, 甚至是在不断失败的经验中达到成功的彼岸.那么出现各种矛盾和纠纷就无法避免.突发事件是这种矛盾冲突的外在表现.因此, 不断增加的群众性和规模事件, 参与人数的增加以及参与对象的多样性对社会稳定产生了负面影响, 不仅阻碍了社会发展, 而且严重破坏了社会的和谐.因此, 研究其原因至关重要. 展开更多
关键词 群体性事件 经济发展 矛盾
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混合蝗虫优化算法求解作业车间调度问题 预览 被引量:1
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作者 叶春明 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2019年第6期257-264,共8页
作为新兴的智能算法,蝗虫优化算法在作业车间调度问题中的应用符合智能制造的趋势。但由于全局寻优能力不足,基本蝗虫优化算法(GOA)在解决作业车间调度问题(JSP)时容易陷入局部最优,导致收敛精度较低。为了克服上述缺陷,利用量子旋转门... 作为新兴的智能算法,蝗虫优化算法在作业车间调度问题中的应用符合智能制造的趋势。但由于全局寻优能力不足,基本蝗虫优化算法(GOA)在解决作业车间调度问题(JSP)时容易陷入局部最优,导致收敛精度较低。为了克服上述缺陷,利用量子旋转门操作对其进行改进,提出了一种基于量子计算思想的混合蝗虫优化算法(HGOA)。此外,对混合蝗虫优化算法进行了计算复杂度分析与全局收敛性证明,并利用11个作业车间标准测试问题进行了仿真实验。通过与基本蝗虫优化算法(GOA)、鲸鱼优化算法(WOA)、布谷鸟搜索算法(CS)、灰狼优化算法(GWO)的比较发现,混合蝗虫优化算法在平均值、最小值、寻优成功率及迭代次数方面存在较优结果。研究表明,混合蝗虫优化算法具有更强的全局搜索能力,更好的收敛精度,能够有效跳出局部最优。 展开更多
关键词 蝗虫优化算法 量子旋转门 作业车间调度问题 收敛性证明 混合算法
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大鼠海人酸点燃海马与杏仁核颞叶癫痫模型发作特点及海马病理学改变的研究
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作者 王玉娇 陈烨 +5 位作者 师忠芳 徐立新 董丽萍 孙振荣 袁芳 《中华神经外科杂志》 CSCD 北大核心 2019年第3期305-311,共7页
目的对比观察大鼠海人酸点燃海马与杏仁核癫痫模型不同发作期的行为学、皮质脑电及海马病理学变化。方法雄性成年Sprague-Dawley大鼠24只,按随机数字表法分为海马组、杏仁核组(模型组各9只,对照组各3只)。将海人酸0.6 μl(0.6 μg,1.0 ... 目的对比观察大鼠海人酸点燃海马与杏仁核癫痫模型不同发作期的行为学、皮质脑电及海马病理学变化。方法雄性成年Sprague-Dawley大鼠24只,按随机数字表法分为海马组、杏仁核组(模型组各9只,对照组各3只)。将海人酸0.6 μl(0.6 μg,1.0 μg/μl)定向注射到大鼠海马CA3区或杏仁核区建立两种癫痫模型。模型建立成功的大鼠按随机数字表法分为癫痫发作后1 d(急性期)、7 d(潜伏期)、30 d(慢性期)组,每组各3只。对照组于海马CA3区或杏仁核区注入等体积的生理盐水。观察不同发作时期大鼠的行为学和皮质脑电变化。采用免疫组织化学染色方法观察海马中神经元的标志物神经元核蛋白(NeuN)、星形胶质细胞的标志物胶质纤维酸性蛋白(GFAP)及小胶质细胞的标志物离子钙结合衔接分子1(IIba1)表达的变化。结果两种癫痫模型急性期及慢性期均有典型癫痫发作的行为学及脑电表现。海马模型组注入海人酸后(63.33±4.41)min出现部分性发作,间断伴有癫痫大发作;皮质脑电表现以多相棘波多见。杏仁核模型组注入海人酸后(28.67±3.48) min主要出现癫痫大发作;皮质脑电以尖波发作性节律多见。免疫组织化学染色显示,与对照组比较,从急性期到慢性期,两种模型在海马CA1、CA3和CA4区均为神经元丢失和星形胶质细胞增生逐渐加重,同时伴小胶质细胞在神经元丢失部位逐渐增多、聚集。但与海马模型组比较,杏仁核模型组慢性期在CA1和CA4区神经元丢失[CA1区NeuN的吸光度(A)值为10.83±1.52对比22.43±5.16,P<0.01;CA4区为12.87±2.13对比25.81±4.60,P<0.05]及星形胶质细胞增生(CA1区GFAP A值为61.20±7.33对比14.65±0.12,CA4区为76.73±5.40对比43.01±1.35,均P<0.01)更明显,CA1区小胶质细胞广泛聚集现象更严重(IIba1A值为13.70±3.88对比1.08±0.01,P<0.01)。结论大鼠海人酸点燃海马及杏仁核癫痫模型均能模拟人颞叶癫痫特征,但在行� 展开更多
关键词 癫痫 颞叶 海马 杏仁核 模型 动物 大鼠 海人酸
改革装备保障管理体制,提高装备保障质量效益 预览
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作者 宋太亮 高龙 +1 位作者 张强 《质量与可靠性》 2019年第4期7-10,15共5页
分析了当前装备保障工作面临的困难和产生的原因,确定了实战化条件下装备保障工作的新情况和新要求,研究提出了建立"军民一体化装备保障体系"的设想,提出了改革现行装备保障管理体制和运行机制,提高装备保障质量和效益的措施... 分析了当前装备保障工作面临的困难和产生的原因,确定了实战化条件下装备保障工作的新情况和新要求,研究提出了建立"军民一体化装备保障体系"的设想,提出了改革现行装备保障管理体制和运行机制,提高装备保障质量和效益的措施建议。 展开更多
关键词 装备保障 综合保障 保障体系 一体化保障 质量和效益
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全自动多功能贴标机结构设计与有限元分析 预览
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作者 赵俊 郭建华 +5 位作者 严次军 陈其珠 李贵龙 于佳丽 胡清明 《科学技术创新》 2019年第18期44-45,共2页
为解决贴标机贴标对象单一、贴标效率低等缺陷,设计了一种新型全自动多功能贴标机,主要由分料机构、贴标机构、输送机构、控制装置组成.该贴标机具体涉及平面、曲面、瓶型等多种规格贴标方式融合在一机.其可通过多键式操作实现物件的分... 为解决贴标机贴标对象单一、贴标效率低等缺陷,设计了一种新型全自动多功能贴标机,主要由分料机构、贴标机构、输送机构、控制装置组成.该贴标机具体涉及平面、曲面、瓶型等多种规格贴标方式融合在一机.其可通过多键式操作实现物件的分料、输送、贴标、回收等全自动化.建立了该多功能贴标机的三维结构模型,采用有限元分析软件对相关重要部件进行强度分析和刚度,得到其应力云图,验证该部件强度设计合理,满足设计要求. 展开更多
关键词 多功能贴标机 有限元分析 应力 强度
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面向任务流程的装备体系完成任务概率仿真评估方法 预览
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作者 宋太亮 +2 位作者 曹军海 陈守华 张强 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2019年第1期81-88,共8页
为了解决传统可靠性建模方法无法刻画装备体系复杂性及对装备体系完成任务概率进行准确评估等问题,提出了一种面向任务流程的装备体系完成任务概率离散事件仿真评估方法。该评估方法中,采用过程流网方法对装备体系任务流程进行建模,并... 为了解决传统可靠性建模方法无法刻画装备体系复杂性及对装备体系完成任务概率进行准确评估等问题,提出了一种面向任务流程的装备体系完成任务概率离散事件仿真评估方法。该评估方法中,采用过程流网方法对装备体系任务流程进行建模,并对过程流网扩展了时间和资源等元素,引入活动影响因子,梳理子任务及活动间逻辑关系。采用离散事件仿真方法建立装备体系完成任务概率仿真评估模型,生成实体执行仿真过程,将进入导致任务成功的端点的实体数量与生成的所有实体总量的比记为完成任务概率,设置仿真时钟记录实体执行每项活动的时间,求平均值记为任务平均时间。最后,以某典型陆军作战体系为例,说明所提出方法的可行性。 展开更多
关键词 装备体系 完成任务概率 过程流网 离散事件仿真
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磁悬浮式动力吸振器的设计与仿真研究 预览
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作者 王璠 李国畅 +2 位作者 金超武 韩文龙 《机械制造与自动化》 2019年第3期82-85,共4页
设计一种新型的磁悬浮式动力吸振器,与普通的机械式吸振器相比具有无机械接触,结构简单、使用寿命长等优点。首先分析磁悬浮式动力吸振器的吸振原理并建立了磁悬浮式动力吸振系统的理论模型,然后根据主系统的特性设计与之相匹配的磁悬... 设计一种新型的磁悬浮式动力吸振器,与普通的机械式吸振器相比具有无机械接触,结构简单、使用寿命长等优点。首先分析磁悬浮式动力吸振器的吸振原理并建立了磁悬浮式动力吸振系统的理论模型,然后根据主系统的特性设计与之相匹配的磁悬浮式动力吸振器,最后通过仿真验证磁悬浮式动力吸振器的减振效果。仿真结果表明:当磁悬浮式动力吸振器的固有频率与外部干扰力的频率相一致时,主系统的振动减小了78.6%,且磁悬浮式动力吸振器吸振质量的振动可以满足机械结构的要求。 展开更多
关键词 磁悬浮 动力吸振器 减振效果 固有频率 振动
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VR安全教育体验馆浅谈
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作者 《西北电建》 2019年第2期7-8,共2页
随着安全信息化管理推进,目前建筑工地中安全体验区开始采用VR(Virtual Reality虚拟现实)技术。VR技术通过同虚拟环境交互体验的方式,以建筑施工场景为背景,高仿真还原施工现场的五大易发事故(高处坠落、物体打击、机械伤害、触电、坍... 随着安全信息化管理推进,目前建筑工地中安全体验区开始采用VR(Virtual Reality虚拟现实)技术。VR技术通过同虚拟环境交互体验的方式,以建筑施工场景为背景,高仿真还原施工现场的五大易发事故(高处坠落、物体打击、机械伤害、触电、坍塌),通过寓教于乐的形式让施工及现场人员深切认识各类伤害,起到警示、震撼教育的目的。本文通过一站式安全移动体验馆,浅谈VR安全教育。 展开更多
关键词 安全体验馆介绍 功能及配备 作用和发展
GSTM1和CYP1A1基因多态性与宫颈癌发生及发展的相关性 预览
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作者 张毅 +2 位作者 范丽 刘莹 程晓莉 《现代肿瘤医学》 CAS 2019年第12期2177-2181,共5页
目的:探讨谷胱苷肽硫转移酶M1(GSTM1)和CYP1A1 Exon7基因多态性与宫颈癌发生发展的关系。方法:选取2013年5月至2015年5月我院收治的宫颈癌患者184例为宫颈癌组,203例进行体检的健康人群为参照组。用限制性片段长度多态性-聚合酶链反应(R... 目的:探讨谷胱苷肽硫转移酶M1(GSTM1)和CYP1A1 Exon7基因多态性与宫颈癌发生发展的关系。方法:选取2013年5月至2015年5月我院收治的宫颈癌患者184例为宫颈癌组,203例进行体检的健康人群为参照组。用限制性片段长度多态性-聚合酶链反应(RFLP-PCR)检测所有受试者GSTM1和CYP1A1 Exon7基因型;记录无进展生存期(PFS),并随访观察生存和死亡情况。结果:GSTM1分为野生型(wt)和突变缺失型(null),CYP1A1 Exon7野生型为Ⅱe/Ⅱe,突变型包括突变纯合型(Val/Val)、突变杂合型(Ⅱe/Val)。宫颈癌组携带GSTM1突变型基因型比例与参照组间比较,差异无统计学意义(P>0.05);宫颈癌组携带CYP1A1 Exon7突变型基因型比例显著高于参照组(P<0.05),且携带突变型基因型个体患宫颈癌的风险是携带野生型基因型个体的2.333倍。GSTM1、CYP1A1 Exon7基因型与宫颈癌患者年龄、病理分期、肿瘤分化程度、肿瘤直径及淋巴结转移均无关(P>0.05),与患者病理类型有关(P<0.05)。GSTM1、CYP1A1 Exon7突变型宫颈癌患者PFS中位数与野生型患者比较,差异均无统计学意义(P>0.05)。GSTM1、CYP1A1 Exon7突变型宫颈癌患者基因型与宫颈癌患者预后无关(P>0.05)。结论:GSTM1及CYP1A1 Exon7基因多态性是宫颈癌发生发展的危险因素,尤其是CYP1A1 Exon7突变型,为预防宫颈癌提供依据。 展开更多
关键词 谷胱苷肽硫转移酶M1 CYP1A1 基因多态性 宫颈癌
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抗冲蚀性热喷涂金属陶瓷涂层研究进展
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作者 郑彬 占宇航 +5 位作者 欧阳霞 高锡宇 谢志平 王琪 陈清宇 《化学世界》 CAS CSCD 2019年第1期1-6,共6页
热喷涂技术是利用热源加热喷涂材料在基体表面制备涂层的方法。火焰喷涂、等离子喷涂和电弧喷涂是常用的热喷涂技术。金属陶瓷兼有陶瓷材料的高硬度、高熔点及金属的韧性等优点,常用于制备材料表面抗冲蚀涂层,其中WC系和Cr3C2系金属陶... 热喷涂技术是利用热源加热喷涂材料在基体表面制备涂层的方法。火焰喷涂、等离子喷涂和电弧喷涂是常用的热喷涂技术。金属陶瓷兼有陶瓷材料的高硬度、高熔点及金属的韧性等优点,常用于制备材料表面抗冲蚀涂层,其中WC系和Cr3C2系金属陶瓷较为常用。冲蚀工艺参数、喷涂工艺参数、喷涂材料性能对金属陶瓷涂层的抗冲蚀性能均有影响。如何通过调控材料结构和喷涂工艺参数是提高金属陶瓷涂层抗冲蚀性的关键。 展开更多
关键词 热喷涂 金属陶瓷涂层 冲蚀磨损 工艺 涂层材料
大型商业综合体消防安全管理研究 预览
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作者 《管理观察》 2019年第14期71-72,共2页
随着时代的发展,大型商业综合体结构逐渐复杂,规模越来越大。虽然给人们的生活带来了很多便利,但也有很多的问题随之产生,消防安全是大型商业综合体需要重点关注的对象,有很多由于管理不当造成的消防安全问题正在不断出现。加强消防管理... 随着时代的发展,大型商业综合体结构逐渐复杂,规模越来越大。虽然给人们的生活带来了很多便利,但也有很多的问题随之产生,消防安全是大型商业综合体需要重点关注的对象,有很多由于管理不当造成的消防安全问题正在不断出现。加强消防管理,最大程度的保障人们的安全是现在的重点。本文通过对大型商业综合体消防安全问题的分析,找出适当的解决方案。 展开更多
关键词 大型商业综合体 消防安全管理 问题 研究
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拆迁安置小区居住环境设计探究 预览
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作者 许懿 《中国住宅设施》 2019年第6期60-61,共2页
随着社会快速发展,城镇化的速度也在加快,建造拆迁安置小区也称为社会发展趋势。然而拆迁安置小区的居住环境建设仍然存在设计无针对性、维护不到位等问题,从而导致搬迁居民对新的居住环境不能较好的适应。本文首先介绍拆迁安置小区存... 随着社会快速发展,城镇化的速度也在加快,建造拆迁安置小区也称为社会发展趋势。然而拆迁安置小区的居住环境建设仍然存在设计无针对性、维护不到位等问题,从而导致搬迁居民对新的居住环境不能较好的适应。本文首先介绍拆迁安置小区存在的居住环境问题,在此基础上提出“人文关怀”理念基础上的符合居民居住要求的环境设计方案。 展开更多
关键词 拆迁安置小区 居住环境 人文关怀 环境设计
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突发事件应急演练组织实施与常见问题研究 预览
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作者 《管理观察》 2019年第15期60-62,共3页
突发事件应急演练是我国重点关注对象,因此有关部门和单位负责组织多次应急演练项目。应急演练即为在模拟突发事件的实际情况,找到最合适的应对突发事件的方法,应急演练可以有效地提高问题突发时解决问题的效率,突发事件应急演练实施应... 突发事件应急演练是我国重点关注对象,因此有关部门和单位负责组织多次应急演练项目。应急演练即为在模拟突发事件的实际情况,找到最合适的应对突发事件的方法,应急演练可以有效地提高问题突发时解决问题的效率,突发事件应急演练实施应以提高应变能力为基础,意识到组织演练的重要性。当下,突发事件每天都在上演,因此演练应该本着不断演练、不断吸取教训、不断更新的原则进行,确保突发事件发生时能够快速响应和有效解决。本文通过对突发事件应急演练组织实施中常出现的问题进行具体分析,探讨合适的解决方案。 展开更多
关键词 突发事件 应急演练 组织实施 常见问题
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免疫检查点相关分子在基底样乳腺癌中的预后价值分析 预览
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作者 艾超 唐婧 +3 位作者 冀召帅 宋微微 Balázs Gyorffy 《标记免疫分析与临床》 CAS 2019年第9期1542-1546,共5页
目的系统总结并全面探讨免疫检查点相关分子与基底样乳腺癌预后的相关性。方法从Gene Expression Omnibus(GEO)数据库下载、合并基于Affymetrix检测平台的乳腺癌全基因组表达谱数据集,并筛选出基底样乳腺癌基因表达谱及预后数据。根据... 目的系统总结并全面探讨免疫检查点相关分子与基底样乳腺癌预后的相关性。方法从Gene Expression Omnibus(GEO)数据库下载、合并基于Affymetrix检测平台的乳腺癌全基因组表达谱数据集,并筛选出基底样乳腺癌基因表达谱及预后数据。根据最新文献全面总结免疫检查点基因及免疫检查点抑制剂疗效相关基因,全面分析这些基因的表达在基底样乳腺癌中的预后价值。结果本研究共筛选出618例基底样乳腺癌全基因组表达谱数据及预后信息,并总结了37个免疫检查点基因及免疫检查点抑制剂疗效相关基因。通过全面分析37个免疫检查点相关分子与无进展生存(PFS)的相关性,结果发现,乳酸脱氢酶A(LDHA)与PFS呈负相关(P<0.0001),CD274(程序性死亡蛋白配体1,PDL1)、程序性死亡蛋白1(PDCD1)及细胞毒性T淋巴细胞相关蛋白4(CTLA4)等34个免疫检查点相关分子与PFS呈正相关(P<0.05),乳酸脱氢酶B(LDHB)和YTHDF1与PFS无统计学相关性(P>0.05)。结论37个免疫检查点相关分子中,有34个基因与PFS呈正相关,1个基因与PFS呈负相关,2个基因与PFS无统计学相关性。 展开更多
关键词 基底样乳腺癌 免疫检查点分子 预后
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高数值孔径自由曲面极紫外光刻物镜光学设计 预览
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作者 毛姗姗 李艳秋 +3 位作者 刘克 刘丽辉 郑猛 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第8期170-176,共7页
高分辨率需求牵引极紫外光刻(EUVL)投影物镜向高数值孔径(NA)、自由曲面设计形式发展。传统的非球面EUVL物镜设计难以在高数值孔径下兼顾校正像差的需求,往往造成遮拦,破坏成像对比度。提出了一种高NA无遮拦自由曲面EUVL物镜设计方法。... 高分辨率需求牵引极紫外光刻(EUVL)投影物镜向高数值孔径(NA)、自由曲面设计形式发展。传统的非球面EUVL物镜设计难以在高数值孔径下兼顾校正像差的需求,往往造成遮拦,破坏成像对比度。提出了一种高NA无遮拦自由曲面EUVL物镜设计方法。依据物镜形态参数判别引入自由曲面的最佳位置,能够有效校正系统像差,在不影响成像性能的情况下增大系统NA。应用该方法设计了一套高NA自由曲面EUVL投影物镜(PO)。与初始非球面物镜相比,通过增加四面自由曲面,将物镜数值孔径从0.3增大至0.35,波像差均方根(RMS)值从1nm减小至0.4nm,整个系统光路无遮拦。设计结果表明:该方法有效提高了自由曲面EUVL物镜设计效率,在不产生遮拦的情况下,不但增大了系统NA且减小了系统波像差,提高了物镜整体性能。 展开更多
关键词 物镜系统设计 几何光学设计 自由曲面 极紫外
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