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接触式三坐标测量自由曲面轮廓的数据处理模型 预览 被引量:11
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作者 仇谷烽 +2 位作者 黄启泰 倪颖 王毅 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期2813-2820,共8页
为了能够在接触式自由曲面轮廓测量过程中放宽对工件位置调整的要求并提供高精度的测量结果,本文运用最小二乘法的基本原理,提出了一个可通过测量数据拟合出一个最佳位置放置参数的数学模型.该模型能同时校正自由曲面放置时存在的绕X、Y... 为了能够在接触式自由曲面轮廓测量过程中放宽对工件位置调整的要求并提供高精度的测量结果,本文运用最小二乘法的基本原理,提出了一个可通过测量数据拟合出一个最佳位置放置参数的数学模型.该模型能同时校正自由曲面放置时存在的绕X、Y、Z轴的微小旋转量及沿X、Y、Z方向上的微小偏离量所造成的测量误差.大量数学模拟结果表明,该模型在恢复上述误差源上具有很高的精度,可精确地恢复1 cm以下的偏心和0.1°以下的旋转量.对一实际自由曲面的测量结果表明,该模型可靠有效,为接触式三坐标测量自由曲面轮廓提供了宽松的镜子放置条件,同时提供了可靠的测量结果.其分析数据的基本原理对其它非接触式的自由曲面的轮廓测量同样具有较高的参考价值. 展开更多
关键词 自由曲面 轮廓测量 三坐标测量仪 数据处理模型 最小二乘法
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2m超轻高精度SiC分块镜的设计 预览 被引量:4
2
作者 曾春梅 郭培基 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第11期3034-3039,共6页
为探索大口径超轻高精度可展开光学系统的可行性,对5m全口径空间可展开主镜的2m离轴分块镜进行了研究。首先通过分析和比较,确定了分块镜的材料、轻量化结构型式和支撑点的位置;然后,通过有限元建模和分析,得到面密度小于40kg/m2... 为探索大口径超轻高精度可展开光学系统的可行性,对5m全口径空间可展开主镜的2m离轴分块镜进行了研究。首先通过分析和比较,确定了分块镜的材料、轻量化结构型式和支撑点的位置;然后,通过有限元建模和分析,得到面密度小于40kg/m2的超轻量化分块镜初始结构;最后,在分块镜3D板壳模型的基础上建立了带三个定位孔的3D实体模型。分析结果显示,分块镜在支撑条件下自重变形误差为7.93nmRMS/46.9nmPV,优于面形精度入/50RMS的要求,实现了超轻量化和高精度,且分块镜能承受发射状态下的力学环境。该研究为大口径超轻高精度可展开光学系统的工程应用提供了一种技术方案,具有工程实用价值。 展开更多
关键词 可展开光学系统 分块镜 超轻量化 有限元法 碳化硅
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渐进多焦点镜片的逐点定向曲率补偿优化设计 被引量:1
3
作者 秦琳玲 钱霖 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期211-216,共6页
提出一种利用逐点定向曲率补偿法对渐进多焦点镜片初始模型进行整体优化以减小周边散光区(俗称盲区)的优化设计方法。推导出自由曲面任意方向法曲率的计算公式、确定主曲率和主方向的方法,求出镜片初始模型上各点的曲率差和最大曲率... 提出一种利用逐点定向曲率补偿法对渐进多焦点镜片初始模型进行整体优化以减小周边散光区(俗称盲区)的优化设计方法。推导出自由曲面任意方向法曲率的计算公式、确定主曲率和主方向的方法,求出镜片初始模型上各点的曲率差和最大曲率方向、最小曲率方向,通过迭加由不同曲率、不同轴向微小柱面构成的自由曲面,来实现逐点定向曲率补偿,使镜片各点的曲率差适当减小,从而减小散光。给出具体优化步骤和一个优化设计实例,并进行实际加工制作与检测。对比优化前后的光焦度和散光度的面形分布图。结果表明,逐点定向曲率补偿法能有效减小渐进多焦点镜片初始模型的最大散光并明显扩大视远区清晰视觉范围。 展开更多
关键词 光学设计 渐进多焦点镜片 优化 主曲率 散光
基于泽尼克多项式系数的大相对孔径表面超精密车削误差的补偿方法 预览 被引量:2
4
作者 王毅 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第3期 724-728,共5页
超精密车削误差补偿是提高超精密车削工艺水平的关键技术。首先对超精密车削中的各种误差进行了简单的分析与归纳,指出刀具刃口几何形状误差与机床导轨非线性误差具有相同的表现形式,可以通过车削零件的面形检测结果进行综合补偿。然后... 超精密车削误差补偿是提高超精密车削工艺水平的关键技术。首先对超精密车削中的各种误差进行了简单的分析与归纳,指出刀具刃口几何形状误差与机床导轨非线性误差具有相同的表现形式,可以通过车削零件的面形检测结果进行综合补偿。然后,提出了一种根据干涉仪检测结果对上述误差进行高精度补偿的方法,并进行了理论推导。最后的实验结果证明:基于面形误差泽尼克多项式球差及高级球差系数(最高到36项系数)对国产刀具刃口(波纹度误差大于0.2μm)与机床(Nanotech UPL250)系统误差进行综合补偿的方法正确而高效,仅3次补偿循环,即可使一大相对口径实验球面件的面形误差收敛到PV=0.24λ,rms=0.021λ,符合理论推导及计算机模拟的分析。 展开更多
关键词 超精密车削 误差补偿 大相对孔径 泽尼克多项式
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超精密车削刀具偏置校正方法的研究 预览 被引量:1
5
作者 王毅 《机床与液压》 北大核心 2012年第15期1-6,共6页
刀具偏置的校正是超精密车削的首要任务,对提高超精密车削效率及精度具有非常重要的意义。传统的刀具偏置校正方法由于缺乏理论指导,存在校正效率低、精度低的缺点,即使利用国外进口软件进行辅助校正,也存在一些问题。对超精密车削... 刀具偏置的校正是超精密车削的首要任务,对提高超精密车削效率及精度具有非常重要的意义。传统的刀具偏置校正方法由于缺乏理论指导,存在校正效率低、精度低的缺点,即使利用国外进口软件进行辅助校正,也存在一些问题。对超精密车削中金刚石刀具偏置造成的车削误差展开理论分析,在理论分析的基础上,给出提高刀具偏置校正精度及效率的原则,提出一种新的刀具偏置校正方法——泰曼格林干涉仪在线检测法,并用实验证明其准确性。 展开更多
关键词 超精密车削 刀具偏置 误差校正
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小口径薄型玻璃透镜精密模压制造 预览 被引量:4
6
作者 马韬 王钦华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第1期 87-90,共4页
采用传统的研磨抛光方法很难实现口径与厚度比很大的玻璃透镜的制造,下盘后机械应力变形是影响透镜精度的重要因素之一。而采用玻璃精密模压制造技术,无需透镜毛坯装夹固定机构,在加工过程中几乎不产生机械应力,因此是小口径薄型玻... 采用传统的研磨抛光方法很难实现口径与厚度比很大的玻璃透镜的制造,下盘后机械应力变形是影响透镜精度的重要因素之一。而采用玻璃精密模压制造技术,无需透镜毛坯装夹固定机构,在加工过程中几乎不产生机械应力,因此是小口径薄型玻璃透镜的首选制造技术。成功制造了一种口径与中心厚度比为11的薄型透镜,面形精度的PV值和RMS值可分别达到0.41μm和0.08μm,重复精度的PV值优于0.1μm,测量结果表明:该模压透镜具有良好的面形精度,且批量制;龟的一致性很好.说明采用玻璃精密模压制造技术加工小口径薄型透镜是一种高效可靠的加工方法。 展开更多
关键词 玻璃模压 先进制造 薄透镜
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超精密车削金刚石刀具刃口误差的高精度补偿 预览 被引量:5
7
作者 王毅 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期 98-102,共5页
超精密车削中的金刚石刀具刀口误差的补偿问题一直是制约高精度非球面车削直接成形的瓶颈技术,尤其对于大相对口径,深度非球面的车削,金刚石刀具刃口误差对最终的面形的影响非常大。传统补偿方法是根据轮廓仪的测量结果对刀具刃口误... 超精密车削中的金刚石刀具刀口误差的补偿问题一直是制约高精度非球面车削直接成形的瓶颈技术,尤其对于大相对口径,深度非球面的车削,金刚石刀具刃口误差对最终的面形的影响非常大。传统补偿方法是根据轮廓仪的测量结果对刀具刃口误差进行修正,但是该方法存在测量时间长,高频误差大,加工效率低的缺点,本文最先提出利用车削表面面形误差拟舍后的泽尼克多项式系数对刀具刃口误差进行加工补偿,首先对该补偿方法进行了详细的理论推导,然后对补偿效果进行计算机模拟,最后在Nanotech250单点金刚石车床上完成了口径50mm,半径50mm大相对口径实验件的超精密车削及修正车削,面形精度PV=86nm,RMS=7nm。充分证明该补偿符合预期,精度高,误差收敛速度快。 展开更多
关键词 超精密车削 刀具刃口误差 补偿 光学加工
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单点金刚石车削的工艺参数对表面粗糙度影响的实验研究 预览 被引量:3
8
作者 王毅 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2011年第7期 83-86,共4页
超精密车削中单点金刚石刀具切削参数的设置非常重要,这不仅关系到金刚石刀具的使用寿命,而且对于提高车削效率以及得到更好的工件表面车削质量都有着深远的意义。文章着眼于实验,首先对超精密车削中切削量、刀尖圆弧半径、进给量和主... 超精密车削中单点金刚石刀具切削参数的设置非常重要,这不仅关系到金刚石刀具的使用寿命,而且对于提高车削效率以及得到更好的工件表面车削质量都有着深远的意义。文章着眼于实验,首先对超精密车削中切削量、刀尖圆弧半径、进给量和主轴转速对表面微观形貌的影响进行了实验研究。然后对实验的数据结果进行了系统的归纳整理,最后分析了这些影响所产生的原因。根据实验的研究及分析的结果,可得到超精密加工切削参数的优化组合,为提高实际车削后工件的表面粗糙度提供了依据。 展开更多
关键词 单点金刚石车削 工艺参数 表面粗糙度
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0.5m超薄镜主动支撑面形校正及实验 预览 被引量:7
9
作者 曾春梅 郭培基 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期 570-578,共9页
为了研究主动支撑条件对超薄镜面形误差的校正能力,以一个直径0.5m的超薄镜为例进行了面形校正的仿真分析及实验验证。分析了致动器作用力与超薄镜面形的关系,引入了一些需校正的面形误差,如初级球差、慧差、像散及重力变形等,确... 为了研究主动支撑条件对超薄镜面形误差的校正能力,以一个直径0.5m的超薄镜为例进行了面形校正的仿真分析及实验验证。分析了致动器作用力与超薄镜面形的关系,引入了一些需校正的面形误差,如初级球差、慧差、像散及重力变形等,确定了致动器作用力的优化目标,用求解非线性约束问题的优化算法——序列二次规划法计算了校正面形误差所需的致动器作用力,得到了超薄镜面形残余误差。仿真分析表明,对于归一化系数为1的初始球差、慧差、像散以及它们的叠加,用本文提供的致动器排布方式可以将面形误差校正到RMSλ/24以内,且对初级像散的校正能力最强,慧差和球差次之;竖直放置时的重力变形加上3种低阶像差的叠加也可被校正到RMSλ/24。在得到主动支撑的0.5m实验镜的初始面形结果后,重新计算了优化力和面形误差,结果表明,计算结果和实际装调结果基本一致,RMS约为λ/7。计算分析了超薄镜面形未能达到预期目标的原因,提出了适当增加致动器和提高超薄镜初始面形精度的改进方案,并最终使超薄镜面形达到RMSλ/20的要求。 展开更多
关键词 超薄镜 主动支撑 致动器 面形校正 序列二次规划法 有限元法
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非球面成形致动器排布方法的研究 预览
10
作者 曾春梅 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期 292-300,共9页
为了实现超薄球面镜的非球面成形,提出了一种采用非球面梯度法求致动器排布初始解的方法。给出了该方法的理论依据、排布方法以及计算非球面度梯度的两种公式;以一大口径离轴超薄非球面镜为例,用非球面度梯度的两种计算公式分别求出... 为了实现超薄球面镜的非球面成形,提出了一种采用非球面梯度法求致动器排布初始解的方法。给出了该方法的理论依据、排布方法以及计算非球面度梯度的两种公式;以一大口径离轴超薄非球面镜为例,用非球面度梯度的两种计算公式分别求出了致动器排布初始解,完成了非球面成形的有限元分析,得到了满足面形精度RMS值为21.09nm的最终解;最后,介绍了致动器排布的优化步骤,比较了非球面梯度法、正方形法和环形法的差异。结果显示,用非球面度梯度平均值公式求出的初始解与最终解最接近,符合非球面度梯度变化率与致动器面密度的关系,而通过优化还能进一步减少致动器数量和面形残差。在相同面形精度下,非球面梯度法排布的致动器个数约为正方形和环形排布的1/2或更少;在相同致动器个数下,非球面梯度法排布的面形残差RMS值约为正方形和环形排布的1/3或更小。结果表明,非球面梯度法更适合在非球面成形领域用于求解致动器排布初始解。 展开更多
关键词 非球面成形 致动器排布 非球面度梯度 有限元法
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图像处理在MDT测量镜片屈光度中的应用 预览 被引量:1
11
作者 王勤 赵玉环 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2009年第12期 114-118,共5页
从莫尔偏折技术(MDT)没量镜片屈光度的原理出发,给出了镜片屈光度与莫尔条纹倾角的关系式。进行了实验采集,获取了MDT实测镜片屈光度的莫尔条纹图。然后,基于莫尔条纹图像的特点,采用合适的图像处理算法对实测镜片的莫尔条纹图进... 从莫尔偏折技术(MDT)没量镜片屈光度的原理出发,给出了镜片屈光度与莫尔条纹倾角的关系式。进行了实验采集,获取了MDT实测镜片屈光度的莫尔条纹图。然后,基于莫尔条纹图像的特点,采用合适的图像处理算法对实测镜片的莫尔条纹图进行了灰度均匀化、降噪、图像增强、细化等一系列的数字图像处理操作,得到了镜片测量中莫尔条纹图形的清晰轮廓线。最后,给出了不同镜片屈光度的MDT测量结果,并与焦度计的测量结果进行了比较。结果表明,莫尔偏折技术结合数字图像处理用于测量镜片的屈光度时,具有很高的测量精度。 展开更多
关键词 数字图像处理 莫尔条纹 屈光度 镜片测量
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渐进多焦点镜片的设计方法 预览 被引量:8
12
作者 吴泉英 钱霖 +2 位作者 陈浩 王媛媛 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期 12-14,共3页
介绍渐进多焦点镜片的基本原理和设计思想,阐述几种常用的设计方法和各自的优缺点,给出其中一种方法的设计结果,用测试仪检测实际加工的镜片性能。分析结果表明:渐进多焦点镜片可以实现从视远至视近的过渡,视近区的光焦度高于视远区的... 介绍渐进多焦点镜片的基本原理和设计思想,阐述几种常用的设计方法和各自的优缺点,给出其中一种方法的设计结果,用测试仪检测实际加工的镜片性能。分析结果表明:渐进多焦点镜片可以实现从视远至视近的过渡,视近区的光焦度高于视远区的光焦度,像散可满足使用要求。不同的渐进多焦点镜片设计方法其设计出的光学镜片性能不同,实际设计加工的镜片检测性能与国外软件加工的镜片性能相近。 展开更多
关键词 视光学 老视 渐进多焦点镜片 附加光焦度
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渐进多焦点眼用镜片的子午线设计研究 被引量:18
13
作者 吴泉英 钱霖 +2 位作者 陈浩 王媛媛 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期3186-3191,共6页
介绍渐进多焦点眼用镜片的构造,论述镜片的设计思想,阐述渐进多焦点眼用镜片子午线设计的基本原理,构建子午线多项式,给出子午线设计需满足的准则。在子午线设计的基础上,设计渐进多焦点眼用镜片等屈光度轮廓线,确定镜片面形,并... 介绍渐进多焦点眼用镜片的构造,论述镜片的设计思想,阐述渐进多焦点眼用镜片子午线设计的基本原理,构建子午线多项式,给出子午线设计需满足的准则。在子午线设计的基础上,设计渐进多焦点眼用镜片等屈光度轮廓线,确定镜片面形,并求出镜片平均球面度与像散。比较3种不同子午线设计的渐进多焦点眼用镜片,并进行实际加工与检测。研究结果表明,子午线设计是渐进多焦点眼用镜片设计的关键之一,不同的子午线屈光度分布,对应的渐进多焦点眼用镜片的球面度、像散以及畸变等差别较大。依据实际设计与检测结果,给出适用于不同个性化需求的渐进多焦点眼用镜片子午线屈光度分布的规律。 展开更多
关键词 光学器件 眼用镜片 渐进多焦点 子午线 球面度 像散 畸变
计算超薄镜最接近球面的非球面梯度法及有限元分析 被引量:1
14
作者 曾春梅 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期323-327,共5页
利用超薄镜的弹性变形,通过主动光学技术将超薄球面镜变形为所需精度的非球面镜,可以避开大口径超薄非球面镜的制造难题。在分析了传统的非球面超薄镜最接近球面选择原则的基础上,提出了以非球面梯度作为选择原则的依据。针对一个实例,... 利用超薄镜的弹性变形,通过主动光学技术将超薄球面镜变形为所需精度的非球面镜,可以避开大口径超薄非球面镜的制造难题。在分析了传统的非球面超薄镜最接近球面选择原则的基础上,提出了以非球面梯度作为选择原则的依据。针对一个实例,用非球面梯度法和最小二乘法分别求出两个最接近球面并对它们进行有限元法的变形分析,对它们变形后的面形精度和最大应力进行了比较。结果表明,在相同的边界条件、加载个数和加载位置的条件下,以非球面梯度法求出的最接近球面在变形后不仅应力小,且更有利于提高面形精度。 展开更多
关键词 超薄镜 最接近球面 非球面梯度法 有限元法
哈特曼法检测渐进多焦点镜片 预览 被引量:6
15
作者 秦琳玲 《光学与光电技术》 2008年第5期 84-87,共4页
介绍了哈特曼法检测眼镜片的测量原理及对远轴光线的屈光度补偿,采用哈特曼法对渐进多焦点镜片进行检测。提出了实验总体方案并得到CCD采样图,通过后续图像处理,理论上可以得到镜片的屈光度分布图。结果表明,哈特曼法检测渐进多焦... 介绍了哈特曼法检测眼镜片的测量原理及对远轴光线的屈光度补偿,采用哈特曼法对渐进多焦点镜片进行检测。提出了实验总体方案并得到CCD采样图,通过后续图像处理,理论上可以得到镜片的屈光度分布图。结果表明,哈特曼法检测渐进多焦点镜片结构简单,方便可行。 展开更多
关键词 渐进多焦点镜片 哈特曼法 屈光度 光线追迹
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内渐进多焦点镜片的加工 被引量:10
16
作者 秦琳玲 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期136-140,共5页
介绍了加工内渐进多焦点镜片的自由曲面数控机床的基本结构及工作原理,开展了机床的加工工艺实验,用以改善内渐进多焦点镜片的光学性能。实验结果表明,车削阶段影响表面粗糙度的两个主要因素是镜片材料和切削速度;得到了抛光效果良好的... 介绍了加工内渐进多焦点镜片的自由曲面数控机床的基本结构及工作原理,开展了机床的加工工艺实验,用以改善内渐进多焦点镜片的光学性能。实验结果表明,车削阶段影响表面粗糙度的两个主要因素是镜片材料和切削速度;得到了抛光效果良好的两个抛光参数:抛光时间是50s—100s,抛光气压是0.03 MPa—0.06 MPa;不同材料的镜片车削后表面粗糙度不同,抛光后表面粗糙度基本相同。 展开更多
关键词 内渐进多焦点镜片 自由曲面 表面粗糙度 光焦度
超轻超薄反射镜主动支撑方案优化设计 预览 被引量:4
17
作者 倪颖 黄启泰 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2008年第9期 22-26,31,共6页
针对超薄反射镜径厚比大,自身刚度小,更易受环境变化影响面形精度的问题,本文对一块口径500mm超薄实验镜的主动支撑方案进行了有限元分析,并提出了主动支撑方案。本文包括以下内容:1)利用有限元软件系统建立了500mm超薄镜面的有... 针对超薄反射镜径厚比大,自身刚度小,更易受环境变化影响面形精度的问题,本文对一块口径500mm超薄实验镜的主动支撑方案进行了有限元分析,并提出了主动支撑方案。本文包括以下内容:1)利用有限元软件系统建立了500mm超薄镜面的有限元模型;2)利用Zernike多项式几个低阶像差来模拟镜面的制造误差和工作环境变化引起的镜面形变,得到超薄镜面上各点的误差值;3)在分别计算出各个致动器响应函数的基础上,给出了该超薄镜具有最佳主动校正能力的致动器分布的优化方案;4)通过对比不同厚度的超薄镜的主动校正能力,给出了500mm口径超薄镜的最佳厚度。 展开更多
关键词 主动光学 超薄反射镜 有限元 ZERNIKE多项式 优化设计
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莫尔偏折技术用于测量镜片屈光度的研究 预览 被引量:4
18
作者 王勤 +1 位作者 陈浩 王媛媛 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期 74-79,118,共7页
本文从莫尔偏折技术的基本原理出发,结合镜片屈光度的概念,分别从泰伯效应与光栅遮光阴影原理相结合以及菲涅耳-基尔霍夫理论的角度推导了变形后的莫尔条纹倾角与被测镜片屈光度的关系。两种方法推算结果是一致的,即:镜片的屈光度... 本文从莫尔偏折技术的基本原理出发,结合镜片屈光度的概念,分别从泰伯效应与光栅遮光阴影原理相结合以及菲涅耳-基尔霍夫理论的角度推导了变形后的莫尔条纹倾角与被测镜片屈光度的关系。两种方法推算结果是一致的,即:镜片的屈光度与透过镜片后产生的莫尔条纹的倾角的正切成正比。对影响镜片屈光度测量误差的几个参量进行了讨论,理论分析表明,选用合适的光栅周期,设定合理的两光栅间夹角,莫尔偏折技术用于测量低屈光度及中高屈光度的镜片具有很高的测量精度。最后给出了测量单光镜片、非球面镜片和渐进多焦点镜片的莫尔条纹图,并进行了分析讨论。 展开更多
关键词 莫尔条纹 泰伯效应 屈光度 测量 渐进多焦点镜片
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一种高效率小口径非球面数控抛光方法 被引量:9
19
作者 倪颖 李建强 +2 位作者 王毅 黄启泰 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期33-35,40共4页
自主设计研制的非球面数控抛光机采用气囊式抛光工具,可抛光100mm以下的非球面光学零件,针对口径35mm凹非球面透镜(顶点曲率半径R=-108.14mm的双曲面),研究了非球面的抛光工艺,并确定了相关工艺参数,抛光时间大约为20min,第二次次... 自主设计研制的非球面数控抛光机采用气囊式抛光工具,可抛光100mm以下的非球面光学零件,针对口径35mm凹非球面透镜(顶点曲率半径R=-108.14mm的双曲面),研究了非球面的抛光工艺,并确定了相关工艺参数,抛光时间大约为20min,第二次次抛光后元件面形精度达到1.08μm,满足了该零件的使用要求。相对于现有设备美国Precitich公司的Microfinish 300型CNC非球面抛光机,该抛光设备实现了中等精度要求的小口径非球面元件的高效数控抛光。目前该抛光机已经成功地应用于某光学系统非球面零件的批量生产中。 展开更多
关键词 非球面 气囊式抛光头 去除函数
液体喷射抛光技术研究 预览 被引量:15
20
作者 郭培基 方慧 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期 25-27,共3页
液体喷射抛光(FJP)技术是近几年提出的一种新型光学抛光工艺,本文简介了这种抛光技术的原理.介绍了我们的研究结果,其中包括在抛光机理方面提出抛光液中磨料粒子的径向流动对工件产生的径向磨削剪切作用是材料去除的关键;建立了... 液体喷射抛光(FJP)技术是近几年提出的一种新型光学抛光工艺,本文简介了这种抛光技术的原理.介绍了我们的研究结果,其中包括在抛光机理方面提出抛光液中磨料粒子的径向流动对工件产生的径向磨削剪切作用是材料去除的关键;建立了较完善的描述FJP过程的数学模型;提出了获得较理想工作函数的办法;得到了求解时间驻留函数的一种算法;另外还研究了不同FJP溶液及一些工艺参数对样品表面粗糙度的影响、被抛光材料特性对材料去除率及表面粗糙度的影响等。结合这些研究建立了一套非球面数控液体喷射抛光没备和相关工艺,并利用其对实际非球面做了数控抛光实验,最后得到其截面的误差优于0.15μmPV,表面粗糙度Ra达到2.25nm,实验结果表明此技术可用于非球面的数控抛光。 展开更多
关键词 液体喷射 抛光 去除机理 数学模型
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