真空科学与技术
Vacuum Science and Technology
大16开
现：《真空科学与技术学报》
主办单位：中国真空学会
社 长：杜雪春
主 编：吴锦雷
地 址：北京市朝阳区建国门外郎家园70号
邮政编码：100022
电 话：65815915
国际标准刊号：ISSN 0253-9748
国内统一刊号：CN 11-2098/TB
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本刊主要刊登真空技术、表面与界面物理与化学、表面分析、电子材料、薄膜物理与工艺、真空冶金、等离子体科学与工艺等。主要栏目有：学术论文、综述评论、技术交流、工业技术、科研动态与学术活动、快报等。
真空科学与技术 2003年 第6期目录
V2O5薄膜的结构和光电性能研究许旻 邱家稳 贺德衍 (373)
彩色PDP真空紫外辐射特性的分析耿艳霞 王建琪 何锋 刘纯亮 (377)
摩擦取向膜表面液晶薄层厚度的研究于涛 彭增辉 乌日娜 张力 阮圣平 宣丽 (382)
新型PDP放电单元着火特性的研究崔伟 屠彦 (385)
新型荫罩式PDP单元结构的优化设计杨兰兰 屠彦 王保平 尹涵春 童林夙 (389)
SMPDP放电单元中荧光粉层对放电特性的影响张雄 屠彦 崔伟 王保平 尹涵春 童林夙 (395)
用于中性束注入器的4．2K液氦低温冷凝泵的设计陈长琦 谢远来 王娟 欧阳峥嵘 胡纯栋 (400)
理论分析辉光放电对碳纳米管生长速率的影响崔玉亭 王必本 王万录 廖克俊 张兵 郑坤 (404)
空气中大气压下低温等离子体对聚四氟乙烯进行表面改性的研究方志 罗毅 邱毓昌 杨芸 徐大威 (408)
有效介质理论在Ag—MgF2复合纳米颗粒薄膜中的应用王佩红 蔡琪 王磊 孙兆奇 (413)
金刚石声表面波器件的研究与进展陈菁菁 李冬梅 潘峰 (417)
电子回旋共振CF4＋O2等离子体中Si3N4刻蚀工艺研究徐新艳 汪家友 杨银堂 付俊兴 柴常春 王平 (425)
微波ECR等离子体源离子注入法制备DLC薄膜王金刚 马国佳 邓新绿 李新 唐祯安 (429)
波导真空侧射频击穿导致陶瓷窗破裂俞家文 (432)
金刚石膜上电子束蒸镀Ti／Ni／Au多层膜杜素梅 潘存海 (435)
磁控溅射Ni-0．5Y微晶涂层高温氧化机理研究靳惠明 陈荣发 姜世杭 杨树和 (439)
镀膜工艺与镀膜系统配置伊恩·史蒂文森 弗兰克·泽蒙 戴尔·莫顿 (443)
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